CN101603555A - 电动气动阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及控制气动调节驱动装置(30)的电动气动阀(10)，气动调节驱动装置用于操纵自动化技术设备中的阀门。阀(10)具有至少一个电动气动换能器(16)和气动放大器，气动放大器包括至少一个具有密封介质位置的3/3换向阀(11)，用于选择性地将通向调节驱动装置(30)的连接通道(18)与供风通道(12)或与排风通道(13)连接，通过电动气动换能器(16)依据电调节信号(22)对具有密封介质位置的3/3换向阀(11)进行操纵。为了改进品质，建议气动放大器具有至少一个传感器(17)用于检测具有密封介质位置的3/3换向阀(11)的位置，传感器的输出信号被反馈到所述电调节信号(22)中。

Description

电动气动阀
技术领域
本发明涉及一种用于控制气动(pneumatisch)调节驱动装置的电动气动(elektropneumatisch)阀(Ventil)，该气动调节驱动装置用于操纵自动化技术设备中的阀门(Armatur)。
背景技术
电动气动阀用于控制调节或调整驱动装置以及对该装置进行位置调节，而且同样地用于单作用的和双作用的实施以及阻塞的和排气的实施。
这种阀在原理上由EP1758007A1公开。根据该文献，该阀至少由控制压力调节器、气动放大器和电动气动换能器(Wandler)组成，并包括供风通道、排风通道以及通向调节驱动装置的连接通道。
在本说明书的范围内，气动放大器要理解为一种借助于气动输入信号控制气动输出信号的技术设备。
在此，从供风通道向电动气动换能器供给工作介质(Betriebsmedium)。该工作介质通常是压缩气体，但是其它任何流体介质都是可行的。馈送给电动气动换能器的工作介质通常具有气动压力，该气动压力是调节驱动装置所需要的。为了内部地控制气动放大器，从供风通道吸取相同工作介质的明显更小的、尽可能恒定的控制压力。为此，该介质被馈送给控制压力调节器，该控制压力调节器将工作介质的压力减小到希望的控制压力并调节为恒定值。利用减小到控制压力的介质来控制气动放大器。借助过滤器防止可能的杂质进入气动系统。
在向电动气动阀供给以工作介质作为气动载能体之后，借助于电能的馈送来实现电动气动阀的启动。为此，电动气动阀配备有电动气动换能器，该换能器被电控制并且操纵控制压力以气动地控制气动放大器。
电动气动换能器是一种根据电输入信号有针对性地影响气动放大器的控制压力回路的转换器。借助该电动气动换能器，可以控制气动放大器，使得在第一工作状态，工作介质被有针对性地从供风通道引导至通向气动调节驱动装置的连接通道，或者在第二工作状态，工作介质被有针对性地从气动调节驱动装置通过排风通道引导至大气中，或者在第三工作状态，工作介质被有针对性地封闭在调节驱动装置中以保持调节驱动装置的当前(momentan)位置。为此，气动放大器具有第一气动阀，用于将供风通道与通向调节驱动装置的连接通道连接，并且具有第二气动阀，用于将排风通道与通向调节驱动装置的连接通道连接。这种结构按照规定被称为具有密封介质位置(Sperrmittelstellung)的3/3换向阀。
EP1758007A1还公开了为电动气动换能器配备压电弯曲换能器(Biegewandlern)，其中可以用很小的电能控制该弯曲换能器。很小的能量需求是对于在自动化技术的双线设备中使用的核心要求，该双线设备通过其控制信号从4到20mA电流回路吸收其能量。
通过传输特征曲线来描述在电动气动换能器处电单元中的电输入信号与作为孔口截面或作为流量单位的通向调节驱动装置的连接通道处的输出信号的对应关系。传输特征曲线通过3个特征区域表征，该传输特征曲线从排气(Entlueften)区域出发经过密封(Dichtschliessen)区域直到送风(Belueften)区域。
密封区域描述电控制的这样的区域，即在该区域中，电动气动阀将位于通向调节驱动装置的连接通道处的一侧相对于所有可能的送风和排气路径进行密封。在送风区域中，通过通向调节驱动装置的连接通道进行的空气输出以恒定斜率基本上与电控制信号成比例地进行，一直到完整的空气输出信号。在排气区域中，排气侧的空气输出信号以恒定斜率基本上与电控制信号成比例地进行，一直到完整的排气功率(Abluftleistung)。
从密封区域到排气区域的过渡是排气的开启点(Oeffnungspunkt)，从密封区域到送风区域的过渡是送风的开启点。对于在电动气动位置调节器中使用电动气动阀，送风的开启点和排气的开启点对于涉及所连接的调节驱动装置的高调节品质有着很大的意义。
高的调节品质在这种电动气动阀中受到正向行程特征曲线和回程特征曲线之间的滞后以及开启点的漂移的阻碍。这种效应在采用压电技术的电动气动换能器的情况下尤其对应于压电陶瓷，并且取决于环境影响，如压电陶瓷的温度和/或压电陶瓷表面上的湿度/污染以及由此产生的泄漏电流。在此，尤其是具有压电弯曲工具(Piezo-Biegern)的阀提供相应的表面。对于磁感应控制，出现类似形式的效应。但是其它可能尤其通过容许的温度范围上的温度循环而引起的影响，如所采用的材料的纵向膨胀(Laengendehnung)、整个结构中和校准装置中的摩擦以及电动气动换能器的机械置位特性(Setzverhalten)也是这种效应的原因。
由于开启点通过所述影响参数而漂移，因此针对事先确定的用于先导阀(Vorsteuerventil)的电调节量，无法可靠地为输出端处的开启点或对于调节来说足够的小流量分配在任何时刻都有效的恒定值，该恒定值通过启动时的校准来确定。
同样，对滞后的补偿对于调节品质也很重要。由于在正向行程特征曲线和回程特征曲线之间存在偏移，因此气动放大器不直接跟随电调节量。由于滞后的大小同样受到所述环境影响，因此在运行时不知道调节量必须被改变多大程度以便在相反方向上以期望的数量级控制气动放大器中的孔口截面或空气量。
发明内容
因此，本发明要解决的一个技术问题是为电动气动阀提供一种装置，该装置与漂移和/或滞后无关地实现对在通向调节驱动装置的连接通道处的空气量的对应于电调节信号的调节。
本发明基于一种用于控制气动调节驱动装置的电动气动阀，该电动气动阀具有至少一个电动气动换能器和气动放大器，其中气动放大器具有至少一个第一气动阀和第二气动阀，其中第一气动阀用于将供风通道与通向调节驱动装置的连接通道连接，第二气动阀用于将排风通道与通向调节驱动装置的连接通道连接，其中根据电调节信号，通过电动气动换能器来操纵该至少一个第一气动阀和第二气动阀。
本发明还基于以下认识，即仅当期望的阀横截面可以被可靠地调节或计量(dosieren)、并因此工作介质的量可以被可靠地调节或计量的时候，才能实现相应终端应用的所有应用领域、尤其是在电动气动位置调节器中的高调节品质。为此，知道实际的开启点是有决定意义的。特征曲线的斜率在此基本上未涉及。
根据本发明，气动放大器具有至少一个传感器，用于检测第一和/或第二气动阀的位置，其中该至少一个传感器的输出信号被反馈到电调节信号上。
优选地，检测所考察的气动阀的实际位置，并且由此确定所寻找的开启点。此外，能够确定阀的开放程度(Oeffnungsgrad)，并由此能够在已知工作压力的情况下确定工作介质的流入量。由此可以可靠地调节小的流通量。
通过检测所考察的气动阀的实际位置，既消除了开启点的漂移对调节在通向调节驱动装置的连接通道处的空气量的影响，又消除了滞后对调节在通向调节驱动装置的连接通道上的空气量的影响。
根据本发明的另一特征，传感器是无接触检测类型的。有利地，在此对所查找的开启点的检测对于所考察的气动阀没有反作用。
附图说明
下面借助实施例详细解释本发明的其它优点和细节。为此所需的附图示出：
图1示出电动气动阀的原理图，
图2示出电动气动阀的特征曲线的原理图。
具体实施方式
图1示出用于控制气动调节驱动装置30的电动气动阀10，该电动气动阀10具有至少一个电动气动换能器16和至少一个气动放大器，该至少一个气动放大器包括具有密封介质位置的3/3换向阀11。具有密封介质位置的3/3换向阀11被构造为选择性地将通向调节驱动装置30的连接通道18与供风通道12或者与排风通道13连接。由电动气动换能器16根据电调节信号22进行对具有密封介质位置的3/3换向阀11的按照规定的操纵。为此，电动气动换能器16经由压力调节器14和节流装置(Drosseleinrichtung)15与供风通道12连接，并且由此被供给以小的恒定的压力。
调节驱动装置30经由提升杆(Hubstange)31与阀门32连接，该阀门32适于控制与过程有关的介质通过管线的流动。
借助于信号处理装置20，根据额定值21推导用于操纵电动气动换能器16的电调节信号22。其中应当考虑在图2中示出的电动气动阀10的传输特征曲线。空气流通效率(Luftleistung)L相对于电调节信号22的控制电压S的变化曲线示出3个主要区域，其中空气流通效率L是在流动方向(Durchtrittsrichtung)上每时间单位的空气流动量(Luftdurchtrittsmenge)的度量。
在0％控制电压S和用P1表示的开启点之间的第一区域中，空气流通效率L是负的；这意味着调节驱动装置30被排气。在此，具有密封介质位置的3/3换向阀11被设置为使得通向调节驱动装置30的连接通道与排风通道13连接。因此，存储在调节驱动装置30中的空气通过排风通道13泄漏到环境中。
在接下来的位于开启点P1和P2之间的控制电压S的第二区域中，空气流通效率L等于0；这意味着通向调节驱动装置30的连接通道18对所有可能的送风和排气路径都是密闭的。在此，具有密封介质位置的3/3换向阀11处于其密封介质位置。因此，空气存储在调节驱动装置30中。密封区域几乎对称地在大约50％控制电压S周围延伸。
最后，在接下来的位于开启点P2和100％控制电压S之间的控制电压S的第三区域中，空气流通效率L为正；这意味着调节驱动装置30被送风。其中，具有密封介质位置的3/3换向阀11被设置成使得通向调节驱动装置30的连接通道18与供风通道12连接。因此，调节驱动装置30被填充以空气。
此外，电动气动阀10的特性容易产生滞后。这意味着，控制电压S的方向变化要在稳定(Beharrung)之后才变成空气流通效率L的等效变化。这种称为滞后的特性在图2中通过在所涉及的特征曲线片段上的阴影面积示出。
根据图1，由具有密封介质位置的3/3换向阀11构成的气动放大器具有至少一个传感器17，用于检测具有密封介质位置的3/3换向阀11的位置。该传感器17连接到信号处理装置20。传感器17的输出信号被反馈到电调节信号22上。为此，传感器17的输出信号与额定值21结合(verknepfen)。
在电动气动阀10的优选实施中，传感器17是无接触检测类型的。其中，在第一实施方式中，传感器17是磁感应(magneto-induktiv)检测类型的。传感器17尤其是由空芯线圈形成。
在本发明的一个实施方式中，设置被构造为具有密封介质位置的3/3换向阀11的气动放大器，该气动放大器具有被构造为空芯线圈的传感器17。
在本发明的第二实施方式中，可以通过由第一空芯线圈和第二空芯线圈构成的空芯线圈对来形成传感器17，该空芯线圈对连接成半桥。
在本发明的一种可替换实施方式中，传感器17是电容检测类型的。
在该实施方式的特别结构中，电容传感器17被设置在无工作介质的空间中。有利地，由此避免在形成电容的可导电元件之间的介电层被污染。
在本发明的另一可替换实施方式中，传感器17是光学检测类型的。
在本发明的另一可替换实施方式中，传感器17被构造为压力传感器。
所描述的所有实施方式都具有很小的能量需求，使得可以在以自动化技术实现的双线设备中使用，该双线设备通过其控制信号从4到20mA电流回路中吸收该双线设备的能量。
附图标记列表
10  电动气动阀
11  3/3换向阀
12  供风通道
13  排风通道
14  压力调节器
15  节流装置
16  电动气动换能器
17  传感器
18  连接通道
20  信号处理装置
21  额定值
22  电调节信号
30  调节驱动装置
31  提升杆
32  阀门
L   空气流通效率
S   控制电压
P1，P2  开启点

Claims (9)

1.一种用于控制气动调节驱动装置(30)的电动气动阀(10)，该电动气动阀具有至少一个电动气动换能器(16)和至少一个气动放大器，其中所述气动放大器包括至少一个具有密封介质位置的3/3换向阀(11)，所述具有密封介质位置的3/3换向阀(11)用于选择性地将通向调节驱动装置(30)的连接通道(18)与供风通道(12)或者与排风通道(13)连接，其中通过电动气动换能器(16)根据电调节信号(22)对所述具有密封介质位置的3/3换向阀(11)进行操纵，
其特征在于，所述气动放大器具有至少一个传感器(17)，用于检测所述具有密封介质位置的3/3换向阀(11)的位置，其中所述至少一个传感器的输出信号被反馈到所述电调节信号(22)上。
2.根据权利要求1所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)是无接触检测类型的。
3.根据权利要求2所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)是磁感应检测类型的。
4.根据权利要求3所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)由至少一个空芯线圈构成。
5.根据权利要求4所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)具有连接成半桥的空芯线圈对。
6.根据权利要求2所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)是电容检测类型的。
7.根据权利要求6所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)被设置在无工作介质的空间内。
8.根据权利要求2所述的电动气动阀，其特征在于，所述传感器(17)是光学检测类型的。
9.根据权利要求2所述的电动气动阀门，其特征在于，所述传感器(17)是压力传感器。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102734542A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN102734509A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN113207301A (zh) * 2018-12-12 2021-08-03 Avl李斯特有限责任公司 用于测量质量流量、密度、温度或流速的测量系统和方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103512733B (zh) * 2012-06-19 2015-07-22 宝山钢铁股份有限公司 气动增速器离线特性检校装置及方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3462115A (en) * 1965-05-14 1969-08-19 Monsanto Co Electropneumatic valve positioner
US3586287A (en) * 1969-04-11 1971-06-22 Max Knobel Electropneumatic valve
US3752189A (en) * 1971-09-15 1973-08-14 Moog Inc Electrical feedback servovalve
US3868966A (en) * 1974-06-13 1975-03-04 Petr Vasilievich Malygin Electropneumatic valve
US4901758A (en) * 1986-06-27 1990-02-20 Cook Daniel E Device for the remote control of pneumatically operated mechanisms, which has fast, high resolution response over a broad range of pressures and which is insensitive to position or vibration
US4798527A (en) * 1988-03-07 1989-01-17 Vickers, Incorporated Control system for injection molding machine
US5038821A (en) * 1990-08-06 1991-08-13 Maget Henri J R Electrochemical control valve
US5285715A (en) * 1992-08-06 1994-02-15 Hr Textron, Inc. Electrohydraulic servovalve with flow gain compensation
US5549137A (en) * 1993-08-25 1996-08-27 Rosemount Inc. Valve positioner with pressure feedback, dynamic correction and diagnostics
US5431182A (en) * 1994-04-20 1995-07-11 Rosemount, Inc. Smart valve positioner
DE4429401C2 (de) * 1994-08-09 1999-01-07 Hartmann & Braun Gmbh & Co Kg Druckmittelbetriebener Stellantrieb
DE4431600A1 (de) * 1994-09-05 1996-03-07 Rexroth Mannesmann Gmbh Jet-Pipe Stufe mit interner Fluidversorgung
DE19837693A1 (de) * 1997-08-21 1999-02-25 Schaeffler Waelzlager Ohg Anordnung zur Steuerung einer Vorrichtung zum Verändern der Steuerzeiten von Gaswechselventilen einer Brennkraftmaschine
DE10016636A1 (de) * 2000-04-04 2001-10-18 Siemens Ag Stellungsregler, insbesondere für ein durch einen Antrieb betätigbares Ventil
US6583617B2 (en) * 2000-08-24 2003-06-24 Kemp Corporation Barkhausen noise measurement probe with magnetoresistive sensor and cylindrical magnetic shield
US6771065B2 (en) * 2001-02-26 2004-08-03 Woodward Governor Company Line hall effect detector and method of sensing angular position particularly suited for electrical rotary actuator
ATE498108T1 (de) * 2003-04-30 2011-02-15 Johnson Controls Tech Co System und verfahren zur kompensierung für magnetische störeinflüsse auf einen kompass durch ein bewegbares fahrzeugteil
US6995573B2 (en) * 2003-05-07 2006-02-07 I F M Electronic Gmbh Process for determining the position of an influencing element with an inductive position sensor
DE502005002235D1 (de) * 2005-08-23 2008-01-24 Festo Ag & Co Fluidbetätigter Stellungsregler
DE102007019045A1 (de) * 2007-04-23 2008-11-06 Abb Ag Stellantrieb
US20080284554A1 (en) * 2007-05-14 2008-11-20 Thaddeus Schroeder Compact robust linear position sensor

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102734542A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN102734509A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN102734542B (zh) * 2011-03-30 2014-10-08 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN102734509B (zh) * 2011-03-30 2014-11-26 阿自倍尔株式会社 气动放大器
CN113207301A (zh) * 2018-12-12 2021-08-03 Avl李斯特有限责任公司 用于测量质量流量、密度、温度或流速的测量系统和方法
US11959788B2 (en) 2018-12-12 2024-04-16 Avl List Gmbh Wide range flow measuring device having two Coriolis meters arranged in series and a bypass line to bypass the second Coriolis meter

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Publication number Publication date
US20090309051A1 (en) 2009-12-17
DE102008028192A1 (de) 2009-12-17

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