JP5219331B2 - 固体素子デバイスの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、発光ダイオード(Light-Emitting Diode:以下、「LED」という。)素子が放射する光を蛍光体で吸収し、異なる波長の光に波長変換して放射させる固体素子デバイス及びこれを用いた発光装置並びに固体素子デバイスの製造方法に関する。
LED素子から放射される光を蛍光体により波長変換して放射する発光装置として、例えば、蛍光体溶液をガラスシートの表面にスクリーン印刷して薄膜状に付着させた後、上記ガラスシートに別のガラスシートを重ね合わせて熱融着することにより波長変換部を形成し、この波長変換部をLED素子が搭載されたリードフレーム上に封止して、耐光性及び均一な波長変換性が得られるようにした発光装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
特開2000−11953号公報
しかし、従来の発光装置によると、ガラス封止の構造にした場合、以下のような問題がある。
(1)封止温度(約600℃)程度ではガラスの粘度が高く、蛍光体がガラスに均一に分散しない。
(2)蛍光体がガラスに均一に分散するまでガラスの粘度を下げるには、900℃以上の高温が必要になる。しかし、このような高温ではLED素子の電極が封止加工に耐えられないだけでなく、蛍光体とガラスとが化学反応してしまうという問題がある。
(3)封止材として、低温でも蛍光体が均一に分散する粘度を持つガラスを使用した場合、一般的にセラミックベースとLED素子の熱膨張差が大きいため、ガラスにクラックが生じ、良好なガラス封止が行えない。
従って、本発明の目的は、蛍光体を均一にガラスに分散させることができる固体素子デバイス及びこれを用いた発光装置並びに固体素子デバイスの製造方法を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するため、電力受供給部上に固体素子を搭載する工程と、前記電力受供給部上の前記固体素子を波長変換部により封止する工程と、を備え、前記波長変換部により封止する工程は、封止用ガラス、及び当該封止用ガラスと同じ材料のガラス粉末と蛍光体粉末とを混合した混合物にホットプレス加工を施すことにより、前記封止用ガラスと前記混合物中の前記ガラス粉末を溶融して前記蛍光体粉末をガラス中に分散させ、前記封止用ガラスと一体的に前記固体素子の上方、あるいは上方及び側方にわたって蛍光体層又は蛍光部材を形成することを特徴とする固体素子デバイスの製造方法を提供する。
本発明の固体素子デバイスの製造方法によれば、蛍光体を均一にガラスに分散させることができ、従って封止用のガラスと蛍光体の化学反応を生じない温度で封止が行えるとともに、蛍光体の特性劣化を防止することができる。
[第1の実施の形態]
(固体素子デバイスの構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。同図中、(a)は固体素子デバイスの断面図を示し、(b)は(a)における固体素子の底面図を示す。
この固体素子デバイス1は、図1(a)に示すように、電力受供給部としてのセラミック基板11と、このセラミック基板11上に搭載された固体素子としてのLED素子12と、蛍光体層13を内部に有するガラス封止部としての封止ガラス14とを備える。ここで、蛍光体層13と封止ガラス14により、波長変換部20を構成している。
セラミック基板11は、回路基板等に実装した際、その接続に用いられる電極15が下面に設けられており、内部には電極15及びLED素子12に接続される配線、スルーホール(いずれも図示せず)等が形成されている。さらに、セラミック基板11の上面には、LED素子12と電気的な接続を行うための電極16が設けられている。
LED素子12は、GaN系半導体化合物により構成されており、上面から光が発光する。図1の(b)に示すように、LED素子12の下面には、pコンタクトITO(Indium Tin Oxide)膜121が形成されており、その一部に金(Au)によるパッド電極122が設けられている。また、pパッド122の対角位置にはn側電極123が設けられている。パッド電極122及びn側電極123には、電極16にも接続されるAuバンプ17A,17Bが接続されている。なお、LED素子12は、他の動作原理による発光素子(例えばレーザ素子)であってもよいし、受光素子であってもよい。また、ITOはRh等の他の導電性材料であってもよい。
蛍光体層13は、封止ガラス14との密着性を良くするため、ガラスフィラー入り蛍光体を用いている。蛍光体は、例えば、セリウム(Ce)で付活されたYAG(Yttrium Aluminum Garnet)等を用いることができる。
封止ガラス14は、例えば、無色透明な低融点ガラスであり、セラミック基板11と同等の熱膨張率(例えば、7×10−6/℃)を有するものを用いる。
図2は、図1の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。LED素子12は、あらかじめセラミック基板11上に実装されている。封止ガラス14は、同一材料による2枚の封止ガラス14A,14Bを用いて構成されている。封止ガラス14Bには、蛍光体層13が塗布またはスクリーン印刷されている。
