JP5218725B2 - 接続方法 - Google Patents

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Description

本発明は電気部品の接続方法に関する。
従来より基板と電気部品との接続や、電気部品同士の接続に異方導電性接着フィルムが用いられている。
例えば、液晶パネルに用いられるガラス基板には、半導体チップ、配線板等の複数種類の電気部品が異方導電性接着フィルムを用いて接続されている。
しかしながら、各電気部品の端子厚や端子間隔は必ずしも同じではなく、端子厚や端子間隔に応じて異方導電性接着フィルムの厚さを変えることが必要とされ、そのために、厚さの異なる複数種の異方導電性接着フィルムを用意して使用せねばならないという煩雑さがあった。即ち、薄い端子の電気部品を基板に接続する際に、厚い端子用の異方導電性接着フィルムを用いると接続不良が起こり、逆に厚い端子の電気部品を基板に接続する際に、薄い端子用の異方導電性接着フィルムを用いると、電気部品と基板との隙間に異方導電性接着フィルムが充填されずに空隙が生じ、その空隙が電気部品の剥離の原因となる。
特開2001−240816号公報
本発明は上述した課題を解決するためのものであり、その目的は、端子厚又は端子間隔が異なることにより端子間容積が異なる複数の電気部品を異方導電性接着剤層を用いて接続する際に、より少ない種類の異方導電性接着剤層を用いてそれぞれの電気部品の端子を確実に接続することにある。
本発明者は、端子厚又は端子間隔が異なることにより端子間容積が異なる複数の電気部品を、異方導電性接着剤層を用いて基板に接続する際に、端子間容積の大きい電気部品に対しては、異方導電性接着剤層上に絶縁性接着剤層を形成しておくと、電気部品と基板との間の間隙の充填に必要な接着剤量を絶縁性接着剤層で補えることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は、第一の電気部品の接続端子、該接続端子よりも端子間容積の大きい第二の電気部品の接続端子を、それぞれ基板表面の第一の基板側端子、第二の基板側端子に、異方導電性接着剤層によって接続する方法であって、
第二の電気部品の接続端子と第二の基板側端子との間に、異方導電性接着剤層と共に、該異方導電性接着剤層よりも導電性粒子の含有量の少ない第二の接着剤層を配置して第二の電気部品を接続する接続方法を提供する。
ここで、端子間容積とは、接続端子の形成領域における単位面積あたりの、接続端子同士の間隙の容積をいう。この端子間容積は、端子厚が厚い程大きく、接続端子の形成領域の平面図において接続端子の形成面積の合計が小さいほど(即ち、接続端子が疎に形成されているほど)大きい。
また、第一、第二の基板側端子とは、例えば、同一又は異なる基板上の離間した領域にそれぞれ形成された配線端子であって、電気部品の接続端子と接続される部分のことであり、各端子の形状、大きさ、配置場所は特に限定されるものではない。
本発明によれば、第一の電気部品の接続端子と第一の基板側端子との電気的接続と、第二の電気部品の接続端子と第二の基板側端子との電気的接続は、それぞれ異方導電性接着剤層中の導電性粒子で行われる。従って、第二の電気部品の接続に使用する第二の接着剤層の導電性粒子の含有量が異方導電性接着剤層より少なくても、さらには導電性粒子を含有しなくても、電気的接続不良は生じない。なお、異方導電性接着剤層の膜厚が、これらの電気的接続に必要な最低膜厚より厚くても、余分な異方導電性接着剤は、接続時の押圧により電気部品の接続端子と基板側端子との間から押し出されて排除されるので、この場合にも電気的接続不良は生じない。
一方、第一の電気部品の接続端子の形成領域と第一の基板側端子の形成領域との機械的接着は、異方導電性接着剤層の膜厚を、第一の接続端子と第一の基板側端子との接続に適した厚さに設定することにより、良好に行うことができる。
また、第二の電気部品の接続端子の形成領域と第二の基板側端子の形成領域との機械的接着は、端子間容積が第一の電気部品より第二の電気部品で大きくても、異方導電性接着剤層と共に第二の接着剤層を使用することにより端子間の間隙をこれらの接着剤で隙間無く充填することができるので、良好に行うことができ、第二の電気部品の基板からの剥離を防止できる。この場合、第二の接着剤層は、液状の接着剤層の塗布により形成できるので、塗布量を変えるだけで、第二の電気部品の接続に適合するように、容易に膜厚を変えることができる。
