JP5212343B2 - 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ - Google Patents
炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5212343B2 JP5212343B2 JP2009278471A JP2009278471A JP5212343B2 JP 5212343 B2 JP5212343 B2 JP 5212343B2 JP 2009278471 A JP2009278471 A JP 2009278471A JP 2009278471 A JP2009278471 A JP 2009278471A JP 5212343 B2 JP5212343 B2 JP 5212343B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- silicon carbide
- carbide single
- sic single
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 248
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 186
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 185
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 93
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 67
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 28
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 21
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 20
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 12
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 11
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 6
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004430 X-ray Raman scattering Methods 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 3
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000035755 proliferation Effects 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
(1) パワーデバイス用の炭化珪素単結晶インゴットであって、結晶多形が4H型の炭化珪素単結晶中にドナー型の不純物を濃度2×1018cm-3以上6×1020cm-3以下、且つアクセプター型の不純物を濃度1×1018cm-3以上5.99×1020cm-3以下含有し、さらに前記ドナー型の不純物濃度がアクセプター型の不純物濃度より大きく、その差が6×10 18 cm -3 以上5.99×10 20 cm -3 以下であり、抵抗率が0.04Ωcm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットであり、また、
(2) 前記ドナー型の不純物が窒素である(1)に記載のSiC単結晶インゴットであり、また、
(3) 前記アクセプター型の不純物がホウ素である(1)又は(2)に記載のSiC単結晶インゴットであり、また、
(4) 前記アクセプター型の不純物がアルミニウムである(1)又は(2)に記載のSiC単結晶インゴットであり、また、
(5) 前記インゴットの口径が50mm以上300mm以下である(1)〜(4)の何れかに記載のSiC単結晶インゴットであり、また、
(6) (1)〜(5)の何れかに記載のSiC単結晶インゴットであって、該インゴットから(0001)Si面8°オフで切断し、研磨してなるSiC単結晶基板上で計測される基底面転位に起因したエッチピット密度が1×104cm-2以下であることを特徴とするSiC単結晶インゴットであり、また、
(7) (1)〜(5)の何れかに記載のSiC単結晶インゴットであって、該インゴットから(0001)Si面8°オフで切断し、研磨してなるSiC単結晶基板上で計測される基底面転位に起因したエッチピット密度が5×103cm-2以下であることを特徴とするSiC単結晶インゴットであり、また、
(8) (1)〜(5)の何れかに記載のSiC単結晶インゴットを切断し、研磨してなるSiC単結晶基板であり、また、
(9) (8)に記載のSiC単結晶基板に、SiC薄膜をエピタキシャル成長してなるSiCエピタキシャルウェハであり、また、
(10) (8)に記載のSiC単結晶基板に、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化インジウム(InN)又はこれらの混晶をエピタキシャル成長してなる薄膜エピタキシャルウェハ、
である。
度より大きく、その差が1×1018cm-3以上5.99×1020cm-3以下として結晶成長を行う。本発明者らは、数多くの結晶成長実験を行うことにより、このようにドナー型の不純物濃度とアクセプター型の不純物濃度を規定の濃度に制御して結晶成長を行った場合に、低抵抗率のSiC単結晶において、基底面転位密度を大幅に低減できることを見出した。
SiC単結晶成長において、基底面転位密度が高くなるのは、先に述べたように、転位がすべり運動を起こし、その結果として、フランク-リードタイプの転位の増殖が起こるためである。この転位のすべり運動は、SiC単結晶が結晶成長に受ける熱応力をその駆動力とするが、先に述べたように、この熱応力を小さくするのには限界がある。
図2は、本発明のSiC単結晶インゴットの製造装置であり、種結晶を用いた改良型レーリー法によって、SiC単結晶を成長させる装置の一例である。
まず、予め成長しておいたSiC単結晶インゴットから、口径50mm、厚さ1mmの{0001}面4°オフ基板を種結晶1として用意した。その後、この種結晶1を、黒鉛製坩堝3の蓋4の内面に取り付けた。黒鉛製坩堝3の内部には、原料2を充填した。原料2としては、市販の工業用SiC結晶粉末(質量ppmで、ホウ素を数ppm、アルミニウムを10〜20ppm程度含む)を酸洗浄後、乾燥させたものに、アクセプター型の不純物であるホウ素の固体原料であるB4C粉末を質量%で0.26%混合させたものを用いた。
アクセプター型不純物としてアルミニウムを添加した場合の実施例について記す。
まず、予め成長しておいたSiC単結晶インゴットから、口径50mm、厚さ1mmの{0001}面4°オフ基板を種結晶1として用意した。その後、この種結晶1を用いて、実施例1と同様の手順で結晶成長を50時間行った。ただし、今回は、アルミニウムの固体原料であるAl4C3粉末をカプセル状の黒鉛容器に収納した後、原料であるSiC結晶粉末中に仕込んだ。SiC結晶粉末中のAl4C3粉末の混合割合は、質量%で35.7%とした。得られた結晶の口径は51.5mmで、平均の結晶成長速度は約0.60mm/時で、高さは30mm程度であった。
