JP5204880B2 - 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システム - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 42
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 38
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 44
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 10
- 229910020816 Sn Pb Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910020922 Sn-Pb Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910008783 Sn—Pb Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 23
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 22
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 13
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 4
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/42—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis
- A61B6/4291—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis the detector being combined with a grid or grating
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/48—Diagnostic techniques
- A61B6/484—Diagnostic techniques involving phase contrast X-ray imaging
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/041—Phase-contrast imaging, e.g. using grating interferometers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/42—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis
- A61B6/4208—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis characterised by using a particular type of detector
- A61B6/4258—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis characterised by using a particular type of detector for detecting non x-ray radiation, e.g. gamma radiation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
- G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
- G01N2223/1016—X-ray
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/313—Accessories, mechanical or electrical features filters, rotating filter disc
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49718—Repairing
- Y10T29/49732—Repairing by attaching repair preform, e.g., remaking, restoring, or patching
- Y10T29/49734—Repairing by attaching repair preform, e.g., remaking, restoring, or patching and removing damaged material
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Surgery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
13 第1のグリッド
13a X線吸収部
13b X線透過部
14 第2のグリッド
14a X線吸収部
14b X線透過部
21 支持基板
30 切断部
31 微小グリッド
31a X線吸収部
31b X線透過部
32 X線吸収材
50 欠陥部
51 切断領域
52 隙間
Claims (9)
- 第1の方向に延伸した放射線吸収部及び放射線透過部が前記第1の方向と直交する第2の方向に交互に配設されてなる放射線画像撮影用グリッドにおいて、
前記第1及び第2の方向に沿って切断された矩形状の切断部と、
前記切断部に嵌め込まれた微小グリッドとを有し、
前記切断部の周囲と前記微小グリッドとの間に隙間が生じており、該隙間に放射線吸収材が充填されていることを特徴とする放射線画像撮影用グリッド。 - 前記放射線吸収材は、Sn−Pb、Sn−Pb−Bi、Sn−Pn−Bi−Cdのうちのいずれか1つの低融点金属、またはAgペーストであることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線吸収材は、Au、Ag、Ptのうちのいずれか1つまたは複数のX線吸収性ナノ粒子を分散させたインクまたは接着剤であることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 前記放射線吸収部及び放射線透過部と前記微小グリッドとを支持する支持基板を備えることを特徴とする請求項1から3いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッド。
- 第1の方向に延伸した放射線吸収部及び放射線透過部が前記第1の方向と直交する第2の方向に交互に配設されてなる放射線画像撮影用グリッドから欠陥部を検出する第1工程と、
前記欠陥部を内包するように前記第1及び第2の方向に沿った矩形状の切断領域を設定する第2工程と、
前記切断領域を切断して切断部を形成する第3工程と、
前記切断部より小さい微小グリッドを用意し、該微小グリッドを切断部の隣接する2辺に当接させて位置決めを行なう第4工程と、
前記微小グリッドを固定する第5工程と、
を有することを特徴とする放射線画像撮影用グリッドの製造方法。 - 前記第5工程は、前記切断部の周囲と前記微小グリッドとの間に生じた隙間に、放射線吸収材を充填することによりなされることを特徴とする請求項5に記載の放射線画像撮影用グリッドの製造方法。
- 前記放射線吸収材は、Sn−Pb、Sn−Pb−Bi、Sn−Pn−Bi−Cdのうちのいずれか1つの低融点金属、またはAgペーストであることを特徴とする請求項6に記載の放射線画像撮影用グリッドの製造方法。
- 前記放射線吸収材は、Au、Ag、Ptのうちのいずれか1つまたは複数のX線吸収性ナノ粒子を分散させたインクまたは接着剤であることを特徴とする請求項6に記載の放射線画像撮影用グリッドの製造方法。
- 放射線源から放射された放射線を通過させて第1の周期パターン像を生成する第1のグリッドと、前記第1の周期パターン像を部分的に遮蔽して第2の周期パターン像を生成する第2のグリッドとを有する放射線画像撮影システムであって、
前記第1及び第2のグリッドの少なくとも一方に、請求項1から4いずれか1項に記載の放射線画像撮影用グリッドを用いたことを特徴とする放射線画像撮影システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011191911A JP5204880B2 (ja) | 2010-12-22 | 2011-09-02 | 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システム |
CN2011103806637A CN102590912A (zh) | 2010-12-22 | 2011-11-25 | 用于射线摄影的栅格及其修补方法,以及射线成像系统 |
US13/306,734 US20120163535A1 (en) | 2010-12-22 | 2011-11-29 | Grid for radiography and repairing method thereof, and radiation imaging system |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010285385 | 2010-12-22 | ||
JP2010285385 | 2010-12-22 | ||
JP2011191911A JP5204880B2 (ja) | 2010-12-22 | 2011-09-02 | 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012143536A JP2012143536A (ja) | 2012-08-02 |
JP5204880B2 true JP5204880B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=46316807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011191911A Expired - Fee Related JP5204880B2 (ja) | 2010-12-22 | 2011-09-02 | 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに、放射線画像撮影システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120163535A1 (ja) |
JP (1) | JP5204880B2 (ja) |
CN (1) | CN102590912A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10475732B2 (en) * | 2013-07-12 | 2019-11-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | 3DIC package integration for high-frequency RF system |
JP6667215B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2020-03-18 | キヤノン株式会社 | X線遮蔽格子、構造体、トールボット干渉計、x線遮蔽格子の製造方法 |
DE102014221599A1 (de) | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zur Röntgen-Phasenkontrast-Bildgebung |
CN104693896A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-06-10 | 中钞油墨有限公司 | 可用于司法鉴定的防伪油墨组合物 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06250605A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Iwasaki Electric Co Ltd | Led表示装置及びled表示機 |
JP3053063U (ja) * | 1998-04-09 | 1998-10-13 | 株式会社 東京チューブ | カラー動画面表示装置 |
WO2004058070A1 (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-15 | Atsushi Momose | X線撮像装置および撮像方法 |
-
2011
- 2011-09-02 JP JP2011191911A patent/JP5204880B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-25 CN CN2011103806637A patent/CN102590912A/zh active Pending
- 2011-11-29 US US13/306,734 patent/US20120163535A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012143536A (ja) | 2012-08-02 |
US20120163535A1 (en) | 2012-06-28 |
CN102590912A (zh) | 2012-07-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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