したがって本発明によれば、端子間容積の異なる第一の電気部品と第二の電気部品を、同じ異方導電性接着フィルムを用いて基板に接続することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は、同一又は同等の構成要素を表している。
図1は、本発明の接続方法により製造された電気装置の一例である、LCDパネル1の平面図を示している。このLCDパネル1は、フロントパネルとリアパネル10が貼り合わされ、その内部に液晶材料が封入された積層基板を有している。
これらのフロントパネル又はリアパネル10はガラス製の基板11を有しており、その基板11の表面には金属膜がパターニングされて複数本の細長の配線部16が形成されている。この配線部16の一端は第一の基板側端子17の一部17aとなり、他端は第二の基板側端子18となっている。
また、パネル10には内部配線19が設けられており、その一端はTFT等の駆動回路(不図示)に接続され、他端は第一の基板側端子17の一部17bとして集められている。図1に示したように、この内部配線19の一端となる第一の基板側端子17bは、前述の配線部16の一端となる第一の基板側端子17aと二列に並べられている。
ここで、配線部16と、第一、第二の基板側端子17、18は同じ金属膜から形成されているので、これらの膜厚は等しくなっている。
このLCDパネル1においては、後に詳述するように、第一の基板側端子17上に第一の電気部品である半導体チップ20が、絶縁性接着剤40中に導電性粒子45を分散させた異方導電性接着剤層41を用いて接続され、第二の基板側端子18上に第二の電気部品である配線板25が、同様の異方導電性接着剤層41に加えて、第二の接着剤層である絶縁性接着剤層43を用いて接続されている。したがって、配線板25の配線膜(不図示)を外部回路に接続すれば、外部回路からの電気信号が配線板25を介して半導体チップ20に伝達され、半導体チップ20で処理された電気信号がパネル10の駆動回路に伝達され、LCDパネル1の表示画像を切り替えることができる。
LCDパネルの接続構造の詳細を、図2A及び図2Bに示す。
図2Aは、図1のLCDパネル1における半導体チップ20の接続部分のA−A断面図である。半導体チップ20はチップ本体21と、チップ本体21の一面に接続端子として配置された複数のバンプ22とを有しており、このバンプ22を基板11上の第一の基板側端子17に向けている。そして半導体チップ20の複数のバンプ22と基板側端子17の対応する端子同士が、導電性粒子45を介して電気的に接続され、これらの端子の間隙が絶縁性接着剤の硬化物40’で充填され、半導体チップ20と基板11が機械的に接着している。
図2Bは図1のLCDパネル1における配線板25の接続部分のB−B断面図である。配線板25は配線板本体26と、配線板本体26の表面に接続端子として配置された複数の電極27とを有し、この複数の電極27を基板11上の第二の基板側端子18に向けている。これらの電極27は、前述の半導体チップ20のバンプ22よりも疎に形成されており、また、電極27の厚みも厚いため、端子間容積が大きいが、端子の間隙には、異方導電性接着剤層の絶縁性接着剤の硬化物40’と、その上に積層された絶縁性接着剤層の硬化物43’が満たされているので、配線板25と基板11とは機械的に良好に接着されている。また、電極27と第二の基板側端子18の対応する端子同士は、異方導電性接着剤層41に含まれる導電性粒子45を介して電気的に接続されている。
次に、図3A、3B〜図6A、6Bを参照しつつLCDパネル1の製造工程について説明する。なお、この製造工程を説明する以下の断面図は、上述のA−A断面図、B−B断面図に対応する部位の断面図である。
先ず、異方導電性接着剤層41として異方導電性接着フィルムを作成する。より具体的には、異方導電性接着剤を構成する絶縁性接着剤40として、熱硬化性樹脂を含有するバインダーを用意し、この中に導電性粒子45を分散させ、これをフィルム状に成形し、膜厚が均一な異方導電性接着フィルムを得る。
