JP5207456B2 - 欠陥検出装置及び方法 - Google Patents
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Description
42 欠陥検出装置
48 受光器
56 画像処理部
57 判定部
60 フレーム画像
62 (メッシュ部)の直線
62a 中心直線
63 メッシュ部
64 背景部
65 欠陥部
67 交点
70,76,80 指定画素
72,78,82 比較画素
Xp,Yp 比較ピッチ
Claims (9)
- 複数の直線が規則的に配置される規則的パターンを有する検査対象を搬送させる搬送手段と、
前記検査対象を撮像して撮像画像を得る撮像手段と、
前記撮像画像から前記複数の直線を検出する直線検出部と、前記直線検出部により検出された前記複数の直線から所定の直線を特定直線として特定し、前記特定直線に交差する直線の交点を求める交点算出部と、前記交点算出部により求めた交点に基づいて、隣接する交点間の距離を示す隣接交点間距離を求める隣接交点間距離算出部と、前記隣接交点間距離に基づいて、前記撮像画像において指定される指定画素と前記指定画素に対して比較対象となる比較画素との間のピッチを示す比較ピッチを算出する比較ピッチ算出部とを有する比較ピッチ算出手段と、
前記指定画素の濃度値と前記比較画素の濃度値とに基づき、前記指定画素に対して差分処理を行う差分処理手段と、
前記撮像画像の画素の全てに対して前記差分処理を行うことにより、前記検査対象の搬送速度の変動に応じて変形する前記規則的パターンの画像を、前記撮像画像から除去する規則的パターン除去手段と、
前記規則的パターン除去手段により前記規則的パターンの画像が除去された撮像画像に基づいて、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記撮像画像の取得ごとに前記比較ピッチを変更することを特徴とする請求項1記載の欠陥検出装置。
- 前記交点算出部は、前記撮像画像の中心に最も近い直線を特定直線として特定することを特徴とする請求項1または2記載の欠陥検出装置。
- 前記比較ピッチ算出部は、予め設定した比較ステップ値(整数値)に対して前記隣接交点間距離の平均値を乗ずることにより、前記比較ピッチを算出することを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の欠陥検出装置。
- 前記比較ピッチ算出部は、前記隣接交点間距離のうち予め設定した基準距離の範囲から外れるものを除外して、前記比較ピッチを算出することを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の欠陥検出装置。
- 前記差分処理手段は、
前記指定画素の濃度値から前記比較画素の濃度値を差し引いて差分値を算出する差分値算出部と、
前記差分値に基づいて、前記指定画素の濃度値を更新する濃度値更新部とを有することを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載の欠陥検出装置。 - 前記規則的パターンはメッシュパターンであり、前記メッシュパターンは直線の一部がその他の直線に対して一定の間隔で交差することを特徴とする請求項1ないし6いずれか1項記載の欠陥検出装置。
- 前記検査対象はメッシュパターンが形成された電磁波シールドフイルムであり、前記欠陥は前記電磁波シールドフイルム上の露光ムラ、めっきムラ、メッシュ欠陥の少なくともいずれかひとつであることを特徴とする請求項1ないし7いずれか1項記載の欠陥検出装置。
- 複数の直線が規則的に配置される規則的パターンを有する検査対象を搬送させ、
前記検査対象を撮像手段により撮像して、
前記撮像手段により得られる撮像画像から前記複数の直線を検出し、検出された前記複数の直線から所定の直線を特定直線として特定し、前記特定直線に交差する直線の交点を求め、前記交点に基づいて隣接する交点間の距離を示す隣接交点間距離を求め、前記隣接交点間距離に基づいて、前記撮像画像において指定される指定画素と前記指定画素に対して比較対象となる比較画素との間のピッチを示す比較ピッチを算出し、
前記指定画素の濃度値と前記比較画素の濃度値とに基づき、前記指定画素に対して差分処理を行い、
前記撮像画像の画素の全てに対して前記差分処理を行うことにより、前記検査対象の搬送速度の変動に応じて変形する前記規則的パターンの画像を、前記撮像画像から除去し、
前記規則的パターンの画像が除去された撮像画像に基づいて、前記検査対象の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。
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