ホウ素、窒素共に、実施例1と比較して多く添加した場合の実施例について述べる。
まず、予め成長しておいたSiC単結晶インゴットから、口径50mm、厚さ1mmの{0001}面4°オフ基板を種結晶1として用意した。その後、この種結晶1を用いて、実施例1と同様の手順で結晶成長を50時間行った。但し、今回は、B4C粉末の混合割合を質量%で2%とした。また、雰囲気ガスとして窒素を容積百分率で40%含むArガスを流入させ結晶成長を行った。得られた結晶の口径は51.5mmで、平均の結晶成長速度は約0.54mm/時で、高さは27mm程度であった。
比較例として、SiC結晶粉末にB4C粉末を意図的に全く添加しない原料粉末を用いた成長実験について記す。
まず、予め成長しておいたSiC単結晶インゴットから、口径50mm、厚さ1mmの{0001}面4°オフ基板を種結晶1として用意した。その後、この種結晶1を用いて、実施例と同様の手順で結晶成長を50時間行った。但し、今回は、B4C粉末を全く添加しないSiC結晶粉末を原料として用いた。得られた結晶の口径は51.5mmで、平均の結晶成長速度は約0.64mm/時で、高さは32mm程度であった。
比較例として、ドナー型の不純物とアクセプター型の不純物の濃度差が小さい場合の成長実験について記す。
まず、予め成長しておいたSiC単結晶インゴットから、口径50mm、厚さ1mmの{0001}面4°オフ基板を種結晶1として用意した。その後、この種結晶1を用いて、実施例1と同様の手順で結晶成長を50時間行った。但し、今回は、雰囲気ガスとして窒素を容積百分率で5%含むArガスを流入させ結晶成長を行った。得られた結晶の口径は51.5mmで、平均の結晶成長速度は約0.66mm/時で、高さは33mm程度であった。
晶基板を用いて、SiCのエピタキシャル成長を行った。SiCエピタキシャル薄膜の成長条件は、成長温度1550℃であり、SiH4、C2H4、N2、H2の流量が、それぞれ5.0×10-9m3/sec、3
.8×10-9m3/sec、3.3×10-9m3/sec、1.7×10-5m3/secであった。成長圧力は13kPaとした。成長時間は1.2時間で、膜厚としては約8μm成長した。
2 SiC粉末原料
3 黒鉛坩堝
4 黒鉛製蓋
5 二重石英管
6 支持棒
7 黒鉛製断熱材
8 ワークコイル
9 Arガス配管
10 Arガス用マスフローコントローラ
11 窒素ガス配管
12 窒素ガス用マスフローコントローラ
13 真空排気装置
Claims (10)
- パワーデバイス用の炭化珪素単結晶インゴットであって、結晶多形が4H型の炭化珪素単結晶中にドナー型の不純物を濃度2×1018cm-3以上6×1020cm-3以下、且つアクセプター型の不純物を濃度1×1018cm-3以上5.99×1020cm-3以下含有し、さらに前記ドナー型の不純物濃度がアクセプター型の不純物濃度より大きく、その差が6×10 18 cm -3 以上5.99×10 20 cm -3 以下であり、抵抗率が0.04Ωcm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴット。
- 前記ドナー型の不純物が窒素である請求項1に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- 前記アクセプター型の不純物がホウ素である請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- 前記アクセプター型の不純物がアルミニウムである請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- 前記インゴットの口径が50mm以上300mm以下である請求項1〜4の何れかに記載の炭化珪素単結晶インゴット。
- 請求項1〜5の何れかに記載の炭化珪素単結晶インゴットであって、該インゴットから(0001)Si面8°オフで切断し、研磨してなる炭化珪素単結晶基板上で計測される基底面転位に起因したエッチピット密度が1×104cm-2以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴット。
- 請求項1〜5の何れかに記載の炭化珪素単結晶インゴットであって、該インゴットから(0001)Si面8°オフで切断し、研磨してなる炭化珪素単結晶基板上で計測される基底面転位に起因したエッチピット密度が5×103cm-2以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶インゴット。
- 請求項1〜5の何れかに記載の炭化珪素単結晶インゴットを切断し、研磨してなる炭化珪素単結晶基板。
- 請求項8に記載の炭化珪素単結晶基板に、炭化珪素薄膜をエピタキシャル成長してなる炭化珪素エピタキシャルウェハ。
- 請求項8に記載の炭化珪素単結晶基板に、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウム又はこれらの混晶をエピタキシャル成長してなる薄膜エピタキシャルウェハ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009278471A JP5212343B2 (ja) | 2009-12-08 | 2009-12-08 | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009278471A JP5212343B2 (ja) | 2009-12-08 | 2009-12-08 | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008005950A Division JP4469396B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010053035A JP2010053035A (ja) | 2010-03-11 |
JP5212343B2 true JP5212343B2 (ja) | 2013-06-19 |
Family
ID=42069330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009278471A Active JP5212343B2 (ja) | 2009-12-08 | 2009-12-08 | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5212343B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5338559B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2013-11-13 | 信越半導体株式会社 | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP6239250B2 (ja) | 2013-03-22 | 2017-11-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP6189131B2 (ja) | 2013-08-01 | 2017-08-30 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP6230323B2 (ja) | 2013-08-01 | 2017-11-15 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP6242633B2 (ja) | 2013-09-03 | 2017-12-06 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
