JP5199163B2 - 液圧制御装置 - Google Patents
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請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の液圧制御装置において、前記流体制御手段と、前記エジェクタと、前記真空圧検出手段とはマニホールドブロックによって一体化されていることを要旨とする。
図1は、液圧制御装置10を模式的に示す図であって、図1の実線は圧縮流体又は液体としてのインクが流れる経路を示し、破線は信号を示す。図1に示すように、液圧制御装置10は、インクジェット技術を用いた液晶用配向膜印刷装置に適用されるものであり、タンク50内に貯留されたインクをノズル52から所定の圧力、すなわち安定した吐出量で滴下するようにしたものである。液圧制御装置10は、正圧の圧縮流体を供給する圧縮流体供給源11を備える。また、液圧制御装置10は、圧縮流体供給源11から供給された圧縮流体の圧力を制御する流体制御手段としての電空レギュレータ30を備えるとともに、この電空レギュレータ30は、パイロット式圧力比例制御弁31と、供給用電磁弁32と、排気用電磁弁33とを備えている。
まず、主制御装置35から、電空レギュレータ30のコントローラ34に対し、タンク50内を所定の真空圧にするための指令信号が入力されると、コントローラ34は供給用電磁弁32を開くように制御する。すると、圧縮流体供給源11が駆動するとともに、圧縮流体供給源11から供給された圧縮空気が第1ダイヤフラム室31eにパイロット圧として供給される。なお、供給用電磁弁32が開かれる前の状態では、第1ダイヤフラム室31eと第2ダイヤフラム室31fとの圧力が等しく、パイロット弁31dが中立位置にあり、パイロット式圧力比例制御弁31の出力ポート31cは、供給ポート31aと排気ポート31bとも連通していない。
(1)液圧制御装置10において、エジェクタ40の出力ポート40cに第1絞り41を設けた。そして、第1絞り41により、出力ポート40cにおける真空圧の振れ幅が小さくなるようにエジェクタ40からの出力圧の制御を行うことができる。このため、第1絞り41を設けることで、エジェクタ40とタンク50とを接続する接続配管53の長さや、屈曲箇所の数に影響されることなく、配管条件による真空圧の変動を抑えることができるとともに、タンク50内の真空圧を精度良く制御することができる。
○ 真空圧検出手段として、圧力トランスジューサ60の代わりに液面レベル計や液圧トランスジューサを用いてもよい。
○ 液圧制御装置10を、有機EL製造装置、プリント基板製造装置、太陽電池製造装置に適用してもよい。
(1)前記流体制御手段は電空レギュレータである請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の液圧制御装置。
Claims (3)
- タンク内に貯留された液体をノズルから所定の圧力で吐出するための液圧制御装置であって、
圧縮流体供給源から供給された圧縮流体の圧力又は流量を制御する流体制御手段と、
前記流体制御手段によって圧力又は流量が制御された圧縮流体が供給され前記タンク内を減圧して真空圧にするエジェクタと、
前記タンク内の真空圧を検出する真空圧検出手段と、
前記真空圧検出手段の検出結果に基づき前記流体制御手段を制御するため該流体制御手段に内蔵されたコントローラと、
前記エジェクタの出力ポートに設けられたエジェクタ用可変絞りと、を備えることを特徴とする液圧制御装置。 - 前記真空圧検出手段の入力ポートには真空圧検出手段用可変絞りが設けられている請求項1に記載の液圧制御装置。
- 前記流体制御手段と、前記エジェクタと、前記真空圧検出手段とはマニホールドブロックによって一体化されている請求項1又は請求項2に記載の液圧制御装置。
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