蛍光体層13は、ガラスフィラー入り蛍光体を溶剤に混ぜた蛍光体溶液を薄膜状に形成している。ガラスフィラーは、封止ガラス14A,14Bと同じ材料の粉末ガラスであり、ガラス封止加工におけるホットプレス加工時に溶融して蛍光体をガラス中に分散させる。
蛍光体層13が形成された封止ガラス14Bに、蛍光体層13が内側になるようにして封止ガラス14Aが重ね合わせられ、LED素子12が中心になるようにLED素子12の上方に位置決めされる。この状態で図示しない一対の金型を用いてホットプレス加工を行うことにより、LED素子12が図1のように封止され、固体素子デバイス1が完成する。なお、ホットプレス加工を真空雰囲気内で行うことにより、波長変換部20内に気泡が発生するのを防止することができる。
(第1の実施の形態の効果)
第1の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)蛍光体層13は、ガラス粉末をフィラー材として混ぜることにより、蛍光体がガラスに良好に混合され、ガラス封止時に分散される。その後、通常のガラス封止加工を行う。この結果、封止ガラス14と蛍光体層13の蛍光体が化学反応を生じない600℃程度の低い温度で封止が行えるので、蛍光体の特性を劣化させることがない。また、蛍光体とガラス粉体が混ぜられていることにより、ホットプレス封止加工時の密着性が向上し、蛍光体のない場合同等のものとできる。
(2)封止ガラス14の内部に蛍光体層13を挟み込むことができるため、固体素子デバイス1のみの単体による白色光化が可能になる。
[第2の実施の形態]
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。本実施の形態は、第1の実施の形態において、蛍光体層13が封止ガラス14A、14Bの側端面に達する構成にしたものである。なお、以下の説明において、第1の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分については同一の符号を付している。
(第2の実施の形態の効果)
第2の実施の形態によれば、上面全域を波長変換部20としても第1の実施の形態と同様に蛍光体とガラス粉体とが混合されることにより、ホットプレス封止加工時の密着性が向上するため、封止ガラス14A、14Bによる封止性を損なわないものにすることができる。これにより、上面端部から蛍光体変換されない光が外部放射されることを防ぐことができる。
[第3の実施の形態]
図4は、本発明の第3の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。本実施の形態は、第1の実施の形態において、蛍光体層13が封止ガラス14の周囲を包囲する構成としたものであり、その他の構成は第1の実施の形態と同様である。
(第3の実施の形態の効果)
第3の実施の形態によれば、封止ガラス14の側面から放射される光に対しても波長変換が可能になる。また、横漏れ光が生じない構成となり、漏れ光の遮光対策を不要とできる。
[第4の実施の形態]
図5は、本発明の第4の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。本実施の形態は、第1の実施の形態で説明した固体素子デバイス1の封止ガラス14の側面に反射部材18を設けたものであり、その他の構成は第1の実施の形態と同様である。
反射部材18は、銀等のメッキ、高反射性を有する塗料の塗布、薄膜の蒸着、シートの貼着等により形成することができる。なお、反射部材18は、これに代えて、遮光部材や蛍光体層を設ける構成にしてもよい。
(第4の実施の形態の効果)
第4の実施の形態によれば、第1の実施の形態の好ましい効果に加えて封止ガラス14の側面から放射される光が反射部材18によって内側に反射されるため、蛍光されていない横漏れ光が、外部に漏れないように遮光することができ、封止ガラス14からの光出射効率を高めることができる。
[第5の実施の形態]
図6は、本発明の第5の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。本実施の形態は、図1に示した第1の実施の形態において、封止ガラス14Bに相当する部材を蛍光部材19にするとともに、LED素子12の全体を包囲するように蛍光部材19を封止したものであり、その他の構成は第1の実施の形態と同様である。
蛍光部材19は、ガラス粉末と蛍光体粉末を混合し、ホットプレスにより形成される蛍光体含有ガラスである。クラック等の発生を防止するために、ガラス材の熱膨張率はセラミック基板11と同等であることが望ましい。
図7は、図6の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。LED素子12は、あらかじめセラミック基板11上に実装されている。封止ガラス14とこれよりサイズの小さい蛍光部材19は、重ね合わせた状態で、LED素子12の上方に位置決めされる。この状態で図示しない一対の金型を用いてホットプレス加工を行う。このホットプレス加工及び蛍光部材19の作製を真空雰囲気内で行うと、波長変換部20内に気泡が残留するのを防止することができる。以上により、図6のように、蛍光部材19によってLED素子12が封止され、さらに蛍光部材19が封止ガラス14によって封止された固体素子デバイス1が完成する。
(第5の実施の形態の効果)
第5の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)蛍光部材19は、ガラスとの混合体であるため、封止ガラス14との密着性を良好にすることができる。
(2)波長変換部20が封止ガラス14と蛍光部材19の2つで構成されるため、蛍光体の使用量を低減でき、コストダウンを図ることができる。
(3)蛍光部材19がLED素子12の全体を覆っているため、LED素子12から放射される光の殆どを効率良く波長変換することができるとともに
発光源の見かけ上のサイズが大になることを防げる。このことは集光性を要求される用途への適用性を高める。
[第6の実施の形態]
図8は、本発明の第6の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。また、図9は、図8の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。
本実施の形態は、図6の第5の実施の形態において、封止ガラス14と蛍光部材19を入れ換えたものであり、その他の構成は、第5の実施の形態と同様である。
(第6の実施の形態の効果)
第6の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)蛍光部材19とLED素子12と蛍光部材19の間に封止ガラス14が介在し、蛍光部材19がLED素子12に対して距離を有するため、LED素子12から発せられる光により蛍光部材19がダメージを受けるのを軽減することができる。
(2)LED素子12の側面部に蛍光部材19を封止することにより、蛍光されていない光の遮光対策を不要にすることができる。
[第7の実施の形態]
図10は、本発明の第7の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。
本実施の形態は、図8の第6の実施の形態において、蛍光部材19を封止ガラス14の上面にのみ設けたものであり、その他の構成は、第5の実施の形態と同様である。
(第7の実施の形態の効果)
第7の実施の形態によれば、第6の実施の形態の好ましい効果に加えて、LED素子12の側面を封止ガラス14のみで封止した構成とすることで、波長変換性を損なうことなくホットプレス加工を簡便に行うことができる。
[第8の実施の形態]
図11は、本発明の第8の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す。また、図12は、図11の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。
本実施の形態は、波長変換部20を蛍光部材19で構成しており、図12に示すように板状の蛍光部材19を位置決めしてホットプレス加工を行っている。
(第8の実施の形態の効果)
第8の実施の形態によれば、LED素子12を蛍光部材19で封止することによる封止面積の小なる白色の固体素子デバイス1を形成でき、色むらが小で封止性に優れるものとできる。なお、LED素子12から蛍光部材19の上面と側面との距離は色度むらを抑えるため、同等とすることが望ましい。
[第9の実施の形態]
図13は、本発明の第9の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、図3に示した第2の実施の形態の構成において、全体のサイズを大きくし、複数のLED素子12A〜12Cを1枚のセラミック基板11上に実装し、蛍光体層13を封止ガラス14A、14Bの間に介在させた波長変換部20で封止して発光装置100を構成したものである。
(第9の実施の形態の効果)
第9の実施の形態によれば、発光源に複数の固体素子デバイス12A〜12Cを用いているため、第2の実施の形態の好ましい効果に加えて発光強度を高めることができる。また、LED素子の使用数の任意に設定して所望の発光強度の発光装置100とすることができる。なお、複数のLED素子を搭載する発光装置においてはLED素子の発光に伴う放熱を促すものとしてセラミック基板11の実装側に熱伝導性の良好な金属等の材料からなる放熱部を設けて熱引きを行うことが好ましい。
[第10の実施の形態]
図14は、本発明の第10の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、第9の実施の形態と同様に複数の複数のLED素子12A〜12Cをセラミック基板11上に実装するとともに、これらを蛍光部材19と封止ガラス14からなる波長変換部20で封止して発光装置100を形成したものであり、複数のLED素子12A〜12Cは蛍光部材19によって包囲されている。
(第10の実施の形態の効果)
第10の実施の形態によれば、複数のLED素子12A〜12Cを蛍光部材19でガラス封止することで、熱膨張による剥離を生じることなく長期にわたって良好な封止性、波長変換性を付与でき、信頼性の高い発光装置100が得られる。
[第11の実施の形態]
図15は、本発明の第11の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、図11に示した第8の実施の形態に係る固体素子デバイス1と同じ構成の複数の固体素子デバイス1D〜1Fを用いて発光装置100を構成したものである。
発光装置100は、実装面31Aから開口部31Bにかけて拡大するように傾斜面31Cが設けられた樹脂製等のケース(本体)31と、固体素子デバイス1D〜1Fの電極15と接続される接続部が実装面31Aに露出するようにケース31に設けられるとともに固体素子デバイス1のセラミック基板(第1の電力受供給部)11に電気的に接続される銅等によるリードフレーム(第2の電力受供給部)32と、傾斜面31Cの表面に設けられた蛍光体層33と、実装面31Aに露出したリードフレーム32上に搭載された前記固体素子デバイス1D〜1Fとを備える。なお、傾斜面31Cの表面は、必要に応じて、ガラスや樹脂の封止部材で封止することができる。蛍光体層33の構成は、第1の実施の形態の蛍光体層13と同様である。
固体素子デバイス1D〜1Fからの光は、そのまま開口部31Bから外部に放射されるほか、固体素子デバイス1D〜1Fの側面から放射された光は、蛍光体層33で吸収ならびに反射した後、外部に放射される。
(第11の実施の形態の効果)
第11の実施の形態によれば、ケース31の傾斜面31Cに蛍光体層33を設けたことにより、固体素子デバイス1D〜1Fが放射する光を蛍光体層33の蛍光体で吸収できるため、集光性及び波長変換機能を高めた発光装置100を得ることができる。
[第12の実施の形態]
図16は、本発明の第12の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、セラミック基板11上にLED素子12A〜12Cを所定間隔で配置して蛍光部材19で封止することにより固体素子デバイス40を構成し、ケース31の内面に曲面で形成される凹部31Dを設け、この凹部31Dの下側に放熱部材であるヒートシンク34を配設したものであり、ヒートシンク34はセラミック基板11に銅箔によって設けられる放熱パターン15Aを介して接合されている。
ケース31は、例えば、白色のナイロン樹脂を用いて加工することができる。また、必要に応じて、凹部31Dの表面に反射膜や蛍光体層を形成することもできる。
ヒートシンク34は、銅等の熱伝導性に優れる金属を用いて作られている。このヒートシンク34は、回路基板側の放熱部材等に搭載したときに、放熱部材等を介して放熱が行えるように、下面はケース31の下面と同一レベルまたはケース31の下面よりやや突出する高さを有している。
(第12の実施の形態の効果)
第12の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)ヒートシンク34を設けたことにより、駆動時の固体素子デバイス40の放熱を図ることができる。
(2)必要な光出力に応じた数のLED素子をガラスに蛍光体を混合した蛍光部材19で一体化した固体素子デバイス40を用いることで、第11の実施の形態で説明した、複数の固体素子デバイス1D〜1Fを用いた発光装置100に比べて組み立て工程を簡略にすることができる。
(3)凹部31Dが曲面で形成されるため、図16の上方へビーム光(或いは、これに近い光)を出射することができる。
その他の効果は、第11及び第1の実施の形態と同様である。
[第13の実施の形態]
図17は、本発明の第13の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、図16の第12の実施の形態で説明した固体素子デバイス40に代えて第1の実施の形態に示した構成の固体素子デバイス1を用いるとともに、ケース31の凹部31Dと固体素子デバイス1の光出射面とが連続面を形成するようにケース31に固体素子デバイス1を埋設したものであり、その他の構成は、第12の実施の形態と同様である。
固体素子デバイス1の側面は、ケース31の側面によって遮光されており、LED素子12から発せられる光は蛍光体層13を透過して光出射面40Aから放射されるほか、ケース31を構成する樹脂で反射されて光出射面40Aから放射される。
(第13の実施の形態の効果)
第13の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)凹部31Dが曲面を有し、ケース31に埋設された固体素子デバイス1の光出射面40Aと連続面を形成する構成を有するので、波長変換された光を光出射面40Aから効率良く放射させることができる。
(2)固体素子デバイス1がケース31に埋設されていても、ヒートシンク34を介してLED素子12の発光に基づく発熱を放熱できるので、固体素子デバイス1が高出力タイプであっても、温度上昇を抑制することができる。
[第14の実施の形態]
図18は、本発明の第14の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、図11の第8の実施の形態に示した固体素子デバイス1を用いるとともに、曲面で構成される凹部31Dを有するケース31に固体素子デバイス1を実装したものである。
(第14の実施の形態の効果)
第14の実施の形態によれば、固体素子デバイス1から放射される光をケース31に設けた曲面からなる凹部31Dで反射して放射する構成としたので、波長変換された光の放射性を向上させることができる。また、固体素子デバイス1がガラス封止構造であることにより、固体素子デバイス1を封止しなくてもLED素子12が保護されるので、軽量化、部品点数の低減、製造工程の簡略化等を図れる。
[第15の実施の形態]
図19は、本発明の第15の実施の形態に係る発光装置を示す。本実施の形態は、第14の実施の形態で説明した曲面からなる凹部31Dの表面に蛍光体層13を設け、第1の実施の形態で説明した固体素子デバイス1を搭載したものである。
(第15の実施の形態の効果)
第15の実施の形態によれば、固体素子デバイス1の側面からの放射光が蛍光体層13によって吸収されるため、固体素子デバイス1の側面に蛍光体層を有しない固体素子デバイス1であっても、側面からの放射光を波長変換することができる。
[他の実施の形態]
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想を逸脱あるいは変更しない範囲内で種々な変形が可能である。
例えば、上記した各固体素子デバイス1は、波長変換部20や蛍光部材19が集光性又は拡散性を有する光学形状を有するものであっても良い。
また、固体素子デバイスに用いるLED素子についても、単数によるもの、又は複数のLED素子によるものであっても良い。上記した実施の形態においては、3個のLED素子を用いた構成を説明したが、要求される光出力に応じて任意の数にすることができる。
本発明の第1の実施の形態に係る固体素子デバイスを示し、(a)は固体素子デバイスの断面図、(b)は固体素子の底面図である。 図1の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。 本発明の第2の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 本発明の第4の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 本発明の第5の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 図6の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。 本発明の第6の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 図8の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。 本発明の第7の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 本発明の第8の実施の形態に係る固体素子デバイスを示す断面図である。 図11の固体素子デバイスの製造工程を示す概略図である。 本発明の第9の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第10の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第11の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第12の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第13の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第14の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。 本発明の第15の実施の形態に係る発光装置を示す断面図である。
符号の説明
1、固体素子デバイス 1A〜1F、固体素子デバイス
11、セラミック基板 12、LED素子 12A〜12C、LED素子
13、蛍光体層 14、封止ガラス 14A,14B、封止ガラス
15、電極 16、電極 17A,17B、Auバンプ 18、反射部材
19、蛍光部材 20、波長変換部 31、ケース 31a,31b、凹部
32、リードフレーム 33、蛍光体層 34、ヒートシンク
40、固体素子デバイス 100、発光装置 121、pコンタクトITO膜
122、pパッド電極 123、n側電極

Claims (1)

  1. 電力受供給部上に固体素子を搭載する工程と、
    前記電力受供給部上の前記固体素子を波長変換部により封止する工程と、を備え、
    前記波長変換部により封止する工程は、封止用ガラス、及び当該封止用ガラスと同じ材料のガラス粉末と蛍光体粉末とを混合した混合物にホットプレス加工を施すことにより、前記封止用ガラスと前記混合物中の前記ガラス粉末を溶融して前記蛍光体粉末をガラス中に分散させ、前記封止用ガラスと一体的に前記固体素子の上方、あるいは上方及び側方にわたって蛍光体層又は蛍光部材を形成することを特徴とする固体素子デバイスの製造方法。
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Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI321857B (en) * 2006-07-21 2010-03-11 Epistar Corp A light emitting device
JP5104490B2 (ja) * 2007-04-16 2012-12-19 豊田合成株式会社 発光装置及びその製造方法
US7781779B2 (en) * 2007-05-08 2010-08-24 Luminus Devices, Inc. Light emitting devices including wavelength converting material
WO2009031684A1 (ja) * 2007-09-07 2009-03-12 Asahi Glass Company, Limited ガラス被覆発光素子及びガラス被覆発光装置
JP4796031B2 (ja) * 2007-09-28 2011-10-19 パナソニック株式会社 車両前照灯光源および車両前照灯
DE102008005345A1 (de) * 2007-09-28 2009-04-02 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleiterbasiertes Bauelement, Aufnahme für ein halbleiterbasiertes Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines halbleiterbasierten Bauelements
US8946987B2 (en) * 2007-11-07 2015-02-03 Industrial Technology Research Institute Light emitting device and fabricating method thereof
EP2221885A4 (en) * 2007-11-19 2013-09-25 Panasonic Corp SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE
JP5302533B2 (ja) * 2007-11-30 2013-10-02 パナソニック株式会社 発光装置
US10008637B2 (en) 2011-12-06 2018-06-26 Cree, Inc. Light emitter devices and methods with reduced dimensions and improved light output
JP2010129615A (ja) * 2008-11-25 2010-06-10 Toshiba Lighting & Technology Corp 発光装置及び照明装置
JP5146356B2 (ja) * 2009-02-24 2013-02-20 豊田合成株式会社 発光装置及びその製造方法
JP5738297B2 (ja) * 2009-09-25 2015-06-24 ▲海▼洋王照明科技股▲ふん▼有限公司 発光ガラスの製造方法
CN102574368A (zh) * 2009-09-25 2012-07-11 海洋王照明科技股份有限公司 发光玻璃、其制造方法及发光装置
WO2011035475A1 (zh) * 2009-09-25 2011-03-31 海洋王照明科技股份有限公司 发光玻璃、其制造方法及发光装置
US20120219750A1 (en) * 2009-09-25 2012-08-30 Oceans King Lighting Science & Technology Co., Ltd Luminescent glass, producing method thereof and luminescent device
EP2481572B1 (en) * 2009-09-25 2017-05-24 Ocean's King Lighting Science & Technology Co., Ltd. Luminescent glass, producing method thereof and luminescent device
JP2013505853A (ja) * 2009-09-25 2013-02-21 海洋王照明科技股▲ふん▼有限公司 発光ガラス及びその製造方法、並びに発光装置
US20120225238A1 (en) * 2009-09-25 2012-09-06 OCEAN'S KING LILGHTING SCIENCE & tECHNOLOGY CO., LTD Luminescent glass, producing method thereof and luminescent device
EP2482351A4 (en) * 2009-09-25 2013-06-05 Oceans King Lighting Science SEMICONDUCTOR LIGHT-EMITTING DEVICE AND ITS ENCAPSULATION METHOD
US8545083B2 (en) 2009-12-22 2013-10-01 Sumita Optical Glass, Inc. Light-emitting device, light source and method of manufacturing the same
JP5330306B2 (ja) * 2010-03-30 2013-10-30 豊田合成株式会社 発光装置
KR20110087579A (ko) * 2010-01-26 2011-08-03 삼성엘이디 주식회사 Led 모듈과 이를 구비하는 백라이트 유닛
JP5287747B2 (ja) * 2010-01-29 2013-09-11 豊田合成株式会社 線状光源装置
JP2011187587A (ja) * 2010-03-05 2011-09-22 Seiko Instruments Inc 発光デバイス
US8723409B2 (en) 2010-04-07 2014-05-13 Nichia Corporation Light emitting device
JP5786278B2 (ja) * 2010-04-07 2015-09-30 日亜化学工業株式会社 発光装置