CN114520143B (zh) * | 2022-04-20 | 2023-07-28 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 抑制双极型退化的碳化硅薄膜外延方法、碳化硅外延片 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3128179B2 (ja) * | 1992-11-24 | 2001-01-29 | シャープ株式会社 | n型炭化珪素単結晶の製造方法 |
JPH09157092A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-06-17 | Nippon Steel Corp | 単結晶炭化珪素の製造方法 |
US5718760A (en) * | 1996-02-05 | 1998-02-17 | Cree Research, Inc. | Growth of colorless silicon carbide crystals |
JP3662694B2 (ja) * | 1996-12-19 | 2005-06-22 | 新日本製鐵株式会社 | 単結晶炭化珪素インゴットの製造方法 |
JP4153455B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2008-09-24 | 学校法人 名城大学 | 蛍光体および発光ダイオード |
JP4470690B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2010-06-02 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素単結晶、炭化珪素基板および炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007320790A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Nippon Steel Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法、炭化珪素単結晶インゴット及び炭化珪素単結晶基板 |
JP4469396B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2010-05-26 | 新日本製鐵株式会社 | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ |
-
2009
- 2009-12-08 JP JP2009278471A patent/JP5212343B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010053035A (ja) | 2010-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4469396B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ | |
JP4964672B2 (ja) | 低抵抗率炭化珪素単結晶基板 | |
US7314520B2 (en) | Low 1c screw dislocation 3 inch silicon carbide wafer | |
EP1888821B1 (en) | Low basal plane dislocation bulk grown sic wafers | |
EP1807558B1 (en) | Method for producing 100 mm silicon carbide wafer with low micropipe density | |
JP4185215B2 (ja) | SiCウエハ、SiC半導体デバイス、および、SiCウエハの製造方法 | |
JP4818754B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
JP4603386B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4585359B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP5212343B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、これから得られる基板及びエピタキシャルウェハ | |
JP2006111478A (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、炭化珪素単結晶ウェハ及びその製造方法 | |
WO2014035675A1 (en) | Large high-quality epitaxial wafers | |
JP2008110907A (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法及び炭化珪素単結晶インゴット | |
JP4690906B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4408247B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶と、それを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4850807B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用坩堝、及びこれを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4157326B2 (ja) | 4h型炭化珪素単結晶インゴット及びウエハ | |
JP5370025B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット | |
JP4585137B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
JP4160769B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット及びウエハ | |
WO2024004314A1 (ja) | 複合基板および13族元素窒化物エピタキシャル成長用基板 | |
JP2011016721A (ja) | モザイク性の小さな炭化珪素単結晶ウエハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130211 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5212343 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160308 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |