JPH0643117A - 欠点検出方法及びその装置 - Google Patents

欠点検出方法及びその装置

Info

Publication number
JPH0643117A
JPH0643117A JP5067862A JP6786293A JPH0643117A JP H0643117 A JPH0643117 A JP H0643117A JP 5067862 A JP5067862 A JP 5067862A JP 6786293 A JP6786293 A JP 6786293A JP H0643117 A JPH0643117 A JP H0643117A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spectrum
defect
filter
zero
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5067862A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Maezono
伸二 前薗
Hisami Nishi
壽巳 西
Yuji Ueno
裕司 上野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP5067862A priority Critical patent/JPH0643117A/ja
Publication of JPH0643117A publication Critical patent/JPH0643117A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 網入りガラスのように、製品自体に製品の一
部として光透過率の異なる部分(金属線)が含まれてい
る場合、この異質部分(非欠点)と欠点とを分離して、
欠点のみを精度良く検出する方法を提供する。 【構成】 入力された空間座標での値を周波数領域での
スペクトルに変換することによって現われるスペクトル
成分に対して行うフィルタリング処理において、非欠点
である周期構造の周期の整数倍の位置及び、その近傍の
スペクトル成分を零にするフィルタリング処理を行い、
その結果作られるスペクトルを空間座標での値に変換す
るようにしている。装置としては、高速フーリエ変換
(FFT)装置と、ある決まった位置に現われるスペク
トル成分に対してフィルタリング処理を行うフィルター
と、高速フーリエ逆変換(IFFT)装置とを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、網入りガラスなどのよ
うに、一般に透明基材中に不透明あるいは光透過率が大
きく異なる部分を含む物品の欠点検出に適した欠点検出
技術に関する。
【0002】
【従来の技術】板ガラスの欠点検出方法としては、一方
の表面から入射した光線の透過光を他方の表面に設置さ
れた受光部で受け、その信号の強弱で欠点を検出する方
法が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする問題点】上記従来の技術で
は、網入りガラスにおける封入金属線網のように、製品
自体に製品の一部として光透過率の異なる部分が含まれ
ている場合、この異質部分(非欠点)と欠点とを分離す
ることは困難であった。本発明は、上述の問題点にかん
がみ、欠点と、ある程度規則性をもった製品異質部分と
を分離して、欠点のみを精度良く検出する方法を提供す
ることを目的とする。
【0004】
【問題点を解決するための手段】本発明方法では図1に
示すように、入力された空間座標での値を周波数領域で
のスペクトルに変換することによって現われるスペクト
ル成分に対して行うフィルタリング処理において、非欠
点である周期構造の周期の整数倍の位置及び、その近傍
のスペクトル成分を零にするフィルタリング処理を行
い、その結果作られるスペクトルを空間座標での値に変
換するようにしている。
【0005】本発明方法を実現する欠点検出装置は、検
査対象物に対して光を入射させる光源と、検査対象物を
透過した光を受光検出する受光部と、高速フーリエ変換
(以下FFTと略記する)装置と、ある決まった位置に
現われるスペクトル成分に対して、フィルタリング処理
を行うフィルターと、高速フーリエ逆変換(以下IFF
Tと略記する)装置とで構成することができる。上記受
光部としては、二次元のTVカメラ、一次元のラインセ
ンサ等が使用可能である。
【0006】
【作用】網入りガラスにおける網のように周期的構造を
持ったものにFFTを行えば、そのスペクトル成分は離
散的なある決まった位置に現われる。これに対して、欠
点のように非周期的なもののスペクトル成分は、原点を
中心とする連続的な位置に現われる。
【0007】欠点を含んだ網目パターンのスペクトル
は、欠点のみのスペクトルと網目パターンのみのスペク
トルを、実数部と虚数部でそれぞれ足し合わせたスペク
トルと等しいので、このスペクトルから網のスペクトル
を取り除けば、欠点のみのスペクトルが得られ、これに
IFFTを行うと欠点のみが検出できる。
【0008】ところで、網の位置がずれても周期が一致
していれば、スペクトルの絶対値は等しくなるが、それ
ぞれスペクトルの実数部と虚数部同志では異なってしま
う。また、実際の網は正確な周期構造ではない。このた
め、欠点の無い網目パターンのみのスペクトルをフィル
ターとして用いても、欠点と網の完全な分離は困難であ
る。
【0009】そこで本発明では、網目パターンのスペク
トルの現われる位置のみに着目して、その位置及びその
近傍でのスペクトル成分を零または近傍の値で補うフィ
ルタリング処理を行っている。
【0010】
【実施例】以下本発明を図面に示した実施例に基づき詳
細に説明する。本発明は1次元、2次元の両方に適用す
ることができる。
【0011】以下に示す1次元と2次元のフィルターの
例は、スペクトルの0次成分を、除去してもしなくても
良い。網の周期の数は、任意の行数分の網の周期の間隔
を測定して、統計的に求める。
【0012】(1)網の周期の数と許容値を用いてフィ
ルターを作成する場合 (1−a)1次元FFTを用いた場合 図2において10は、透明ガラス板11中に金属線網1
2を封入して連続帯状に形成される網入り板ガラスであ
り、図中のy方向に移送される。1次元の走査方向は、
ガラスの流れ方向と垂直方向x、または垂直方向から任
意の角度だけずれた方向x’である。
【0013】FFTのサンプル数は、2のベキ数に選ば
れる。例えば、512、1024である。この幅の中に
8個の網目があれば、スペクトルは8個ごとの離散的位
置に現われる。この位置でのスペクトル成分を零にすれ
ば、網12は消えてしまう。周期のズレを考慮して、前
述の離散的位置の近傍の値も零にする。
【0014】図3と図4に1次元でのフィルターの例を
示す。このうち図3は、FFTのサンプル数Nと網の周
期の数nの整数倍mnが一致しているとき、mnの位置
での値を零にするフィルターである。ここで、m=0,
1,2,3,・・・である。
【0015】また図4は、Nとmnが一致していなかっ
たり、網12の間隔が変動した場合にmn±△nの位置
での値を零にするフィルターである。ここで、△nは欠
点が含まれない部分でのスペクトルの分布から統計的に
学習によって決められる許容値である。さらに、零にし
たスペクトル成分をその近傍のスペクトル成分を加工し
て補う方法もある。例えば、直線補間や曲線補間等であ
る。
【0016】(1−b)2次元FFTを用いた場合 2次元の場合の走査方向は、図2のxまたはx’を横方
向、網入りガラス10の流れ方向yを縦方向にとる。
【0017】図5に示す45゜の傾きを持った網目パタ
ーンのように、任意の傾きを持った周期構造に2次元F
FTを行えば、そのスペクトルのほとんどがその傾きと
直角方向に現われる。また、非周期的な欠点のスペクト
ルは原点付近に現われる。前述の方向に現われるスペク
トルを零にすることによって網目パターンを除去する。
実際には網が曲がっていたり、回転していたりするの
で、原点を中心にある許容の角度を設定して零にする範
囲を扇状に設定する。
【0018】図6ないし図9は2次元でのフィルター例
である。図6は、図5の示した45゜の傾きを持った網
目パターンに2次元でFFTを行った場合に、そのスペ
クトルのほとんどは傾きと垂直方向に現われるので、そ
の位置での値を零にするフィルターであり、正確な網の
みを除去することができる。 図7は、網周期や間隔の
ズレ、さらに、網が基本の角度θから±△θの範囲で斜
めになっている場合を考慮したフィルターであり、許容
値以上の網欠陥と欠点を検出できる。
【0019】図8のフィルターは、網の周期に関係な
く、θ±△θの傾きのみの網を除去することができる。
図7のフィルターは網間隔と傾きの2つの要因を持って
おり、その2つの網欠陥を検出できるが、それぞれに許
容値を決めなければならない。図8のフィルターは網間
隔が正常な場合であり、角度の許容値のみ決めればよ
い。
【0020】しかし、原点付近の低周波領域に存在する
非周期的な欠点のスペクトルの一部も零になり、完全な
欠点の復元ができない可能性があるので、両方の特徴を
持った改良フィルターの例を図9に示す。
【0021】図9のものは、欠点のスペクトルの含まれ
る低周波部分では図7のフィルターと同様であり、任意
の周波数以上の欠点のスペクトルの含まれない高周波部
分では図8と同様なフィルターである。このフィルター
構造により、元の欠点により近い復元が可能となった。
【0022】(2)実際のスペクトル分布からフィルタ
ーを作成する場合 前項(1)で述べたフィルターの例では、mn±△n及
びθ±△θは実際のスペクトル分布に関係なく決まるの
で、スペクトル成分を零にしすぎたり、残しすぎたりす
る可能性がある。以下に実際のスペクトル分布を基に作
成するフィルターの例について述べる。
【0023】(2−a)1次元FFTを用いた場合 図10に、スペクトルの振幅を図2のy軸方向のおよそ
半周期分又は一周期分累積した分布とフィルター設定の
ためのしきい値レベルを示す。縦軸は振幅、横軸は周波
数である。横軸は0からN/2サイクルまでの表示で示
している。13は振幅のスペクトル、14はしきい値レ
ベルである。
【0024】しきい値レベルは振幅分布の包絡線15の
