JP6556585B2 - 金属箔の検査方法 - Google Patents
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Description
1.定義
本明細書および特許請求の範囲の記載において、「銅箔」または「金属箔」とは、連続電解法により析出させることで形成された銅箔本体層または金属箔本体層のほか、その後の表面処理によって必要に応じて表面に付加される層を含み得る。当該層には、例えば、電解めっき法を用いて微細な銅粉等を銅箔本体層上に付着させることによって形成された粗化粒子層、同じくクロム酸化物等の被膜処理を粗化粒子層に施すことによって形成された防錆層、さらに防錆層上にシランカップリング剤等を塗布することによって形成されたシラン層などの表面処理層が含まれ得る。従って、銅箔または金属箔の製造工程には、箔の本体層の形成工程のほか、上記の表面処理工程、すなわち粗化処理工程、防錆処理工程およびシランカップリング剤の塗布工程などが含まれ、箔の本体層はこれらの工程を経る過程で、各工程で使用される表面処理液に順次さらされることになる。本明細書および特許請求において「銅箔(または金属箔)の製造に使用される流体」という場合には、箔の本体層の製造に使用される電解液のほか、各種表面処理液を含むものである。
本発明者らは、連続電解法を適用して製造される銅箔の表面に突出した析出部分や付着した銅粉などの欠陥を直接検出するのではなく、その欠陥に伴って生じる現象を観測することで、欠陥を間接的に検出できるのではないかと考察した。具体的には次のとおりである。
図1は、本発明の検査方法を適用した検査装置を含む銅箔製造システムの構成例を示す。製造装置1は、銅箔本体層9aの形成装置1aと、銅箔本体層9aに対して表面処理を施す表面処理装置1bと、を含む。銅箔本体層形成装置1aは、電解液(めっき浴)3aである硫酸銅溶液を貯留した電解槽5aと、電解液3aに部分的に浸漬されて回転するドラム7aとを備える。電解槽5aおよびドラム7aは、それぞれ、陽極および陰極となり、銅箔本体層9aはドラム7aの表面に析出した銅を巻き出すことで形成される。なお、銅箔本体層9aは、担持体となるキャリア箔上に剥離層を介して形成されるものでもよく、その場合には、銅箔本体層形成装置1aの前段に、キャリア箔上に剥離層を形成したものを供給する構成を付加すればよい。
1a 銅箔本体層の形成装置
1b 表面処理装置
3a 電解液
3b 表面処理用液体
5a 電解槽
5b 貯留層
7a,7b ドラム
9 銅箔
9a 銅箔本体層
11 検査装置
13 照明
15 ラインセンサカメラ
17 検査部
17A 画像処理部
17B 判定部
17C 情報出力部
Claims (7)
- 連続電解法を適用して製造された金属箔の欠陥を検出するための金属箔の検査方法であって、
前記金属箔の表面に光を照射した反射光を撮影し、
当該撮影された画像に基づいて、前記金属箔の製造に使用される流体の相対的な流れの乱れに起因した痕跡の存否を判断し、
当該痕跡が存在すると判断されたとき、前記金属箔の製造過程において欠陥が生じたと判定し、
当該判定が行われたときに、前記痕跡の形状および寸法から、前記欠陥の寸法を推定する、
ことを特徴とする検査方法。 - 前記金属箔が銅箔であることを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 前記反射光の撮影が正反射光を捕える位置で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の検査方法。
- 前記推定された寸法から、前記金属箔の品質に影響を及ぼす欠陥を抽出することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の検査方法。
- 前記痕跡を伴わない欠陥が検出されたとき、当該欠陥が前記製造過程に生じたものではないと判断することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の検査方法。
- 前記痕跡を際立たせるために、前記撮影画像を画像処理することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の検査方法。
- 前記撮影画像に現れる前記痕跡の特徴量またはパターンに基づいて前記痕跡の存否を判定することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の検査方法。
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