ここで、異方導電性接着剤層41の膜厚は、第一の基板側端子17に半導体チップ20の接続端子であるバンプ22を接続するのに適した厚さとし、基本的には、第一の基板側端子17とバンプ22の合計厚と同等以上になるようにするが、第一の基板側端子17の厚みがバンプ22の厚みに対して充分に薄い場合には、バンプ22の厚みと同等又はそれ以上とする。これにより、後述するように、第一の基板側端子と複数のバンプ22との間に異方導電性接着剤層のフィルム片41aを載置し、これらを加熱加圧することにより、基板11と半導体チップ20との間隙が異方導電性接着剤で隙間無く充填され、基板11と半導体チップ20とが密着する。特に、バインダーに熱可塑性樹脂やゴム等の接着性成分を含有させた場合には、基板11と半導体チップ20とを強固に接着することができる。
次に、異方導電性接着フィルム41から、第一の基板側端子17への半導体チップ20の接続に用いる第一のフィルム片41aと、第二の基板側端子18上への配線板25の接続に用いる第二のフィルム片41bを切り出す。
そして、図3Aに示す基板11の第一の基板側端子17上に、この第一のフィルム片41aを載置すると共に、図3Bに示す第二の基板側端子18上に第二のフィルム片41bを載置する。
これにより、図4Aに示すように、第一の基板側端子17は第一のフィルム片41aで覆われ、図4Bに示すように、第二の基板側端子18は第二のフィルム片41bで覆われる。
次に、熱硬化性樹脂を含有した絶縁性バインダーからなり、導電粒子を含有しないペースト状の絶縁性接着剤を調製し、これをディスペンサ等を用いて、図5に示すように、第二のフィルム片41bの表面に塗布し、絶縁性接着剤層43を形成する。この絶縁性接着剤層43の膜厚は、第二のフィルム片41bと絶縁性接着剤層43との合計膜厚が、基本的には電極27と第二の基板側端子18との合計厚と同等以上になるようにするが、第二の基板側端子18の厚みが電極27の厚みに対して充分に薄い場合には、電極27同士の間隙を充填するのに十分な厚さとなるように、電極27の厚さと同等又はそれ以上とする。
例えば、第二の基板側端子18の厚みが配線板25の電極27の厚みに対して無視出来る程度に薄く、配線板25の電極27の厚みが35μm以上の場合、第二のフィルム片41bの厚みは20μm以上25μm以下とし、絶縁性接着剤層43の膜厚は5μm以上35μm以下とすることが好ましい。
次に、図6Aに示すように、半導体チップ20を、バンプ22の配置面を下側に向け、第一の基板側端子17上で位置合わせし、第一のフィルム片41a上に配置し、半導体チップ20を加熱しながら押圧する。これにより、熱伝導によって第一のフィルム片41aが昇温して軟化し、半導体チップ20の押圧によって各バンプ22と第一の基板側端子17との間の異方導電性接着剤を押し退ける。
この押圧前のバンプ22同士の間には半導体チップ本体21の表面又はその表面上に形成された保護膜等が露出し、これらの露出表面を底面とする凹部37が形成されているが、押圧によりこの凹部37に上述の押し退けられた異方導電性接着剤が流れ込む。
フィルム片41aは熱硬化性樹脂を含有しているため、更に加熱押圧を続けると、凹部37が異方導電性接着剤層で充填されたまま、そこに含まれる熱硬化性樹脂が重合して硬化し、図2Aに示したように、半導体チップ20が電気的にも機械的にも接続される。
一方、図6Bに示すように、配線板25を、その電極27の形成面を下側に向け、電極27と第二の基板側端子とを位置合わせし、配線板25を加熱しながら押圧する。これにより、熱伝導によって絶縁性接着剤層43と異方導電性接着フィルムの第二のフィルム片41bの両方が加熱されて軟化し、各電極27と基板側端子との間の絶縁性接着剤と異方導電性接着剤を押し退ける。
この押圧前の配線板25の電極27同士の間には、配線板本体26の表面又はその表面上の保護膜等が露出し、これらの露出表面を底面とする凹部38が形成されているが、押圧によりこの凹部38に上述の押し退けられた絶縁性接着剤と異方導電性接着剤の双方が流れ込む。
また、絶縁性接着剤層43と第二のフィルム片41bとの合計膜厚が電極27同士の間隙を充填するのに十分な厚さとなるように、絶縁性接着剤層43が形成されている。したがって、配線板25の加熱押圧を続けると、図2Bに示したように、配線板25が電気的にも機械的にも良好に接続される。
特に、絶縁性接着剤層43を形成するバインダーに熱可塑性樹脂やゴム等の接着性成分を含有させると、基板11と配線板25とを強固に接着することができる。