例えば25%程度の値である。このしきい値レベル以上
の成分を零にするフィルターを作成する。また、およそ
N/4サイクル以上のスペクトル成分は零にしてもよ
い。この時のフィルターの例を図11に示す。図11の
フィルターは、実際のスペクトル分布をもとにして作成
されるので、図3や図4のフィルターよりも、有効なフ
ィルターである。
【0025】(2−b)2次元FFTを用いた場合 2次元FFTによって得られた2次元のスペクトルの振
幅の分布に対して、上記2−a項の図10のしきい値レ
ベルの設定の考え方を2次元に拡張した、例えば図12
の様な底面が四角形の立体の各側面とそれに続くuv平
面をしきい値レベルとして設定する。このしきい値レベ
ル以上の成分を零にする図13の様なフィルターを作成
する。また、立体の底面は、円形や多角形の場合も考え
られる。
【0026】以上、本発明を網入りガラスを例に取り説
明したが、本発明は、金属線が平行にあるいはクロス状
に封入されている金属線入りガラスにも適用できること
は勿論、一般に光透過率が周囲と大きく異なる規則的な
部分を有する透明物品の欠点検出に広く適用することが
できる。
【0027】
【発明の効果】本発明によって、網入り板ガラス、型板
ガラス等の欠点と網を分離して、欠点のみを検出するこ
とが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理を示す概略図
【図2】本発明を適用する検査対象物としての網入りガ
ラスと走査方向を示す平面図
【図3】本発明を1次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの例を示す図
【図4】本発明を1次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの他の例を示す図
【図5】45゜の傾きを持った網入り板ガラスの例を示
す平面図
【図6】本発明を2次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの第1実施例を示す図
【図7】本発明を2次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの第2実施例を示す図
【図8】本発明を2次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの第3実施例を示す図
【図9】本発明を2次元走査に適用する場合に使用する
フィルターの第4実施例を示す図
【図10】本発明を1次元走査に適用する場合に使用す
るフィルターを作成するための振幅のスペクトルとしき
い値レベルを示す図
【図11】本発明を1次元走査に適用する場合に使用す
るフィルターの他の例を示す図
【図12】本発明を2次元走査に適用する場合に使用す
るフィルターを作成するためのしきい値レベルを示す図
【図13】本発明を2次元走査に適用する場合に使用す
るフィルターの第5実施例を示す図
【符号の説明】
0 阻止部 1 通過部 10 網入りガラス(検査対象物) 11 ガラス 12 金属網 FFT 高速フーリエ変換 IFFT 高速フーリエ逆変換 u x又はx’軸に対応する周波数座標軸 v y軸に対応する周波数座標軸
【手続補正書】
【提出日】平成5年4月6日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力された空間座標での値を周波数領域
    でのスペクトルに変換することによって現われるスペク
    トル成分に対して行うフィルタリング処理において、非
    欠点である周期構造の周期の整数倍の位置及び、その近
    傍のスペクトル成分を零にするフィルタリング処理を行
    い、その結果作られるスペクトルを空間座標での値に変
    換することにより、欠点のみを検出することを特徴とす
    る欠点検出方法。
  2. 【請求項2】 前記非欠点成分として零にした位置のス
    ペクトルをその近傍の値で補間するフィルタリング処理
    を行う請求項1に記載の欠点検出方法。
  3. 【請求項3】 前記非欠点成分として零または補間する
    位置の範囲を、欠点を含まないスペクトルにより学習し
    て自動的に決めるフィルタリング処理を行う請求項1又
    は2に記載の欠点検出方法。
  4. 【請求項4】 検査対象物に対して光を入射させる光源
    と、検査対象物を透過した光を受光検出する受光部と、
    高速フーリエ変換装置と、ある決まった位置に現われる
    スペクトル成分に対してフィルタリング処理を行うフィ
    ルターと、高速フーリエ逆変換装置とを備えてなる欠点
    検出装置。
JP5067862A 1992-04-07 1993-03-26 欠点検出方法及びその装置 Pending JPH0643117A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5067862A JPH0643117A (ja) 1992-04-07 1993-03-26 欠点検出方法及びその装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4-84302 1992-04-07
JP8430292 1992-04-07
JP5067862A JPH0643117A (ja) 1992-04-07 1993-03-26 欠点検出方法及びその装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0643117A true JPH0643117A (ja) 1994-02-18

Family

ID=26409068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5067862A Pending JPH0643117A (ja) 1992-04-07 1993-03-26 欠点検出方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0643117A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010002307A (ja) * 2008-06-20 2010-01-07 Fujifilm Corp 欠陥検出装置及び方法
JP2013217712A (ja) * 2012-04-05 2013-10-24 Yokohama Rubber Co Ltd:The タイヤx線検査判定方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010002307A (ja) * 2008-06-20 2010-01-07 Fujifilm Corp 欠陥検出装置及び方法
JP2013217712A (ja) * 2012-04-05 2013-10-24 Yokohama Rubber Co Ltd:The タイヤx線検査判定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0159925B1 (ko) 플랫 글래스 혹은 플랫 글래스 제품의 광 특성 결정방법 및 장치
KR100457803B1 (ko) 표면검사시스템
JPH0674907A (ja) 透明板状体の欠点検出方法
Pan et al. Destriping of Landsat MSS images by filtering techniques
JPH08220021A (ja) 透明板状体の欠点検出方法
JP3185559B2 (ja) 表面欠陥検査装置
US9020293B2 (en) Integration of filters and phase unwrapping algorithms for removing noise in image reconstruction
CN105701780B (zh) 一种遥感影像处理方法及系统
CN112782179A (zh) 一种产品反光表面缺陷检测方法及系统
JPH0643117A (ja) 欠点検出方法及びその装置
Perlin et al. Experiments on ripple instabilities. Part 3. Resonant quartets of the Benjamin–Feir type
Lee et al. Adaptive surface fitting for inspection of FPD devices using multilevel B-spline approximation
Schoenleber et al. Fast and flexible shape control with adaptive LCD fringe masks
KR20080010674A (ko) 다항식모델 기반 엑스레이 영상의 밝기 및 형상왜곡보정방법
JP2006208340A (ja) 欠陥検査装置
Yoshimura A detailed observation of the nonprojectiveness of X-ray moiré-fringed diffraction images
JP2004020482A (ja) 均一性の評価方法
JP2018021873A (ja) 表面検査装置、及び表面検査方法
JPH0511574B2 (ja)
KR100955736B1 (ko) 표면 검사용 방법 및 이를 수행하는 장치
Toner et al. Restoration of long-exposure full-disk solar intensity images
Liu et al. The online measurement of appearance quality for stainless steel plates based on grating projections
Liu et al. Non-contact online inspection method for the appearance diameter uniformity of chemical fiber filaments
JP2000329708A (ja) モノリス担体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2008089470A (ja) 欠陥検査装置