JP5193892B2 - 真空排気装置、及び真空排気装置を備えた荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
2 試料室排気バルブ
3 予備排気室
4 予備排気室排気バルブ
5 大気側ゲートバルブ
6 ゲートバルブ
7 試料ホルダ
8 試料
9 給気バルブ
10 パーティクルモニタ
11 電子光学系
12 予備排気室第2配管排気バルブ
13 予備排気室第2配管用パーティクルモニタ
14 発生源
15 主な気流の流れ
16 第一プレ排気バルブ
17 第一プレ排気バルブ用パーティクルモニタ
18 第二プレ排気バルブ
19 第二プレ排気バルブ用パーティクルモニタ
Claims (3)
- 荷電粒子線装置の試料室に接続される予備排気室において、
前記予備排気室内を真空排気する複数の排気管と、
当該複数の排気管に流入する気体のパーティクルを検出する複数のパーティクルモニタを備え、当該複数のパーティクルモニタにて検出されるパーティクルの量が多い側に設けられた排気管を選択的に用いて、前記予備排気室の真空排気を行うことを特徴とする真空排気装置。 - 請求項1において、前記複数の排気管は、前記予備排気室内にて、予備排気が行われるときの試料位置を基準として、当該試料の中心点を通過する仮想の直線によって、試料面方向に分割される2つの空間を包囲する前記予備排気室内の側壁、或いは底部に、それぞれ設けられることを特徴とする真空排気装置。
- 請求項1において、
前記予備排気室に、前記パーティクルモニタによってパーティクルが検出される排気管とは別の複数の排気管が接続され、前記複数のパーティクルモニタにて検出されるパーティクルの量が多い側に設けられた前記別の排気管を用いて、前記予備排気室の真空排気を行うことを特徴とする真空排気装置。
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