US10158057B2 (en) 2010-10-28 2018-12-18 Corning Incorporated LED lighting devices
EP2632868A1 (en) * 2010-10-28 2013-09-04 Corning Incorporated Phosphor containing glass frit materials for led lighting applications
JP5661552B2 (ja) * 2010-12-24 2015-01-28 シチズンホールディングス株式会社 半導体発光装置及びその製造方法
KR101766299B1 (ko) * 2011-01-20 2017-08-08 삼성전자 주식회사 발광소자 패키지 및 그 제조 방법
US8754440B2 (en) * 2011-03-22 2014-06-17 Tsmc Solid State Lighting Ltd. Light-emitting diode (LED) package systems and methods of making the same
JP2012212733A (ja) 2011-03-30 2012-11-01 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置
JP5703997B2 (ja) * 2011-06-29 2015-04-22 豊田合成株式会社 発光装置
WO2013013154A2 (en) 2011-07-21 2013-01-24 Cree, Inc. Light emitter device packages, components, and methods for improved chemical resistance and related methods
US10686107B2 (en) 2011-07-21 2020-06-16 Cree, Inc. Light emitter devices and components with improved chemical resistance and related methods
US10211380B2 (en) 2011-07-21 2019-02-19 Cree, Inc. Light emitting devices and components having improved chemical resistance and related methods
US9496466B2 (en) 2011-12-06 2016-11-15 Cree, Inc. Light emitter devices and methods, utilizing light emitting diodes (LEDs), for improved light extraction
US9240530B2 (en) * 2012-02-13 2016-01-19 Cree, Inc. Light emitter devices having improved chemical and physical resistance and related methods
US9343441B2 (en) 2012-02-13 2016-05-17 Cree, Inc. Light emitter devices having improved light output and related methods
WO2013148783A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 Corning Incorporated Bismuth borate glass encapsulant for led phosphors
WO2013168037A1 (en) * 2012-05-08 2013-11-14 Koninklijke Philips N.V. Remote phosphor and led package
JP2013258209A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Nitto Denko Corp 封止シート、発光ダイオード装置およびその製造方法
JP6205894B2 (ja) * 2012-07-04 2017-10-04 日亜化学工業株式会社 発光装置用パッケージ成形体およびそれを用いた発光装置
TW201415681A (zh) * 2012-10-08 2014-04-16 Lextar Electronics Corp 壓模式發光裝置及其製造方法
KR101977278B1 (ko) * 2012-10-29 2019-09-10 엘지이노텍 주식회사 발광 소자
US10017849B2 (en) 2012-11-29 2018-07-10 Corning Incorporated High rate deposition systems and processes for forming hermetic barrier layers
US9202996B2 (en) * 2012-11-30 2015-12-01 Corning Incorporated LED lighting devices with quantum dot glass containment plates
CN103050606A (zh) * 2013-01-11 2013-04-17 华南师范大学 一种高显色指数大功率led封装结构及其制造方法
WO2014159894A1 (en) * 2013-03-14 2014-10-02 Corning Incorporated Led lighting devices
CN106195924B (zh) * 2013-06-08 2019-05-03 深圳光峰科技股份有限公司 一种波长转换装置及其制作方法、相关发光装置
EP3030626A2 (en) 2013-08-05 2016-06-15 Corning Incorporated Luminescent coatings and devices
JP6152801B2 (ja) * 2014-01-21 2017-06-28 豊田合成株式会社 発光装置及びその製造方法
EP3117267B1 (en) * 2014-03-11 2018-05-02 Osram Sylvania Inc. Light converter assemblies with enhanced heat dissipation
DE102015107593A1 (de) * 2015-05-13 2016-11-17 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronischer Halbleiterchip und Leuchtmittel
WO2017023502A1 (en) * 2015-08-03 2017-02-09 Koninklijke Philips N.V. Semiconductor light emitting device with reflective side coating
DE102016114474A1 (de) * 2016-08-04 2018-02-08 Osram Opto Semiconductors Gmbh Bauteil mit einem lichtemittierenden Bauelement
KR20180083011A (ko) * 2017-01-11 2018-07-20 삼성디스플레이 주식회사 광원 유닛, 이를 포함하는 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
JP7035338B2 (ja) * 2017-05-22 2022-03-15 日本電気硝子株式会社 接合体の製造方法
WO2020137762A1 (ja) * 2018-12-27 2020-07-02 デンカ株式会社 蛍光体基板、発光基板及び照明装置
US11367812B2 (en) * 2019-06-05 2022-06-21 Ferro Corporation Layered phosphor in glass
JP7437419B2 (ja) * 2019-12-25 2024-02-22 デンカ株式会社 灯具

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2681861A (en) * 1950-12-12 1954-06-22 Westinghouse Electric Corp Glass for embedding zinc sulfide phosphors
JP3769872B2 (ja) * 1997-05-06 2006-04-26 ソニー株式会社 半導体発光素子
JP3536693B2 (ja) * 1998-11-24 2004-06-14 セイコーエプソン株式会社 半導体記憶装置及びその製造方法
JP2003051622A (ja) * 2001-08-07 2003-02-21 Rohm Co Ltd 白色系半導体発光装置
TW518771B (en) * 2001-09-13 2003-01-21 United Epitaxy Co Ltd LED and the manufacturing method thereof
TW558775B (en) * 2002-06-27 2003-10-21 Solidlite Corp Package of compound type LED
EP1627178B1 (en) * 2003-05-05 2018-11-07 GE Lighting Solutions, LLC Led-based light bulb
JP4259198B2 (ja) * 2003-06-18 2009-04-30 豊田合成株式会社 発光装置用波長変換部の製造方法及び発光装置の製造方法
CN100511732C (zh) * 2003-06-18 2009-07-08 丰田合成株式会社 发光器件
DE102004063978B4 (de) * 2003-07-17 2019-01-24 Toyoda Gosei Co., Ltd. Lichtemittierende Vorrichtung
JP2005223222A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Toyoda Gosei Co Ltd 固体素子パッケージ
JP4363217B2 (ja) * 2004-02-19 2009-11-11 日亜化学工業株式会社 アルカリ土類金属ホウ酸塩蛍光体及びそれを用いた発光装置

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