JP5231907B2 - 静電振動子 - Google Patents
静電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5231907B2 JP5231907B2 JP2008229978A JP2008229978A JP5231907B2 JP 5231907 B2 JP5231907 B2 JP 5231907B2 JP 2008229978 A JP2008229978 A JP 2008229978A JP 2008229978 A JP2008229978 A JP 2008229978A JP 5231907 B2 JP5231907 B2 JP 5231907B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- vibration
- oxide film
- silicon oxide
- electrostatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
T.Mattila et al.,"14MHz Micromechanical Oscillator",TRANSDUCERS'01 EUROSENSORS XV,The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,Munich,Germany,2001
102、103、502、503、804 振動部
104、105、504、505、803 固定部
106、506 周波数調整ビーム
107、507、702、802 ボックス層
108、508 空隙
109、110、509、510 振動変位
111、112、113、114、511、512、805 励振電極
115 空隙部
201、202、601、602 熱弾性変形応力
203、603 イオンビーム
301、401 特性曲線
703 シリコン層
806 屈曲振動変位
Claims (4)
- 両端固定型の振動境界条件をもったMEMS型静電駆動屈曲振動子の振動部の両端部と他の構造体が一体形成された静電振動子において、
少なくとも前記他の構造体にはシリコン酸化膜が形成されると共に、前記他の構造体の熱弾性応力に起因する圧縮応力が前記振動部に印加される構造を有し、
前記他の構造体は、前記振動部と平行な位置にシリコン酸化膜が形成されたビームであって、前記ビームの両端部と前記振動部の両端部が一体形成され、前記振動部の一方の端部のみがシリコン基板上に連結されていることを特徴とする静電振動子。 - 前記シリコン酸化膜は熱焼成膜にて形成されている請求項1に記載の静電振動子。
- 前記シリコン酸化膜はCVD膜で形成されている請求項1に記載の静電振動子。
- 前記ビームに形成されている前記シリコン酸化膜をイオンミーリング等によって除去する事によって振動子の固有周波数を調整する請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の静電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008229978A JP5231907B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 静電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008229978A JP5231907B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 静電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010068035A JP2010068035A (ja) | 2010-03-25 |
JP5231907B2 true JP5231907B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=42193269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008229978A Active JP5231907B2 (ja) | 2008-09-08 | 2008-09-08 | 静電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5231907B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103346785B (zh) * | 2013-06-19 | 2015-08-05 | 东南大学 | 基于微机械直接热电式功率传感器的锁相环及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3230359B2 (ja) * | 1993-12-16 | 2001-11-19 | 株式会社村田製作所 | 共振型振動素子 |
JP2007005909A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械信号選択素子、その製造方法およびそれを用いた電気機器 |
JP4822212B2 (ja) * | 2006-09-04 | 2011-11-24 | セイコーインスツル株式会社 | 静電振動子 |
-
2008
- 2008-09-08 JP JP2008229978A patent/JP5231907B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010068035A (ja) | 2010-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4930381B2 (ja) | 圧電振動装置 | |
JP4214412B2 (ja) | 圧電振動片と圧電デバイスならびにジャイロセンサ | |
EP2603976B1 (en) | Micromechanical resonator and method for manufacturing thereof | |
JP2004200917A (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP2006203304A (ja) | 圧電薄膜共振器及びそれを用いた発振器並びにそれを内蔵した半導体集積回路 | |
JP2008211420A (ja) | 発振器 | |
JP2007258917A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2011155629A (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器、および周波数調整方法 | |
JP5266437B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法 | |
JP5105345B2 (ja) | 発振器 | |
JP4822212B2 (ja) | 静電振動子 | |
JP5231907B2 (ja) | 静電振動子 | |
JP2008301111A (ja) | エッジモード圧電振動片及びその周波数調整方法 | |
JP5561959B2 (ja) | 静電振動子及び電子機器 | |
EP2725714A2 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
US20070024158A1 (en) | Integrated resonators and time base incorporating said resonators | |
JP7029114B2 (ja) | 高q mems共振子 | |
WO2016098868A1 (ja) | 圧電振動子及び圧電振動装置 | |
JP2006311303A (ja) | モード結合型圧電振動子 | |
JP2002009579A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた圧電フィルタ | |
JP2004236008A (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP2005114696A (ja) | 角速度センサ | |
JP2009118331A (ja) | 電気機械フィルタ | |
JP4309814B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法 | |
JP5039959B2 (ja) | 発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130322 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |