JP5213284B2 - 共振器およびこれを用いた発振器 - Google Patents
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Description
また、「特許文献3」においても「特許文献2」と同様、チューニング電極を設けて周波数調整を行っている。特許文献3の特徴はチューニング電極を複数個設けている点である。これはチューニング電圧による静電力の拘束を振動子に対して非対称に与えないためにチューニング電極を複数個設けている。また、これら複数のチューニング電極には同一のチューニング電圧が印加されている。
「特許文献1」記載のPLL等の外部回路で初期ばらつき補正と温度補正の双方の広範囲な周波数補正を行おうとすると、きめ細かく大量に分周比のセットを準備しなくてはならず、整数倍PLLでは対応できず少数倍PLLが必須となる。少数倍PLLは相異なる整数倍を一定時間内である一定の割合にふりわけた構成であるので、PLL出力の信号の周波数偏差は見かけ上相殺されるが、ジッタや位相雑音は劣化する。
この構成によれば、共振器の共振周波数を広範囲かつ高精度に調整することができる。
この構成によれば、パドルに対向する電極に印加する直流電圧で周波数の粗調整を行い、ねじり梁に対向する電極に印加する直流電圧で微調整を行うことができ、全体として広範囲、かつ高精度の周波数調整を行うことができる。
この構成によれば、コイルや抵抗など、電極と振動子間の電気的インピーダンスよりも大きなインピーダンス素子が挿入されていることで、発振交流信号が直流電圧源に漏洩して発振器の損失が増大することを抑制することができる。
この構成によれば、広範囲かつ高精度に周波数が調整された高周波を発振することができる。なお、周波数調整に用いるために直流電源に接続された電極として、共振器の入力電極または出力電極を用いても良い。
この構成によれば、振動子の共振周波数の初期ばらつきを補正するのみではなく、発振器として使用する環境の温度変化に応じて直流電圧源を制御することで、発振周波数を一定に保つことができる。
この構成によれば、より広範囲の周波数調整範囲を得ることができる。
(実施の形態1)
図1(a)乃至(c)は、本発明の実施の形態1の共振器を構成する振動子を示す図である。図1(a)は、本発明の実施の形態1における振動子101を示す上面図である。図1(b)は、図1(a)のA1−A1’断面およびA2−A2’断面を示す図である。図1(c)は、図1(a)のB−B’断面図である。振動子101の材料は単結晶シリコンである。
図1(a)に示すように、ねじり振動の主軸となるねじり梁1の両端にアンカー2a、2bが形成され、このアンカー2a、2bは基板(図示せず)に固定され、振動子を構成している。ねじり梁1の中心部には付加質量となるパドル3が連接されている。振動子101がねじり梁1を主軸にねじり振動を行う際、パドル3は剛体、すなわちおもりとして機能する。このパドル3は、微小な励振力で大きな回転力を発生させる役割と、ねじり共振周波数を調整する役割とを担っている。
図2(a)において、微調整用電極4周辺のA1−A1’における断面を図2(b)に示した。ねじり梁1の断面は三角形に近い台形であり、一様の空隙を介して微調整用電極4が配置され、コンデンサを形成している。微調整用電極4の厚みはねじり梁1の厚みの約1/2に設定してある。これはねじり変位量に対する容量変化の割合が最大となるようにしたためである。この設計による効果は前記特許文献4に記述されている。
パドル3、補助微調整用電極5周辺のC−C’における断面を図2(d)に示す。補助微調整用電極5の厚みは、微調整用電極4と入出力電極6,7との中間的な値に設定した。
図1(a)の振動子において、ねじり梁1およびパドル3の寸法を、L1=30μm、L2=20μm、L3=20μmとすると、振動子は約4MHzのねじり振動モードを持つ。微調整用電極4および補助微調整用電極5には、図2(a)に示したように、同じ制御直流電圧Vfine が印加される。なお、直流電圧源Vfineと、微調整用電極4および補助微調整用電極5との間には、発振周波数の交流信号が電圧源Vfine に漏洩しないように、ACブロック用インピーダンス素子Zが挿入されている。このインピーダンス素子Zのインピーダンスは、振動子101の共振周波数における、振動子101に対向する各電極と、振動子101との間のそれぞれの電気的インピーダンスよりも大きなインピーダンス素子とすることで、発振周波数の交流信号が微調整用の可変電圧源25に漏洩することを阻止する効果が高まる。
なお、本実施の形態では、微調整用の電極として微調整用電極4および補助微調整用電極5の2つを用いたが、いずれか一方のみであっても同様の効果を得ることができる。すなわち、微調整用の電極として単一の電極を設定し、その構成において図3の特性を測定しておくことによって、本実施形態と同じように周波数を調整することができる。また、微調整用の電極として3つ以上の電極を設けることも可能である。
次に本発明の実施の形態2の発振器について説明する。
本実施の形態の発振器を図5に示す。図2に示した構成との比較から明らかなように、本実施の形態では、出力電極を省き、出力電極の機能を振動子に持たせている。増幅器8へは、振動子のアンカー2aから配線を引き出し、接続している。本実施形態では、振動子の直流電位は増幅器8の直流動作点の直流電位で固定されるため、振動子と入力電極6との間の直流電位差ΔVcoarseを、粗調整用の可変電圧源24の電位Vcoarseで調整する。また、振動子と微調整用電極4および補助微調整用電極5との電位差ΔVfineを、微調整用の可変電圧源25の電位Vfineで調整する。このように構成した発振器においても、図3に示すようなΔVcoarseおよびΔVfineと周波数シフト量との関係により、周波数の微調整を行うことができる。具体的な周波数調整方法については、前記実施の形態1と同様である。
次に本発明の実施の形態3の発振器について説明する。
本実施の形態の発振器を図6に示す。本実施の形態ではPLLの分周比を制御する必要がない固定倍PLL構成、もしくはPLL自体を必要としない場合の発振器の構成について説明する。
図1(a)に示した実施の形態1の振動子の寸法において、L1=100μm、L2=100μm、L3=200μmとすると、振動子は約32kHzのねじり振動モードを持つ。この振動子を用いて、図6に示す発振器構造を形成する。電極の配置は図2に示した実施の形態1の発振器と同様であるが、図6に示すように、本実施の形態では、微調整用電極4および補助微調整用電極5に、それぞれ独立に微調整用の可変電圧源25a(電位Vfine1)および25b(電位Vfine2)が接続されている。また、入力電極6の電位は0.5Vddと固定されている。
本実施形態の発振器では、まず周波数の粗調整を行う。振動子に与える粗調整用の可変電圧源24の直流電位Vcoarseを制御することにより、振動子と入力電極6間の直流電位差を制御する。振動子の最も大きく変位する部分、すなわち、パドル3の最も大きく変位する最外郭に近接して入力電極6を設け、入力電極6と振動子との間の電位差を制御することで、広い周波数範囲にわたって共振周波数を粗く調整させることができる。
ここで、図7を用いて、本実施形態における周波数調整方法を説明する。図7のグラフにおいて、横軸は直流電位差を、縦軸は共振周波数を示している。なお、横軸の直流電位差は、曲線a、b、cのそれぞれに対して異なる値を示している。すなわち、曲線aに対しては、粗調整用の可変電圧源24の電位Vcoarseと入力電極6の電位0.5Vddとの電位差を示している。曲線bに対しては、第1の微調整用の可変電圧源25bの電位Vfine2と粗調整用の可変電圧源24の電位Vcoarseとの電位差を示している。曲線cに対しては、第2の微調整用の可変電圧源25aの電位Vfine1と粗調整用の可変電圧源24の電位Vcoarseとの電位差を示している。直流電圧源の精度をΔVとすると、まずはこの粗調整により共振周波数のばらつきを、矢印Aで示す範囲内まで抑えることができる。
次に本発明の参考例について図面を参照しつつ詳細に説明する。
なお、前記実施の形態1乃至3では、いずれもねじり振動について説明したが、たわみ振動にも適用可能である。図9は実施の形態3で説明したねじり振動子を用いた図6の発振器の構成において、ねじり振動子をたわみ振動子におきかえた例である。図9中、両端をスペーサ104で基板100に固定された両持ち梁からなる振動子101は、基板に対し水平方向に振動するたわみ振動モード振動子である。この振動子の振動部の長さ1/2の部分、すなわち、たわみ基本モードの腹の部分に空隙を介して入力電極6と出力電極7を配している。振動子101の直流電位Vcoarseと入力電極6の直流電位との差により、たわみ共振周波数の粗調整を行う。また、振動子101の最も変位する腹部分から離れて一方の固定端(節)に向かう途中で、補助微調整用電極5と対向しており、固定端(節)近傍で微調整用電極4に対向している。補助微調整用電極5の第1の可変電圧源25b(電位Vfine2)と可変電圧源24の電位Vcoarseとの直流電位差で周波数の補助的な微調整(中庸調整)を行う。微調整用電極4の第2の可変電圧源25a(直流電位Vfine1)と可変電圧源24の電位Vcoarseとの直流電位差で周波数の最終的な微調整を行う。
以上説明してきたように、複数電極の直流電位を独立に調整することにより周波数精度の高い発振器を提供することができる。
なお、本参考例では、微調整用の電極として微調整用電極4および補助微調整用電極5の2つを用いたが、いずれか一方のみであっても同様の効果を得ることができる。また、微調整用の電極として3つ以上の電極を設けることも可能である。
102 BOX層
103 エッチホール
1 ねじり梁
2a、2b アンカー
3 パドル
4 微調整用電極
5 補助微調整用電極
6 入力電極
7 出力電極
8 増幅器
9 位相調整器
10 バッファ
Claims (6)
- ねじり振動する振動子と、
前記振動子の振幅が互いに異なる部分に対し、それぞれ空隙を介して対向する複数の電極と、
前記複数の電極のそれぞれと前記振動子との間の各直流電位差を互いに独立して設定するための直流電圧源と、を有し、
前記振動子は、固定部と、少なくとも一端を前記固定部で支持され、ねじり振動するねじり梁と、前記ねじり梁に連結され、前記ねじり梁よりも大きな振幅で振動するパドルとを有し、
前記複数の電極は、前記ねじり梁に対向する電極と、前記パドルに対向する電極と、を含む共振器。 - ねじり振動する振動子と、
前記振動子の振動の腹に近い部分で、前記振動子と空隙を介して対向して、前記振動子の共振周波数の粗調整を行う1以上の電極と、
前記振動子の振動の節に近い部分で、前記振動子と空隙を介して対向して、前記振動子の共振周波数の微調整を行う1以上の電極と、
前記複数の電極のそれぞれと前記振動子との間の各直流電位差を互いに独立して設定する直流電圧源とを有し、
前記振動子は、固定部と、少なくとも一端を前記固定部で支持され、ねじり振動するねじり梁と、前記ねじり梁に連結され、前記ねじり梁よりも大きな振幅で振動するパドルとを有し、
前記複数の電極は、前記ねじり梁に対向する電極と、前記パドルに対向する電極と、を含む共振器。 - 前記複数の電極と前記直流電圧源との間、または、前記振動子と前記直流電圧源との間に、インピーダンス素子を有し、
前記振動子の共振周波数において、前記インピーダンス素子の電気的インピーダンスは、前記複数の電極と前記振動子との間のそれぞれの電気的インピーダンスよりも大きい、請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の共振器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の共振器と、
前記共振器の出力信号を増幅し、増幅された信号を入力信号として前記共振器に入力する増幅器と、を有する発振器。 - 前記共振器の周辺温度を測定する温度計測部と、
前記周辺温度のそれぞれの値に対する前記直流電圧源の設定値を記録したメモリと、
前記温度計測部が測定した前記周辺温度に基づいて、前記メモリより前記直流電圧源の設定値を読み出し、前記直流電圧源の設定を行う制御部と、
を有する、請求項4に記載の発振器。 - 周波数f0を参照周波数としたとき、PLL回路またはDLL回路またはデジタル周波数シンセサイザにより、f0の整数倍または整数分の1または少数倍の周波数fに同期制御された信号を出力する同期部をさらに有する、請求項4に記載の発振器。
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