これに対し、絶縁性接着剤層43を形成しないで配線板25を接続した場合には、半導体チップ20のバンプ22に比して、配線板25の電極27の端子間容積が大きいから、電極27の端子間を異方導電性接着剤で満たすことができず、配線板25と基板11との機械的な接着不良が生じ易くなる。
以上は、第二の電気部品(配線板25)の接続端子である電極27が第一の電気部品(半導体チップ20)の接続端子であるバンプ22よりも厚く、かつ疎に形成されている場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、第一の接続端子と第二の接続端子の厚さが同じであっても、第一の接続端子の間隔よりも第二の接続端子の間隔が広く、第二の接続端子がその接続時に異方導電性接着剤層を押し退ける量が、第二の接続端子間の凹部38を充填する量に足りない場合には、第二の電気部品を押圧する前に、異方導電性接着剤層41上に絶縁性接着剤層43を形成する。
本発明においては、電気的接続に、より多くの導電粒子を用いて導通抵抗を低くする等の必要により、異方導電性接着剤層41の上に設ける第二の接着剤層として、導電性粒子を含まない絶縁性接着剤層43を用いることに代えて、絶縁性接着剤に導電性粒子を含有させたものを設けてもよい。
しかし、導電性粒子は高価なため、絶縁性接着剤層に導電性粒子を含有させると接続にかかるコストが高くなるだけでなく、特に導電性粒子を含有させた第二の接着剤層をペースト状の接着剤の塗布によって形成する場合には、そのペースト状の接着剤において導電性粒子の分散状態を維持させるための工夫が必要になり、製造工程が煩雑になる。
従って、通常は、第二の接着剤層43の導電性粒子の含有量は少なくとも異方導電性接着剤層41の含有量よりも少ない方が好ましく、より好ましくは導電性粒子を含有させないことである。
第二の接着剤層43の形成は、ペースト状の接着剤の塗布に限定されず、フィルム状に成形したものを異方導電性接着剤層41に貼付してもよい。
しかしながら、フィルム状に成形したものを貼付するための仮貼り装置に比べ、ディスペンサ等の塗布装置の方が安価である上、ペースト状の接着剤の塗布は、その膜厚を第二の接続端子の端子間容積に合わせて容易に変更可能であるという点と、第二の接続端子上の異方導電性接着剤層の表面に凹凸があっても、その凹凸が第二の接着剤層で平坦化されるので、第二の電気部品を押圧する際に、第二の接着剤層43と第二の電気部品25の界面に空気が巻き込まれ難いという利点がある。従って、第二の接着剤層43の形成は、フィルム状に成形したものを貼付するよりも、ペースト状のものを塗布する方が優れている。
なお、ペースト状の第二の接着剤層43の塗布には、ディスペンサやロールコーター等一般的な塗布装置を用いることができる。
本発明において、基板11の第二の基板側端子18上に異方導電性接着剤層41と第二の接着剤層43を配置する順序は、第二の基板側端子18上に異方導電性接着剤層41と第二の接着剤層43を順次配置してから、第二の電気部品25を接続する他、第二の基板側端子18上に異方導電性接着剤層41を配置し、一方、第二の電気部品25の第二の接続端子27上に第二の接着剤層43を配置し、これらを接続してもよく、第二の基板側端子18上に異方導電性接着剤層41を配置せずに、第二の電気部品25の第二の接続端子27上に異方導電性接着剤層41と第二の接着剤層43を配置して第二の電気部品25を基板11上に接続することもできる。
しかし、異方導電性接着剤層41と第二の接着剤層43は、第二の電気部品25に配置するよりも、基板11の第二の基板側端子18上に配置した方が第二の電気部品25の取り扱いが容易である。したがって、第二の基板側端子18上に異方導電性接着剤層41と第二の接着剤層43を順次配置してから、第二の電気部品25を接続することが好ましい。
また、第二の接着剤層43を構成する接着剤がフィルム状の場合には、基板11の第二の基板側端子18上に先ず第二の接着剤層43を配置してから、その上に異方導電性接着剤層41を配置してもよい。
本発明において、第一、第二の基板側端子17、18上に異方導電性接着剤層41を設ける態様としては、第一、第二の基板側端子17、18上に別々の異方導電性接着フィルムのフィルム片41a、41bを貼付することに代えて、第一、第二の基板側端子17、18間の距離と同じかそれよりも長い長尺フィルム片を作成し、この1枚の長尺フィルム片を基板11上に貼付し、第一、第二の基板側端子17、18を同時に被覆するように構成してもよい。この場合、フィルム片を貼付する工程が1回で済むので、別々のフィルム片を貼付する場合に比べて製造に要する時間を短くすることができる。
本発明の接続方法において、第一、第二の電気部品を接続する順番は特に限定されず、第二の電気部品を加熱押圧して接続した後、第一の電気部品を加熱押圧して接続してもよいし、第一、第二の電気部品を同時に加熱押圧して接続してもよい。
第一、第二の電気部品を加熱押圧する方法は特に限定されず、一般に用いられる方法、例えば、昇温した加熱ヘッドを第一、第二の電気部品に押し当てる方法、基板11における第一、第二の電気部品の接続部分を昇温した加熱台に載置し、第一、第二の電気部品を押圧ヘッドで押圧する方法、又は加熱台と加熱ヘッドの両方を用いる方法がある。
加熱押圧の条件は特に限定されないが、一般に異方導電性接着剤層や絶縁性接着剤層の厚みや、電気部品の種類が異なると最適な熱圧着条件も異なるので、電気部品の種類毎に加熱押圧の条件を変えることが好ましい。一例を述べると、半導体チップ20と配線板25の加熱温度はそれぞれ130〜180℃であり、半導体チップ20の加熱押圧時間は5秒〜10秒であり、配線板の加熱押圧時間は8秒〜20秒である。
本発明により接続する基板11、半導体チップ20、配線板25それ自体の種類にも特に限定はない。
例えば、第一、第二の電気部品を接続する基板11は、上述したLCDパネル1の基板に限定されず、PDP用パネルの基板、携帯電話やコンピュータ用の基盤等、種々の基板とすることができる。
電気部品の種類は半導体チップ20と配線板25に限定されず、抵抗素子等他の部品を用いることもできる。
配線板25についても、TAB(Tape Automated Bonding)、FPC(Flexible Printed Circuit)、リジッド基板等を用いることができる。
また、基板11に接続する電気部品は2種類に限定されず、接続端子の厚さの異なる3種類以上の電気部品を同じ基板11に接続することもできる。この場合、基板11上に形成する異方導電性接着剤層の膜厚は、電気部品の端子間容積が最も小さいものに合わせることが好ましい。また、他の2種類以上の電気部品を基板11に接続する際には、異方導電性接着剤層上に形成する第二の接着剤層の膜厚を、各電気部品の端子間容積の大きさに合わせて変えることが好ましい。
本発明に用いる異方導電性接着剤層41自体の構成に関しては、そこに用いる導電性粒子45の粒径と含有量は特に限定されないが、接続端子(バンプ22、電極27)のうち、先端の面積(接続面積)が小さい方の接続端子が確実に接続されるように設計することが好ましい。
一例を述べると、半導体チップ20のバンプ22の接続面積が2000μm2である場合に、バンプ22を確実に接続するのに必要な導電性粒子の含有量は150万個/mm3以上600万個/mm3以下であるのに対し、配線板25の電極27の接続面積が4万μm2である場合に、電極27を確実に接続するのに必要な導電性粒子の含有量は3万個/mm3以上100万個/mm3以下である。
導電性粒子45の種類は特に限定されず、金属粒子、樹脂粒子の表面に金属メッキ層等の導電層が形成された導電性被覆粒子、金属粒子や導電性被覆粒子の表面が樹脂膜で覆われた樹脂被覆粒子等を用いることができる。
異方導電性接着剤層41に用いるバインダーの組成と、絶縁性接着剤層43に用いるバインダーの組成は特に限定されるものではないが、熱硬化性樹脂を含有し、加熱により硬化するものが好ましい。これらは同一組成としてもよく、異なる組成としてもよい。
熱硬化性樹脂としては、加熱により重合するものであれば、例えば、エポキシ樹脂、アクリレート樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂等を使用することができる。中でも、硬化後の接着強度が良好な点を考慮すると、エポキシ樹脂が好ましい。
実際、異方導電性接着フィルム41と絶縁性接着剤層43に、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有させると、異方導電性接着フィルム41の上に絶縁性接着剤層43を形成して配線板25を接続した場合と、形成せずに配線板25を接続した場合とを比べると、絶縁性接着剤層43を形成した場合が形成しなかった場合に比べて配線板25の接着強度が2N/cm〜5N/cm程度上昇した。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エステル型エポキシ樹脂、脂環型エポキシ樹脂等を単独、又は2種類以上混合して用いることができる。
アクリレートとしては、反応性二重結合を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート等を単独又は2種類以上用いることができる。
また、上述したバインダーには必要に応じて、熱硬化性樹脂の重合を促進させる硬化剤(例えばアミン系化合物)、接着性成分である熱可塑性樹脂及び/又はゴム、充填剤(シリカ、マイカ等)、顔料、帯電防止剤、無機材料(例えばガラス基板)への接着性を高めるためのカップリング剤、着色剤、老化防止剤等の添加剤のいずれか1種類以上を含有させることができる。
異方導電性接着剤層41のバインダーの組成と絶縁性接着剤層43に用いるバインダーの組成の一例を述べると、異方導電性接着剤層41に用いるバインダーは熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有し、ガラス転移温度を130〜170℃とし、絶縁性接着剤層43に用いるバインダーは熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有し、ガラス転移温度を110〜120℃とする。
本発明の接続方法は、異方導電性接着剤を用いる電気部品の製造に広く使用することができる。
本発明の接続方法により製造されるLCDパネルの平面図である。 LCDパネルにおける半導体チップの接続部位のA−A断面図である。 LCDパネルにおける配線板の接続部位のB−B断面図である。 基板上の半導体チップの接続部位の製造工程の説明図である。 基板上の配線板の接続部位の製造工程の説明図である。 異方導電性接着剤層を形成した半導体チップの接続部位のA−A断面図である。 異方導電性接着剤層を形成した配線板の接続部位のB−B断面図である。 絶縁性接着剤層を形成した配線板の接続部位の断面図である。 基板上の半導体チップの接続部位における加熱押圧工程のA−A断面図である。 基板上の配線板の接続部位における加熱押圧工程のB−B断面図である。
符号の説明
1…LCDパネル
10…フロントパネル又はリアパネル
11…基板
16…配線部
17…第一の基板側端子
18…第二の基板側端子
19…内部配線
20…半導体チップ(第一の電気部品)
21…半導体チップ本体
22…バンプ(第一の接続端子)
25…配線板(第二の電気部品)
26…配線板本体
27…電極(第二の接続端子)
37…凹部
38…凹部
40…絶縁性接着剤
40’…異方導電性接着剤を構成する絶縁性接着剤の硬化物
41…異方導電性接着剤層(異方導電性接着フィルム)
41a、41b…異方導電性接着フィルムのフィルム片
43…絶縁性接着剤層(第二の接着剤層)
43’…絶縁性接着剤の硬化物
45…導電性粒子

Claims (4)

  1. 第一の電気部品の接続端子、該接続端子よりも端子間容積の大きい第二の電気部品の接続端子を、それぞれ基板表面の第一の基板側端子、第二の基板側端子に、異方導電性接着剤層を用いて接続する方法であって、
    第二の電気部品の接続端子が、第一の電気部品の接続端子に比して端子厚が大きく且つ端子間隔が広く、
    第一の電気部品の接続端子と第一の基板側端子との間に、異方導電性接着剤層を配置して第一の電気部品を接続し、第二の電気部品の接続端子と第二の基板側端子との間に、異方導電性接着剤層と共に導電性粒子を含有しない絶縁性接着剤層である第二の接着剤層を配置して第二の電気部品を接続する際に、
    異方導電性接着剤層を第二の基板側端子上に配置した後、その異方導電性接着剤層上に第二の接着剤層を配置する接続方法。
  2. 異方導電性接着剤層として異方導電性接着フィルムを使用し、流動性を有する接着剤を異方導電性接着フィルム上に塗布して第二の接着剤層を形成する請求項1記載の接続方法。
  3. 第一の基板側端子上の異方導電性接着剤層と第二の基板側端子上の異方導電性接着剤層の厚みを等しくする請求項1又は2記載の接続方法。
  4. 第一の電気部品として半導体チップを用い、第二の電気部品として配線板を用いる請求項1〜3のいずれかに記載の接続方法。
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