JP5212472B2 - シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
前記工程を終えたウェーハを前記エピタキシャル装置から取り出したのち研磨を行う工程と、を備えるシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法において、前記ウェーハを取り出してから10時間を経過した後には、前記研磨を行わないことを特徴とする。
本実施形態による最良の製品は、{110}面を主面とし、{110}面のオフアングルが1度未満のシリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長させたのち、エピタキシャル層の表面を研磨することにより得られる。
ところで、エピタキシャルウェーハは、その結晶構造の完全性から高性能デバイスの素材として用いられている。近年のデバイス工程の微細化に伴い、従来に比べ表面平坦度や純度に対する要求が厳しくなっており、エピタキシャル成長後、表面を研磨する方法が知られている(たとえば特開2006−120939号公報参照)。
CZ法により、主軸方位が<110>で、直径305mmのp型シリコン単結晶インゴットを製造した。このインゴットを、直径300mmに外周研削後ノッチ加工し、電気比抵5〜10mΩcmのブロックを切り出した。このブロックを、ワイヤーソーを用い、オフアングル0度でスライスした。
上述したとおり、エピタキシャルウェーハは、その結晶構造の完全性から高性能デバイスの素材として用いられている。しかしながら、近年のデバイス工程の微細化に伴い、従来に比べ表面平坦度に対する要求が厳しくなっている。エピタキシャルウェーハの平坦度を改善する方法としては、エピタキシャル成長後、表面を研磨する方法が知られている(たとえば特開2006−120939号公報参照)。
Claims (4)
- エピタキシャル装置を用いて、{110}面を主面とし、{110}面のオフアングルが1度未満のシリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長させる工程と、
前記エピタキシャル層を成長させる工程を終えた基板を前記エピタキシャル装置から取り出してから10時間以内に前記基板の両面を同時に研磨する研磨工程と、を備え、
前記研磨工程において、前記エピタキシャル層表面のヘイズレベル(SP2,DWOモードで測定)が0.18ppm以下になるように、前記エピタキシャル層の表面を研磨することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。 - エピタキシャル装置を用いて、{110}面を主面とし、{110}面のオフアングルが1度未満のシリコン単結晶基板にエピタキシャル層を成長させる工程と、
前記エピタキシャル層を成長させる工程を終えた基板を前記エピタキシャル装置から取り出してから10時間以内に前記基板の両面を同時に研磨する研磨工程と、を備え、
前記研磨工程において、前記エピタキシャル層表面の表面粗さの平均自乗根RMS(原子間力顕微鏡AFMにより10μm角の領域で測定)が0.060nm以下になるように、前記エピタキシャル層の表面を研磨することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 請求項1又は2に記載のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記研磨工程における研磨代が0.01μm〜1μmであることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 請求項3に記載のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記研磨処理後における前記エピタキシャル層表面のヘイズレベルが0.18ppm以下であり、かつ表面粗さの平均自乗根RMSが0.060nm以下であることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
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