JP5203822B2 - 半導体電力変換モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、複数の半導体スイッチ素子を備えた半導体電力変換モジュールに関するものである。
特開2003―324176号公報(特許文献1)には、放熱板の上に置かれた一枚の基板上に平面的に配線が形成され、その配線の上に設けられた電極に複数の半導体スイッチ素子が電気的且つ機械的に接合され、さらに半導体スイッチ素子相互または電極との間の必要な電気的な接続を、ワイヤボンディング(接続線)を用いて行い、最終的に基板をモールドした半導体電力変換モジュールが開示されている。
特開2005−142228号公報(特許文献2)には、端子を埋設した絶縁性モジュールの開口部内に複数の半導体スイッチ素子を備えたインバータモジュールを配置し、また絶縁性モジュールの底部下面に放熱板を配置して半導体スイッチ素子からの発熱を放熱する構造の半導体電力変換モジュールの一例が示されている。
なお特開2006−216677号公報(特許文献3)には、第1バスバーに流れる電流の向きと第2バスバーに流れる電流の向きとが逆方向になるように構成された配線構造を用いてループ全体のインダクタンスを低減させる3次元モジュール構造の電子装置が開示されている。
特開平11−299266号公報(特許文献4)には、第1の配線板を流れる電流と第2の配線板を流れる電流とを逆方向にして、インダクタンスの発生を少なくしたブリッジ回路の構造が開示されている。
特開2005−101365号公報(特許文献5)には、熱伝導性を有する放熱性樹脂を用いる電子装置が開示されている。
特開2003―324176号公報 特開2005−142228号公報 特開2006−216677号公報 特開平11−299266号公報 特開2005−101365号公報
特許文献1に示された技術では、基板上に形成された配線を利用して各半導体スイッチ素子の電気的な接続を行うため、配線パターンが複雑になる上、ワイヤボンディング(接続線)の箇所が多くなる問題がある。
また特許文献2に示された技術では、その構造から半導体電力変換モジュールをコンパクトに
構成することができず、またワイヤボンディングの箇所が多くなる問題がある。
本発明の目的は、形状をコンパクトにすることできて、しかも接続線による接続箇所を少なくすることができる半導体電力変換モジュールを提供することにある。
本発明の目的は、インダクタンスをできるだけ小さくすることができる半導体電力変換モジュールを提供することにある。
本発明の半導体電力変換モジュールは、基本的な回路構成として、一方の極性の直流端子に接続された第1の直流ラインと、他方の極性の直流端子に接続された第2の直流ラインと、電気的に直列接続された一対の半導体スイッチ素子を含んで構成され、第1の直流ラインと第2の直流ラインとの間にそれぞれ電気的に接続されたN個(Nは2以上の正の整数)のアーム回路と、N個のアーム回路の一対の半導体スイッチ素子の接続点とN個の交流端子との間にそれぞれ電気的に接続されたN本の交流ラインとを備えている。そして基板モジュールは、2N個の半導体スイッチ素子が発生する熱を放熱する放熱板と、放熱板の上に形成された熱伝導性を有する電気絶縁材料から形成された絶縁層と、絶縁層の上に設けられてN個のアーム回路に含まれる2N個の半導体スイッチ素子が実装される実装回路基板とを備えている。またハウジングは、基板モジュールを支持する。さらに使用する2N個の半導体スイッチ素子は、異なる位置に配置された一対の入出力電極を備えている。
本発明においては、実装回路基板が第1の導電体と、N個の第2の導電体を含む導電体列とを備えている。第1の導電体は、N個の素子接合部と第1の直流ライン構成部と一体に形成されて構成されている。N個の素子接合部は、絶縁層の上に列をなすように並んで配置され且つ第1の直流ラインに電気的に接続されるN個の半導体スイッチ素子の一方の入出力電極が接合されるものである。また第1の直流ライン構成部は、N個の素子接合部が並ぶ方向に延びて第1の直流ラインを構成する。第1の導電体を用いると、N個の半導体スイッチ素子を素子接合部に接合するだけで、第1の直流ラインとN個の半導体スイッチ素子との電気的接続が完了する。したがって接続作業が簡単になる。なお素子接合部は、複数の金属導電層が積層された構成された積層構造を有していてもよい。その場合には、半導体スイッチ素子の一つの入出力電極と接合される最も上の金属導電層は、他の金属導電層を形成する金属材料よりも熱膨張率が小さい低熱膨張金属から形成されているのが好ましい。なおこの金属導電層については後に説明する。
また導電体列は、絶縁層の上に第1の導電体の第1の直流ライン構成部に沿って第2の導電体がN個配置されて構成されている。第2の導電体は、素子接合部と、交流ライン構成部と、延長導体部とを備えている。素子接合部は、第2の直流ラインに電気的に接続される1個の半導体スイッチ素子の一方の入出力電極が接合されるものである。1個の交流ライン構成部は、素子接合部から一方の方向に延びる1本の交流ラインを構成する。延長導体部は、素子接合部から一方の方向とは反対の他方の方向に延びて第1の直流ライン構成部の下を電気絶縁スペーサを介して延びる。第2の導電体の素子接合部も第1の導電体の素子接合部と同様に、複数の金属導電層が積層された構成された積層構造を有していてもよい。そしてその場合には、半導体スイッチ素子の一つの入出力電極と接合される最も上の金属導電層は、他の金属導電層を形成する金属材料よりも熱膨張率が小さい低熱膨張金属から形成されているのが好ましい。
なお第1の導電体は、N個の第2の導電体の延長導体部の先端部を、第1の直流ライン構成部を越え且つ第1の導電体のN個の素子接合部と他方の方向に並ぶ位置で露出させるように構成されている。そしてN個の第2の導電体の延長導体部の先端部と第1の導電体のN個の素子接合部に接合されたN個の半導体スイッチ素子の他方の入出力電極とがそれぞれ接続線を介して電気的に接続されている。このような配置構成を採用すると、1つのアーム回路を構成する一対の半導体スイッチ素子相互の接続と該一対の半導体スイッチ素子の接続点と交流ライン構成部との電気的な接続を、第2の導電体の延長導体部の先端部と第1の導体部上の半導体スイッチ素子の他方の入力出電力との間を接続線で接続するだけで完了することができる。そのため接続作業工数を少なくすることができる。
そして第2の直流ラインを構成する第2の直流ライン構成部としては、第1の直流ライン構成部に対して電気的絶縁スペーサを介して積層状態に置かれて第1の直流ライン構成部に沿って延びるものを用いる。そして第2の直流ライン構成部とN個の半導体スイッチ素子の他方の入出力電極とを接続線を介して電気的に接続する。このようにすれば第2の直流ラインとN個の半導体スイッチ素子との電気的接続を最も少ない接続作業回数で完了することができる。またこのようにすると、第1の直流ライン構成部と第2の直流ライン構成部を重ねて配置することになり、両者の配置スペースを小さくすることができて、モジュールのコンパクト化を図ることができる利点がある。
なおハウジングを用いる場合には、第1の導電体のN個の素子接合部が入る第1の開口部と、N個の第2の導電体の素子接合部が入る第2の開口部と、第1の直流ライン構成部の上に位置して第1の開口部と第2の開口部とを仕切る仕切部とを備えているものを用いるのが好ましい。そしてハウジングの仕切部には、第2の直流ラインを構成する第2の直流ライン構成部が、第1の直流ライン構成部と電気的に絶縁された状態で第1の直流ライン構成部に沿って延び且つ第2の開口部内に収容されるN個の半導体スイッチ素子の他方の入出力電極と接続線を介して電気的に接続される被接続部を露出させるように埋設する。前述の第1の導電体とN個の第2の導電体からなる導電体列との配置構成に加えて、このようなハウジングを用いると、基板モジュールの中央領域において、第1の直流ライン構成部と第2の直流ライン構成部とを上下方向に電気的に絶縁して重ねた状態にすることができる。その結果、第1の直流ライン構成部と第2の直流ライン構成部の配置スペースを小さくすることができ、モジュールのコンパクト化を図ることができる。また第2の直流ライン構成部の被接続部が露出していて、この被接続部と第2の開口部内に収容されるN個の半導体スイッチ素子すなわち第2の導電体に接続されているN個の半導体スイッチ素子の他方の入出力電極とを接続線を介して電気的に接続することにより、第2の直流ラインとN個の半導体スイッチ素子との電気的接続を最も少ない接続作業回数で完了することができる。
なお第2の導電体の延長導体部を第1の導電体の第1の直流ライン構成部の上を電気絶縁スペーサを介して延ばすようにしても、上記と同様の接続作業を行うことにより、モジュールを完成して、しかもモジュールのコンパクト化を図ることができる。
なお半導体スイッチ素子の保護のために、いわゆるダイオードを用いる場合には、本体ケースの対向する2つの位置に一対の端子電極を備えて、半導体スイッチ素子に逆並列接続されるダイオードを、一対の端子電極の一方の端子電極を素子接合部に接合した状態で配置すればよい。そして一対の端子電極の他方の端子電極と素子接合部に接合された半導体スイッチ素子の他方の入出力電極とを接続線によって接続する。このようにすると半導体スイッチ素子の一つの端子電極とダイオードの一つの端子電極との電気的接続を、素子接合部を利用して行うことができるので、接続作業が容易になる上、配線パターンが簡単になる。
また第1の直流ライン構成部を流れる直流電流の方向と第2の直流ライン構成部を流れる直流電流の方向とが逆方向になるように第1及び第2の直流ライン構成部の端子の位置を定めるのが好ましい。このような構成を採用すると、2つの直流ライン構成部を流れる電流により発生する磁束が互いに打ち消し合うことになるため、2つの直流ライン構成部のインダクタンスを見かけ上小さくすることができる。したがってモジュール内の不要なインダクタンスを低減して、出力電圧の低下を抑制することができる。
なお素子接合部を複数の導電層を積層した多層構造とする場合の最も上の金属導電層については、他の導電層を形成する金属材料よりも熱膨張率が小さい低熱膨張金属から形成するのが好ましい。そして一方の入出力電極と金属導電層とを半田により接合する。半導体スイッチ素子の全体的な熱膨張率は、金属製の第1及び第2の導電体の熱膨張率よりも小さい。これらの熱膨張率の差が大きくなると、半導体スイッチ素子の一方の入出力電極と導電体との間を半田で直接接合した場合、冷熱サイクルを繰り返すと、両者の熱膨張率の差に起因して、両者を接合しているはんだ部に応力が集中し、半田にクラックが入り、電気的な接続不良が発生する。そこで熱膨張率の差が大きくなる場合には、前述の低熱膨張金属からなる金属導電層を素子接合部の最上層に用いると、この金属導電層と半導体スイッチ素子の一方の入出力電極との間の半田に加わる応力が小さくなって、電気的な接続不良が発生するのを防止することができる。
本発明によれば、1つのアーム回路を構成する一対の半導体スイッチ素子相互の接続と、一対の半導体スイッチ素子の接続点と交流ライン構成部との電気的な接続とを、第2の導電体の延長導体部の先端部と第1の導体部上の半導体スイッチ素子の他方の入力出電力との間を接続線で接続するだけで完了することができる。
またハウジングを用いる場合には、第2の直流ライン構成部の被接続部が露出していて、この被接続部とハウジングの開口部内に収容されるN個の半導体スイッチ素子すなわち第2の導電体に接続されているN個の半導体スイッチ素子の他方の入出力電極とを接続線を介して電気的に接続することにより、第2の直流ラインとN個の半導体スイッチ素子との電気的接続を最も少ない接続作業回数で完了することができる。したがって本発明によれば、従来よりも少ない接続作業工数で、半導体電力変換モジュールを製造することができる。
さらに本発明によれば、第1の直流ライン構成部と第2の直流ライン構成部を重ねて配置するので、両者の配置スペースを小さくすることができて、モジュールのコンパクト化を図ることができる利点がある。
以下図面を参照して本発明の半導体電力変換モジュールの実施の形態の一例を詳細に説明する。図1は3相インバータに本発明を適用した本実施の形態の半導体電力変換モジュールの回路図示している。図1において符号1A〜1Fで示した部品は、電力半導体素子として使用される絶縁ゲートトランジスタ(IGPT)からなる半導体スイッチ素子である。そして符号2A〜2Fで示した部品は、半導体スイッチ素子1A〜1Fのエミッタコレクタ回路に対して逆並列接続された保護用のダイオードである。一対の半導体スイッチ素子1A及び1Bが直列に接続されて第1のアーム回路3Aが構成され、一対の半導体スイッチ素子1C及び1Dが直列に接続されて第2のアーム回路3Bが構成され、一対の半導体スイッチ素子1E及び1Fが直列に接続されて第3のアーム回路3Cが構成されている。3つのアーム回路3A〜3Cは、図示しない直流電源の+出力端子に接続される第1の直流ラインPと、直流電源の−出力端子に接続される第2の直流ラインNとの間にそれぞれ並列接続されている。そして第1のアーム回路3Aを構成する一対の半導体スイッチ素子1A及び1Bの接続点が第1の交流出力ラインUに接続されており、第1のアーム回路3Aを構成する一対の半導体スイッチ素子1A及び1Bの接続点が第1の交流ラインUに接続されており、第1のアーム回路3Bを構成する一対の半導体スイッチ素子1C及び1Dの接続点が第2の交流ラインVに接続されており、第3のアーム回路3Cを構成する一対の半導体スイッチ素子1E及び1Fの接続点が第3の交流ラインWに接続されている。直流電力を交流電力に変換する際の各半導体スイッチ素子の動作は周知であるため説明を省略する。
図2は、図1の回路を実際にモジュール化する際の本実施の形態の半導体電力変換モジュールの基板モジュール4と、第2の直流ラインNを構成する銅の成形品からなる第2の直流ライン構成部22とを組み合わせた斜視図を示している。また図3は、基板モジュール4の断面構造を概略的に示している。図4(A)及び(B)は、後に説明する第1の導電体9と第2の導電体10の斜視図を示している。また図5は、基板モジュール4に用いる実装回路基板8の平面図を示している。更に図6(A)乃至(C)は、それぞれ図5のA−A線断面図、B−B線断面図及びC−C線断面図である。これらの図において、基板モジュール4は、6個の半導体スイッチ素子1A〜1Fと伝熱可能に結合されて半導体スイッチ素子が発生する熱を放熱する放熱板6と、放熱板6の上に形成された熱伝導性を有する電気絶縁材料から形成された絶縁層7と、絶縁層7の上に設けられて3個のアーム回路3A〜3Cに含まれる6個の半導体スイッチ素子1A〜1Fが実装される実装回路基板8とを備えている。放熱板6は、アルミニウムやアルミニウム合金により形成されている。アルミニウムやアルミニウム合金は、加工性が良い、価格が易く、錆びず、そして熱伝導率が高いという利点から放熱板として非常に適している。
本実施の形態では、絶縁層7を樹脂絶縁層により形成している。絶縁層7の厚みを、150μm以下とすると、絶縁層で熱伝導が阻害されることが少なく、放熱特性を向上できる。また、樹脂絶縁層の熱伝導率を4W/m・K以上とすると、放熱特性を向上できる。絶縁層は、例えば、ガラス繊維や有機繊維で構成された織布や不織布からなるシート状繊維基材に、フェノール樹脂やエポキシ樹脂に高熱伝導性の無機充填材を添加した熱硬化性樹脂を含浸させたプリプレグから形成することができる。
特に、高熱伝導率が要求される樹脂絶縁層とする場合には、例えば、以下のような樹脂組成を使用する。すなわち、無機充填材を含有し、(式1)で示す分子構造のエポキシ樹脂モノマを配合したエポキシ樹脂組成物を採用する。無機充填材は、熱伝導率20W/m・K以上であって、樹脂固形分100体積部に対し50〜250体積部の量で絶縁層中に存在するようにする。
Figure 0005203822
上記(式1)で示す分子構造のエポキシ樹脂モノマは、ビフェニル骨格あるいはビフェニル誘導体の骨格をもち、1分子中に2個以上のエポキシ基をもつエポキシ化合物全般である。エポキシ樹脂モノマの硬化反応を進めるために、硬化剤を配合する。硬化剤は、例えば、アミン化合物やその誘導体、酸無水物、イミダゾールやその誘導体、フェノール類又はその化合物や重合体などである。また、エポキシ樹脂モノマと硬化剤の反応を促進するために、硬化促進剤を使用することができる。硬化促進剤は、例えば、トリフェニルホスフィン、イミダゾールやその誘導体、三級アミン化合物やその誘導体などである。
上記硬化剤や硬化促進剤を配合したエポキシ樹脂組成物に配合する無機充填材は、金属酸化物又は水酸化物あるいは無機セラミックス、その他の充填材である。例えば、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化チタン、酸化亜鉛、炭化タングステン、アルミナ、酸化マグネシウム等の無機粉末充填材、合成繊維、セラミックス繊維等の繊維質充填材、着色剤等である。これら無機充填材は2種類以上を併用してもよいのは勿論である。
無機充填材は、樹脂固形分100体積部に対し50〜250体積部の量となるように配合する。無機充填材の熱伝導率と配合量の下限値は、樹脂絶縁層の熱伝導率を4W/m・K以上にする場合に必要である。また、エポキシ樹脂組成物に配合する無機充填材が少ないと、無機充填材をエポキシ樹脂組成物中に均一に分散させることが難しくなる。熱伝導性の確保と共にこの点においても、無機充填材配合量の下限値の規定は重要である。一方、無機充填材の配合量を多くすると、エポキシ樹脂組成物の粘性が増大して取り扱いが難しくなるので、無機充填材配合量の上限値は、このような観点から規定する。
尚、無機充填材の熱伝導率が30W/m・K以上であれば、樹脂絶縁層の熱伝導率をさらに高くできるので好ましい。また、無機充填材は、その形状が、粉末(塊状、球状)、短繊維、長繊維等いずれであってもよいが、平板状のものを選定すると、高熱伝導率の無機充填材自身が樹脂中で積み重なった状態で存在することになり、樹脂絶縁層の厚み方向の熱伝導性をさらに高くできるので好ましい。上記エポキシ樹脂組成物には、そのほか必要に応じて難燃剤や希釈剤、可塑剤、カップリング剤等を配合することができる。
絶縁層7を形成する場合には、上記エポキシ樹脂組成物を必要に応じ溶剤に希釈してワニスを調製しこれをシート状繊維基材に含浸し、加熱乾燥して半硬化状態にしたプリプレグを準備する。そして、このプリプレグを放熱板6と重ねて加熱加圧成形することにより絶縁層7を形成する。なお実際には、第1の導電体9と3つの第2の導電体10〜12を備え実装回路基板8をプリプレグの上に重ねて加熱加圧成形をしている。
実装回路基板8は、銅、銅合金、SUS等からなる第1の導電体9と、銅、銅合金またはSUSからなる3個の第2の導電体10〜12を含む導電体列とを備えている。特に銅は、熱伝導率が394W/m・Kと大きく、放熱特性を向上できるので好ましい。第1の導電体9及び第2の導電体10〜12を構成する銅板の厚みは放熱板6の厚みの20%以上にするのが好ましい。このようにすると熱応力の緩和と放熱特性を向上できる。なお第1の導電体9及び第2の導電体10〜12を構成する銅板の厚みを、放熱板6の厚みよりも厚くすると、さらに放熱特性を向上できる。第1の導電体9は、図2及び図4(A)に示すように、3個の素子接合部分13〜15と第1の直流ライン構成部16とが一体に形成された立体構造を有している。3個の素子接合部分13〜15は、絶縁層7の上に列をなすように並んで配置され且つ第1の直流ラインPに電気的に接続される3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの一方の入出力電極(コレクタ)が接続されるものである。したがって3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eとしては、本体ケースの底壁部及び/または側面に一方の入出力電極(コレクタ)が形成され、底壁部と対向する上壁部の他方の入出力電極(エミッタ)が形成されるタイプのトランジスタを用いることになる。なお3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの一方の入出力電極(コレクタ)を、3個の素子接合部分13〜15に対して直接電気的且つ機械的に接合してもよいが、本実施の形態では素子接合部分13〜15を形成する金属材料よりも熱膨張率が小さい低熱膨張金属からなる金属導電層20を積層している。したがって本実施の形態では、素子接合部分13〜15と金属導電層20とによって素子接合部が構成されている。3個の素子接合部分13〜15と金属導電層20との接合は導電性接着剤で接合してもよいが、接着剤を用いずに金属間接合により素子接合部分13〜15と金属導電層20を接合して一体化してもよい。金属間接合により、両者を一体化すれば、両者間の電気的な抵抗を最小のものとすることができる。
なおこの低熱膨張金属からなる金属導電層20の熱膨張率を7〜10ppm/℃とすると、はんだ接続信頼性が良好となるので好ましい。例えば、銅/モリブデン、銅/インバー、銅/タングステン、銅/クロムなどの銅合金により金属導電層20を形成することができる。これらの金属の中でも銅/クロム合金は、安価であり、かつ、銅/モリブデン合金と同等の接続信頼性が維持できるので好ましい。これら銅合金の電気伝導率は、銅に比べると劣るものの実用上の支障はない。また、アルミニウムとセラミック粒子の複合材であるアルミニウム合金などでもよい。なお金属導電層20の熱伝導率を150W/m・K以上とすると、放熱特性が向上するので好ましい。さらに、金属導電層20の厚みが0.5mm以上であれば、放熱特性を向上できる。
なお本実施の形態では、3個の素子接合部分13〜15上の金属導電層20の上には、3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eにそれぞれ逆並列接続される3個のダイオード2A,2C及び2Eの一方の端子電極(カソード)が電気的且つ機械的に接合されている。3個の素子接合部分13〜15上の金属導電層20と3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの一方の入出力電極(コレクタ)及びダイオード2A,2C及び2Eの一方の端子電極(カソード)との間の電気的且つ機械的な接合には、半田や導電性接着剤を用いればよい。半田を用いる場合には、例えばクリーム半田を素子接合部分13〜15上の金属導電層20と3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの一方の入出力電極とダイオード2A,2C及び2Eの一方の端子電極(カソード)との間に配置して接合すればよい。また接着剤を用いて3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eと3個のダイオード2A,2C及び2Eをそれぞれ金属導電層20に接合しておき、リフロー半田により半田付けするようにしてもよい。
また第1の直流ライン構成部16は、3個の素子接合部分13〜15が並ぶ方向に延びて第1の直流ラインPを構成している。第1の直流ライン構成部16の端部には、直流端子部16Eが一体に形成されている。第1の直流ライン構成部16は、3個の素子接合部分13〜15との間の電気的且つ機械的な連結のための立体的な仕切部分16A〜16Dを備えている。仕切部分16A〜16Dは、第1の直流ライン構成部16の長手方向に間隔を開けて形成されている。本実施の形態では、隣り合う2つの仕切部分16A〜16Dと3個の素子接合部分13〜15との間に後述する第2の導電体10の導体延長部10Cを露出させる窓部17A〜17Cが形成されている。この例では、3個の素子接合部分13〜15は、スリット18によって分離されているが、スリット18を設けずに、3個の素子接合部分13〜15が一体に形成されていてもよいのは勿論である。このような第1の導電体9を用いると、3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eを素子接合部分13〜15上の金属導電層20に接合するだけで、第1の直流ラインPと3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eとの電気的接続が完了する。したがって接続作業が簡単になる。
絶縁層7の上に第1の導電体9の第1の直流ライン構成部16に沿って第2の導電体10〜12が3個配置されて導体列が構成されている。図4(B)には、代表的に1つの導電体10の斜視図を示してある。第2の導電体10〜12は、素子接合部分10A〜12Aと、交流ライン構成部10B〜12Bと、延長導体部10C〜12Cとを一体に備えている。第2の導電体10〜12においても、素子接合部分10A〜12Aの上には金属導電層20が積層されており、素子接合部分10A〜12Aと金属導電層20とにより多層構造の素子接合部が構成されている。
素子接合部分10A〜12Aは金属導電層20を介して、第2の直流ラインNに電気的に接続される半導体スイッチ素子1B,1D及び1Fの一方の入出力電極(コレクタ)とダイオード2B,2D及び2Fの一方の端子電極(カソード)が接続されるものである。交流ライン構成部10B〜12Bは、素子接合部分10A〜12Aと一体に形成されて一方の方向に延びる交流ラインを構成する。なお交流ライン構成部10B〜12Bは、その端部に交流端子10D〜12Dを備えている。延長導体部10C〜12Cは、素子接合部分10A〜12Aと一体に形成され一方の方向とは反対の他方の方向に延びて第1の直流ライン構成部16の下を、電気絶縁スペーサ19を介して延びる。この電気絶縁スペーサ19は、第1の直流ライン構成部16よりも大きな面積を有していて、第1の直流ライン構成部16に沿って連続して延びている。電気絶縁スペーサ19の存在により、延長導体部10C〜12Cと第1の直流ライン構成部16とは、完全に電気的に絶縁されている。電気絶縁スペーサ19は、絶縁層7を形成するために用いた前述の熱硬化性樹脂を含浸したプリプレグを用いて形成することができる。なおその他、セラミック等の絶縁材料を用いて電気絶縁スペーサ19を形成してもよい。
先に説明した第1の導電体9は、3個の第2の導電体10〜12の延長導体部10C〜12Cの先端部を、それぞれ1の直流ライン構成部16を越え且つ第1の導電体9の3個の素子接合部13〜15と他方の方向に並ぶ位置で露出させるように窓部17A〜17Cを備えた構造を有している。そして図2に示すように、3個の第2の導電体10〜12の延長導体部10C〜12Cの先端部と、第1の導電体9の3個の素子接合部分13〜15上の金属導電層20に接合された3個の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの他方の入出力電極(エミッタ)及びダイオード2A,1C及び1Eの他方の端子電極(アノード)とは、ワイヤボンディングによる二本の接続線L1〜L3により相互に電気的に接続されている。がそれぞれ接続線を介して電気的に接続されている。このような配置構成を採用すると、アーム回路3A〜3Cを構成する一対の半導体スイッチ素子(1A及び1B,1C及び1D,1E及び1F)相互の接続と該一対の半導体スイッチ素子の接続点と交流ライン構成部10B〜12Bとの電気的な接続とを、第2の導電体10〜12の延長導体部10C〜12Cの先端部と第1の導体部9上の半導体スイッチ素子1A,1C及び1Eの他方の入力出電力及びダイオード2A,2C及び2Eの他方の端子電極との間を接続線L1〜L3で接続するだけで完了することができる。そのため接続作業工数を少なくすることができる。
図2及び図3に示すように、絶縁層7の上には第1の導電体9と3個の第2の導電体10〜12の周囲を囲むように絶縁樹脂モールド層Mが形成されて実装回路基板8が構成されている。絶縁樹脂モールド層Mは、少なくとも第1の導電体9の素子接合部分13〜15の表面及び第2の導電体10〜12の素子接合部分10A〜12Aの表面を覆わないように形成されている。
図2及び図3に示すように、第1の直流ライン構成部16の上に電気的絶縁スペーサ21を介して第2の直流ラインNを構成する導電体からなる第2の直流ライン構成部22が配置される。実際には、図7に示す実際の半導体電力変換モジュールの平面図及び図8に示すモジュールに使用するハウジング23の平面図に示すように、第2の直流ライン構成部22は、基板モジュール4の表面上に配置されて基板モジュール4を支持する絶縁樹脂製のハウジング23内にインサートとして埋設されている。したがって電気的絶縁スペーサ21は、ハウジング23の一部によって構成することもできる。ここでハウジング23は、第2の直流ライン構成部22を構成する導電体をインサートとして、インサート成形により形成される。ハウジング23は、放熱板6の絶縁層7が形成された面6Aと反対側の面6Bの少なくとも一部を露出させるように基板モジュール4を支持する。ハウジング23と基板モジュール4とは接着剤により接合されている。
ハウジング23は、第1の導電体9の3個の素子接合部分13〜15が入る第1の開口部24と、3個の第2の導電体10〜12の素子接合部分10A〜12Aが入る第2の開口部25と、第1の直流ライン構成部16の上に位置して第1の開口部24と第2の開口部25とを仕切る仕切部26とを備えている。そしてハウジング23の仕切部26には、第2の直流ラインNを構成する導電体からなる第2の直流ライン構成部22が埋設されている。第2の直流ライン構成部22は、第1の直流ライン構成部16と電気的に絶縁された状態で第1の直流ライン構成部16に沿って延び且つ第2の開口部25内に収容される3個の半導体スイッチ素子1B,1D及び1Fの他方の入出力電極(エミッタ)及びダイオード2B,2D及び2Fの他方の端子電極(アノード)と接続線L4〜L6を介して電気的に接続される被接続部22A〜22Cを露出させるように埋設されている。そして第2の直流ライン構成部22の一方の端部には、ハウジング23から突出する端子22Dが一体に設けられている。なおハウジング23には、第1及び第2の開口部24及び25内の縁部に、ハウジング23の対向する一対のフレーム部23A及び23Bに隣接してそれぞれ制御用回路基板接続用のコネクタの端子群26が所定の間隔をあけて固定されている。1つの端子群26は5本の端子によって構成されている。これら端子群26の端子は、ハウジング23の開口部24及び25を塞ぐようにして配置される図示しない制御用回路基板との電気的な接続に利用される。
前述の第1の導電体9と3個の第2の導電体10〜12からなる導電体列との配置構成に加えて、このようなハウジング23を用いると、基板モジュール4の中央領域において、第1の直流ライン構成部16と第2の直流ライン構成部22とを上下方向に電気的に絶縁して重ねた状態にすることができる。その結果、第1の直流ライン構成部16と第2の直流ライン構成部22の配置スペースを小さくすることができて、モジュールのコンパクト化を図ることができる。また第2の直流ライン構成部22の被接続部22A〜22Cが露出していて、この被接続部22A〜22Cと第2の開口部25内に収容される3個の半導体スイッチ素子1B,1D及び1Fの他方の入出力電極(エミッタ)とダイオード2B,2D及び2Fの他方の端子電極(アノード)と接続線L4〜L6を介して電気的に接続することにより、第2の直流ラインNと3個の半導体スイッチ素子1B,1D及び1Fとの電気的接続を最も少ない接続作業回数で完了することができる。
また本実施の形態では、第1の直流ライン構成部16を流れる直流電流の方向と第2の直流ライン構成部22を流れる直流電流の方向とが逆方向になるように第1及び第2の直流ライン構成部16及び22の接続用端子部16E及び22Dの位置を定めている。したがって2つの直流ライン構成部16及び22を流れる電流により発生する磁束が互いに打ち消し合うことになるため、2つの直流ライン構成部16及び22のインダクタンスを見かけ上小さくすることができる。その結果、モジュール内の不要なインダクタンスを低減して、出力電圧の低下を抑制することができる。
上記の実施の形態では、第2の導電体10〜12の延長導体部10C〜12Cが第1の直流ライン構成部16の下に位置しているが、図9に示すように第2の導電体11(代表として示す)の延長導体部11Cを、第1の導電体9の第1の直流ライン構成部16の上を電気絶縁スペーサ19を介して延ばすようにしてもよい。このようにしても図2乃至図8の実施の形態と同様の接続作業を行うことにより、モジュールを完成して、しかもモジュールのコンパクト化を図ることができる。
図2乃至図8の実施の形態では、ハウジング23内に基板モジュール4を配置する構成を採用しているが、専用のハウジング23を用いない場合にも本発明を適用することができる。
上記各実施の形態では、三相インバータを実現するために本発明を適用したが、本発明は実施の形態に限定されるものではなく、単相及び多相のインバータ及びコンバータ等の半導体電力変換モジュールに適用することが可能である。また上記実施の形態では、1つの基板モジュールだけをハウジングに支持させているが、複数の基板モジュールを1つのハウジングに支持させる場合にも本発明を適用できるのは勿論である。また上記実施の形態では、金属導電層20を含む二層構造の素子接合部を用いたが、素子接合部分の材質を適宜に選定すれば、金属導電層20を使用しなくてもよい。更に、また素子接合部を更に多層の構造としてもよいのは勿論である。
3相インバータに本発明を適用した本実施の形態の半導体電力変換モジュールの回路図である。 図1の回路を実際にモジュール化する際の本実施の形態の半導体電力変換モジュールの基板モジュールと、第2の直流ラインNを構成する銅の成形品からなる第2の直流ライン構成部とを組み合わせた斜視図である。 基板モジュールの断面構造を概略的に示す図である。 (A)及び(B)は、第1の導電体と第2の導電体の斜視図である。 基板モジュールに用いる実装回路基板の平面図である。 (A)乃至(C)は、図5のA−A線断面図、B−B線断面図及びC−C線断面図である。 実際の半導体電力変換モジュールの平面図である。 ハウジングの平面図である。 変形例を示す要部拡大断面図である。
1A〜1F 半導体スイッチ素子
2A〜2F ダイオード
3A〜3C アーム回路
4 基板モジュール
6 放熱板
7 絶縁層
8 実装回路基板
9 第1の導電体
10〜12 第2の導電体
13〜15 素子接合部分
16 第1の直流ライン構成部
19 電気絶縁スペーサ
20 金属導電層
22 第2の直流ライン構成部
23 ハウジング

Claims (8)

  1. 一方の極性の直流端子(16E)に接続される第1の直流ライン(P)と、
    他方の極性の直流端子(22D)に接続される第2の直流ライン(N)と、
    電気的に直列接続された一対の半導体スイッチ素子を含んで構成され、前記第1の直流ライン(P)と前記第2の直流ライン(N)との間にそれぞれ電気的に接続されたN個(Nは2以上の正の整数)のアーム回路(3A〜3C)と、
    前記N個のアーム回路(3A〜3C)の前記一対の半導体スイッチ素子(1A,1B;1C,1D;1E,1F)の接続点とN個の交流端子(10D〜12D)との間にそれぞれ電気的に接続されたN本の交流ラインと、
    前記N個のアーム回路に含まれる2N個の前記半導体スイッチ素子(1A〜1F)が実装される実装回路基板(8)を備えた基板モジュール(4)とを備え、
    前記2N個の半導体スイッチ素子(1A〜1F)は、それぞれ異なる位置に配置された一対の入出力電極を備えており、
    前記実装回路基板(8)が、列をなすように並んで配置され且つ前記第1の直流ライン(P)に電気的に接続されるN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の一方の前記入出力電極が接合されるN個の素子接合部(13〜15)と、前記N個の素子接合部が並ぶ方向に延びて前記第1の直流ライン(P)を構成する第1の直流ライン構成部(16)とを備えた第1の導電体(9)と;前記第2の直流ライン(N)に電気的に接続される1個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の一方の前記入出力電極が接合される素子接合部(10A,11A,12A,20)と、該素子接合部から一方の方向に延びる1本の前記交流ラインを構成する1個の交流ライン構成部(10B,11B,12B)と、前記素子接合部から前記一方の方向とは反対の他方の方向に延びて前記第1の直流ライン構成部(16)の下を、電気絶縁スペーサ(19)を介して延びる延長導体部(10C,11C,12C)とを備えた第2の導電体(10〜12)が、前記第1の導電体(9)の前記第1の直流ライン構成部(16)に沿ってN個配置されて構成された導電体列とを備え;前記第1の導電体(9)は、N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の先端部を、それぞれ前記第1の直流ライン構成部(16)を越え且つ前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部と前記他方の方向に並ぶ位置で露出させるように構成されており、N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の前記先端部と前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部(13〜15,20)に接合されたN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の他方の前記入出力電極とがそれぞれ接続線(L1〜L3)を介して電気的に接続されており、
    前記第2の直流ライン(N)を構成する第2の直流ライン構成部(22)が、電気的絶縁スペーサ(21)を介して前記第1の直流ライン構成部(16)に対して積層状態に置かれて前記第1の直流ライン構成部(16)に沿って延び、N個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の他方の前記入出力電極と接続線(L4〜L6)を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体電力変換モジュール。
  2. 一方の極性の直流端子(16E)に接続される第1の直流ライン(P)と、
    他方の極性の直流端子(22D)に接続される第2の直流ライン(N)と、
    電気的に直列接続された一対の半導体スイッチ素子を含んで構成され、前記第1の直流ラインと前記第2の直流ラインとの間にそれぞれ電気的に接続されたN個(Nは2以上の正の整数)のアーム回路(3A〜3C)と、
    前記N個のアーム回路(3A〜3C)の前記一対の半導体スイッチ素子(1A,1B;1C,1D;1E,1F)の接続点とN個の交流端子(10D〜12D)との間にそれぞれ電気的に接続されたN本の交流ラインと、
    前記N個のアーム回路に含まれる2N個の前記半導体スイッチ素子(1A〜1F)が実装される実装回路基板(8)とを備えた基板モジュール(4)を備え、
    前記2N個の半導体スイッチ素子(1A〜1F)は、それぞれ異なる位置に配置された一対の入出力電極を備えており、
    前記実装回路基板(8)が、列をなすように並んで配置され且つ前記第1の直流ラインPに電気的に接続されるN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の一方の前記入出力電極が接合されるN個の素子接合部(13〜15,20)と、前記N個の素子接合部が並ぶ方向に延びて前記第1の直流ラインを構成する第1の直流ライン構成部(16)とを備えた第1の導電体(9)と;前記第2の直流ライン(N)に電気的に接続される1個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の一方の前記入出力電極が接合される素子接合部(10A,11A,12A,20)と、該素子接合部から一方の方向に延びる1本の前記交流ラインを構成する1個の交流ライン構成部(10B,11B,12B)と、前記素子接合部から前記一方の方向とは反対の他方の方向に延びて前記第1の直流ライン構成部(16)の上を電気絶縁スペーサ(19)を介して延びる延長導体部(11C)とを備えた第2の導電体(10〜12)が、前記第1の導電体(9)の前記第1の直流ライン構成部(16)に沿ってN個配置されて構成された導電体列とを備え;N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C〜12C)の先端部は、前記第1の直流ライン構成部(16)を越え且つ前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部と前記他方の方向に並ぶ位置で終端しており、しかもN個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の前記先端部と前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部(13〜15,20)に接合されたN個の半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の他方の入出力電極とがそれぞれ接続線(L1〜L3)を介して電気的に接続されており、
    前記第2の直流ライン(N)を構成する第2の直流ライン構成部(22)が、電気的絶縁スペーサ(21)を介して前記第1の直流ライン構成部(16)に対して積層状態に置かれて前記第1の直流ライン構成部(16)に沿って延び、N個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の他方の前記入出力電極と接続線(L4〜L6)を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体電力変換モジュール。
  3. 一方の極性の直流端子(16E)に接続される第1の直流ライン(P)と、
    他方の極性の直流端子(22D)に接続される第2の直流ライン(N)と、
    電気的に直列接続された一対の半導体スイッチ素子を含んで構成され、前記第1の直流ラインと前記第2の直流ラインとの間にそれぞれ電気的に接続されたN個(Nは2以上の正の整数)のアーム回路(3A〜3C)と、
    前記N個のアーム回路(3A〜3C)の前記一対の半導体スイッチ素子(1A,1B;1C,1D;1E,1F)の接続点とN個の交流端子(10D〜12D)との間にそれぞれ電気的に接続されたN本の交流ラインと、
    前記N個のアーム回路に含まれる2N個の前記半導体スイッチ素子(1A〜1F)が実装される実装回路基板(8)を備えた基板モジュール(4)と、
    前記基板モジュール(4)を支持するハウジング(23)とを備え、
    前記2N個の半導体スイッチ素子(1A〜1F)は、それぞれ異なる位置に配置された一対の入出力電極を備えており、
    前記実装回路基板(8)が、列をなすように並んで配置され且つ前記第1の直流ライン(P)に電気的に接続されるN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の一方の前記入出力電極が接合されるN個の素子接合部(13〜15)と、前記N個の素子接合部が並ぶ方向に延びて前記第1の直流ラインを構成する第1の直流ライン構成部(16)とを備えた第1の導電体(9)と;前記第2の直流ライン(N)に電気的に接続される1個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の一方の前記入出力電極が接合される素子接合部(10A,11A,12A,20)と、該素子接合部から一方の方向に延びる1本の前記交流ラインを構成する1個の交流ライン構成部(10B,11B,12B)と、前記素子接合部から前記一方の方向とは反対の他方の方向に延びて前記第1の直流ライン構成部(16)の下を、電気絶縁スペーサ(19)を介して延びる延長導体部(10C,11C,12C)とを備えた第2の導電体(10〜12)が、前記第1の導電体(9)の前記第1の直流ライン構成部(16)に沿ってN個配置されて構成された導電体列とを備え;前記第1の導電体(9)は、N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の先端部を、前記第1の直流ライン構成部(16)を越え且つ前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部と前記他方の方向に並ぶ位置で露出させるように構成されており、しかもN個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の前記先端部と前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部(13〜15,20)に接合されたN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の他方の前記入出力電極とがそれぞれ接続線(L1〜L3)を介して電気的に接続されており、
    前記ハウジング(23)は、前記第1の導電体9の前記N個の素子接合部(13〜15,20)が入る第1の開口部(24)と、N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記素子接合部分(10A〜12A)が入る第2の開口部(25)と、前記第1の直流ライン構成部(16)の上に位置して前記第1の開口部(24)と前記第2の開口部(25)とを仕切る仕切部(26)とを備え、
    前記ハウジング(23)の前記仕切部(26)には、前記第2の直流ライン(N)を構成する第2の直流ライン構成部(22)が、前記第1の直流ライン構成部(16)と電気的に絶縁された状態で前記第1の直流ライン構成部(16)に沿って延び且つ前記第2の開口部(25)内に収容されるN個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の他方の前記入出力電極と接続線(L4〜L6)を介して電気的に接続される被接続部(22A〜22C)を露出させるように埋設されていることを特徴とする半導体電力変換モジュール。
  4. 一方の極性の直流端子(16E)に接続される第1の直流ライン(P)と、
    他方の極性の直流端子(22D)に接続される第2の直流ライン(N)と、
    電気的に直列接続された一対の半導体スイッチ素子を含んで構成され、前記第1の直流ラインと前記第2の直流ラインとの間にそれぞれ電気的に接続されたN個(Nは2以上の正の整数)のアーム回路(3A〜3C)と、
    前記N個のアーム回路(3A〜3C)の前記一対の半導体スイッチ素子(1A,1B;1C、1D;1E,1F)の接続点とN個の交流端子(10D〜12D)との間にそれぞれ電気的に接続されたN本の交流ラインと、
    前記N個のアーム回路に含まれる2N個の前記半導体スイッチ素子(1A〜1F)が実装される実装回路基板(8)とを備えた基板モジュール(4)と、
    前記基板モジュール(4)を支持するハウジング(23)とを備え、
    前記2N個の半導体スイッチ素子(1A〜1F)は、それぞれ異なる位置に配置された一対の入出力電極を備えており、
    前記実装回路基板(8)が、列をなすように並んで配置され且つ前記第1の直流ライン(P)に電気的に接続されるN個の前記半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の一方の前記入出力電極が接合されるN個の素子接合部(13〜15,20)と、前記N個の素子接合部が並ぶ方向に延びて前記第1の直流ラインを構成する第1の直流ライン構成部(16)とを備えた第1の導電体(9)と;前記第2の直流ライン(N)に電気的に接続される1個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の一方の前記入出力電極が接合される素子接合部(10A,11A,12A,20)と、該素子接合部から一方の方向に延びる1本の前記交流ラインを構成する1個の交流ライン構成部(10B,11B,12B)と、前記素子接合部から前記一方の方向とは反対の他方の方向に延びて前記第1の直流ライン構成部(16)の上を電気絶縁スペーサ(19)を介して延びる延長導体部(11C)とを備えた第2の導電体(10〜12)が、前記第1の導電体(9)の前記第1の直流ライン構成部(16)に沿ってN個配置されて構成された導電体列とを備え;N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C〜12C)の先端部は、前記第1の直流ライン構成部(16)を越え且つ前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部と前記他方の方向に並ぶ位置で終端しており、しかもN個の前記第2の導電体(10〜12)の前記延長導体部(10C,11C,12C)の前記先端部と前記第1の導電体(9)のN個の前記素子接合部(13〜15,20)に接合されたN個の半導体スイッチ素子(1A,1C,1E)の他方の入出力電極とがそれぞれ接続線(L1〜L3)を介して電気的に接続されており、
    前記ハウジング(23)は、前記第1の導電体(9)の前記N個の素子接合部(13〜15,20)が入る第1の開口部(24)と、N個の前記第2の導電体(10〜12)の前記素子接合部分(10A〜12A)が入る第2の開口部(25)と、前記第1の直流ライン構成部(16)の上に位置して前記第1の開口部(24)と前記第2の開口部(25)とを仕切る仕切部(26)とを備え、
    前記ハウジング(23)の前記仕切部(26)には、前記第2の直流ライン(N)を構成する第2の直流ライン構成部(22)が、前記第1の直流ライン構成部(16)と電気的に絶縁された状態で前記第1の直流ライン構成部(16)に沿って延び且つ前記第2の開口部(25)内に収容されるN個の前記半導体スイッチ素子(1B,1D,1F)の他方の前記入出力電極と接続線(L4〜L6)を介して電気的に接続される被接続部(22A〜22C)を露出させるように埋設されていることを特徴とする半導体電力変換モジュール。
  5. 前記基板モジュール(4)は、2N個の前記半導体スイッチ素子が発生する熱を放熱する放熱板(6)と、前記放熱板(6)の上に形成された熱伝導性を有する電気絶縁材料から形成された絶縁層(7)と、前記絶縁層(7)の上に設けられる前記実装回路基板(8)とを備えている請求項1,2,3または4に記載の半導体電力変換モジュール。
  6. 本体ケースの対向する2つの位置に一対の端子電極を備えて、前記半導体スイッチ素子(1A〜1F)に逆並列接続されるダイオード(2A〜2F)が、前記一対の端子電極の一つの前記端子電極を前記素子接合部に接続した状態で配置されており、
    前記一対の端子電極の別の一つの前記端子電極と前記素子接合部に接続された前記半導体スイッチ素子の前記入出力電極とが接続線(L1〜L6)によって接続されている請求項1,2,3または4に記載の半導体電力変換モジュール。
  7. 前記第1の直流ライン構成部(16)を流れる直流電流の方向と前記第2の直流ライン構成部(22)を流れる直流電流の方向とが平行かつ逆方向になるように前記第1及び第2の直流ライン構成部の端子(16E、22D)の位置が定められている請求項1,2,3または4に記載の半導体電力変換モジュール。
  8. 前記素子接合部は、複数の金属導電層が積層されて構成された積層構造を有しており、前記半導体スイッチ素子の一つの前記入出力電極と接合される最も上の金属導電層(20)は、他の金属導電層を形成する金属材料よりも熱膨張率が小さい低熱膨張金属から形成されており、前記入出力電極と前記金属導電層(20)とが半田により接合されている請求項1,2,3または4に記載の半導体電力変換モジュール。
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