JP5193597B2 - フォトレジスト用重合性化合物、その重合体及び該重合体を含むフォトレジスト組成物 - Google Patents
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Description
例えば、光学特性や耐熱性などを有することから、光ディスク基板、光ファイバーあるいはレンズなどに用いることが試みられている(例えば、特許文献1特開平6−305044号公報及び2特開平9−302077号公報)。
また、アダマンタンエステル類が有する酸感応性、ドライエッチング耐性、紫外線透過性などの性質を利用して、フォトレジスト用樹脂原料として使用することが試みられている(特許文献3)。
そして、基板密着性向上のためにフォトレジスト材料の重合体構造中に導入されている親水性部位に原因して、現像後にパターンが膨潤する問題が明らかとなっている。
また、露光技術は、液浸リソグラフィーへと発展しており、上記親水性部位に原因して樹脂中に水を取り込んでしまうという問題も起こっている。
例えば、有橋脂環式化合物であるトリシクロデカニル構造を有する化合物を用いた感光性組成物が知られている(引用文献4)が、これらをレジストとしてアルカリ現像でレジストパターンを形成する場合、アダマンタン骨格やトリシクロデカニル構造のような脂環式構造は疎水性が非常に大きい為、溶解性基、例えば、カルボン酸基との間でアルカリ溶解性が大きく相違し、種々問題が発生している。
それらは、現像時にレジスト膜の所定の領域の溶解・除去が不均一になり解像性の低下を招き、レジストパターンの現像後の膨潤からくる解像性低下や、レジスト膜が残存するはずの領域でも部分的な溶解が生じてクラックや表面あれが生じる。
更に、レジスト膜と基板との界面にアルカリ溶液が浸透して、レジストパターンが剥離することもしばしば発生する。
また、重合体において脂環構造を有する部分と溶解性基、例えば、カルボン酸基との相分離が進みやすく、均一なレジスト液が調製され難く、その塗布性も十分ではない。
従って、微細パターンの膨潤を低減させるフォトレジスト材料やそのモノマーが望まれている。
本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
1.一般式(1)で表される脂環式構造及び重合性基を有することを特徴とする重合性化合物、
で表わされる基から選ばれる重合性基を示し、複数のAは同じでもよく、異なっていてもよい。Kは、式(5)、(6)、(7)、(8)及び(9)
で表わされる基から選ばれる連結基を示し、複数のKは同じでもよく、異なっていてもよい。Lは、一般式(10)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)及び(16)
で表わされる基から選ばれる脂環式基を示す。Zは、式(17)及び(18)
で表わされる基から選ばれる末端基を示す。複数のZは同じでもよく、異なっていてもよい。αは1以上の整数、β及びγは0以上の整数、δは1〜16の整数を示す。但し、A及びZは構造に1以上含まれる]
2.一般式(1)において、Lが、式(10)又は(11)で表される基である上記1に記載の重合性化合物、
3.一般式(1)において、Kの少なくとも1つが、式(5)及び(7)で表わされる基から選ばれる上記1に記載の重合性化合物、
4.一般式(19)で表される脂環式構造、重合性基及び末端基を有することを特徴とする重合性化合物、
で表わされる基から選ばれる重合性基を示し、複数のAは同じでもよく、異なっていてもよい。K1及びK2は、式(5)、(6)、(7)、(8)及び(9)
で表わされる基から選ばれる連結基を示し、複数のK1及びK2は同じでもよく、異なっていてもよい。Lは、一般式(10)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)及び(16)
で表わされる基から選ばれる脂環式基を示す。Zは、式(17)及び(18)
で表わされる基から選ばれる末端基を示す。複数のZは同じでもよく、異なっていてもよい。a及びbは1以上の整数、c及びdは1〜15の整数を示し、c+d≦16である。]
5.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、kは0である。)である上記4に記載の重合性化合物、
6.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、lは0である。)である上記4に記載の重合性化合物、
7.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが一般式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基である上記6に記載の重合性化合物、
8.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)である上記7に記載の重合性化合物、
9.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(kは0である。)であり、Zがチオラクトン基又はチオエステル基を持つ末端基である上記4に記載の重合性化合物、
10.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、lは0である。)であり、Zがチオラクトン基又はチオエステル基を有する末端基である上記4に記載の重合性化合物。
11.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Zがチオラクトン基又はチオエステル基を有する末端基である上記10に記載の重合性化合物。
12.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Lが式(10)又は(11)で表される基であり、Zがチオラクトン基又はチオエステル基を有する末端基である上記4に記載の重合性化合物。
13.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Lが式(10)で表される基であり、Zがチオラクトン基又はチオエステル基を有する末端基である上記12に記載の重合性化合物。
14.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Zがラクトン基又はエステル基を有する末端基である上記4に記載の重合性化合物。
15.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Lが式(10)又は(11)で表される基であり、Zがラクトン基又はエステル基を有する末端基である上記4に記載の重合性化合物。
16.一般式(19)において、Aが式(2)で表される基であり、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)であり、Lが式(10)で表される基であり、Zがラクトン基又はエステル基を有する末端基である上記15に記載の重合性化合物。
17.一般式(20)で表される化合物と、一般式(21)で表される化合物を反応させることを特徴とする一般式(19a)で表わされる脂環式構造及び末端基を有する重合性化合物の製造方法。
18.一般式(22)で表される化合物と、一般式(23)で表される化合物を反応させることを特徴とする一般式(19b)で表される脂環式構造及び末端基を有する重合性化合物の製造方法。
19.一般式(1)で表される脂環式構造及び重合性基を有する重合性化合物を構成成分とすることを特徴とする重合体。
20.一般式(1)で表される脂環式構造及び重合性基を有する重合性化合物を構成成分とする重合体を含有することを特徴とするフォトレジスト組成物
を提供するものである。
特に、脂環式構造としてアダマンチル基を導入した場合には、ドライエッチング耐性も高く、優れた性能を示す。
連結基が複数ある場合の重合性化合物の例としては、下記のような化合物が挙げられる。
連結基(K、K1及びK2)である式(5)、(6)、(7)、(8)及び(9)において、R1、R2、R3、R4及びR5のヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜10のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
脂環式基(L)を形成する化合物の具体例としては、下記の化合物が挙げられる。
また、R7の炭素数5〜30のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、メチルシクロペンチル基、エチルシクロペンチル基、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、エチルシクロヘキシル基、シクロオクチル基、メチルシクロオクチル基、エチルシクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、ビアダマンチル基、ジアダマンチル基などが挙げられる。
更に、ラクトン基、ケトン基、エーテル基、エステル基、チオエステル基としては、下記の基が挙げられる。
尚、式中、n、m、lは前記に同じ。
アルキルスルホニルオキシ基としては、メタンスルホニルオキシ基、エタンスルホニルオキシ基、n−プロパンスルホニルオキシ基、イソプロパンスルホニルオキシ基、n−ブタンスルホニルオキシ基、イソブタンスルホニルオキシ基、ペンタンスルホニルオキシ基、オクタンスルホニルオキシ基などが挙げられる。
ペルフルオロアルキルスルホニルオキシ基としては、トリフルオロメタンスルホニルオキシ基、ペルフルオロエタンスルホニルオキシ基、ペルフルオロプロパンスルホニルオキシ基、ペルフルオロブタンスルホニルオキシ基、ペルフルオロペンタンスルホニルオキシ基、ペルフルオロオクタンスルホニルオキシ基などが挙げられる。
アルキル置換フェニルスルホニルオキシ基としては、パラトルエンスルホニルオキシ基、4−エチルベンゼンスルホニルオキシ基、キシレンスルホニルオキシ基、2−メシチレンスルホニルオキシ基、4−ニトロフェニルスルホニルオキシ基、4−シアノフェニルスルホニルオキシ基、4−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ基、4−クロロメチルフェニルスルホニルオキシ基などが挙げられる。
尚、式中、R0は水素原子、フッ素原子、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基、を示し、Fはペルフルオロアルキルスルホニルオキシ基を示し、nは前記に同じ。
反応方法については、エーテル化反応を例に挙げると、反応温度は、通常−200〜200℃、好ましくは100〜150℃である。
反応温度が低すぎる場合、反応速度が低下し反応時間が長くなり、反応温度が高すぎる場合、重合体の副生が増加する。
反応圧力は、通常0.01〜10MPa(絶対圧力)、好ましくは常圧〜10MPaである。
反応圧力が高すぎる場合は、特別な装置が必要となり経済的でない。
反応時間は、通常1〜48時間である。
反応促進剤として、塩基を用いることができる。
塩基としては、ナトリウムアミド、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリオクチルアミン、ピリジン、N,N−ジメチルアニリン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]ノネン−5(DBN)、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7(DBU)、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水素化ナトリウム、炭酸カリウム、酸化銀、ナトリウムメトキシド、カリウム−t−ブトキシド、リン酸ナトリウム、リン酸−水素ナトリウム、リン酸二水素ナトリウムなどが挙げられる。
反応には、溶媒は用いなくてもよいが、溶媒に懸濁するか、特に溶媒に溶解して反応を行なうことが好ましい。
溶媒は、脱水したものが好ましい。
溶媒としては、例えば、ヘキサン、ヘプタンなどの炭化水素系溶媒、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン(THF)、ジオキサンなどのエーテル系溶媒、ジクロロメタン、四塩化炭素等のハロゲン系溶媒、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
反応生成物の精製方法としては、蒸留、晶析、カラム分離などが用いられ、反応生成物の性状と不純物の種類により精製方法が選択される。
一般式(1)又は(19)の重合性化合物と共重合させる重合性化合物としては、重合性不飽和結合を有し、該一般式(1)又は(19)の重合性化合物と共重合し得るものであればよく、特に制限はないが、得られる共重合体をフォトレジスト組成物の被膜形成成分として用いる場合には、その性能(ドライエッチング耐性能、短波長の光に対する透過性など)が損なわれない範囲で、共重合させる重合性化合物の種類や共重合量を選ぶことが肝要である。
この重量平均分子量が1,000未満では被膜形成性に劣る場合があるし、50万を超えるとフォトレジストに用いた場合の現像性が低下する原因となる。
被膜形成性及び現像性のバランスなどの面から、好ましい重量平均分子量は2,500〜5万の範囲である。
一般式(1)又は(19)の重合性化合物から得られる単独重合体又は共重合体を製造する場合の重合方法としては、特に制限はなく、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などの方法を適用することができる。
以下、各重合方法について説明する。
ラジカル重合においては、反応温度は、通常−100〜500℃、好ましくは0〜150℃の範囲で選定される。
反応温度が低すぎる場合は反応が円滑に進行しないおそれがあり、一方、反応温度が高すぎると連鎖移動により、分子量の小さい重合体となり易く、又開始剤効率が低下し、収率が低下する原因となる。
モノマー濃度としては、1×10-3モル/リットル以上が好ましく、このモノマー濃度が低すぎる場合には、反応が円滑に進行し難い。
反応溶媒は、必要に応じて用いることができる。
用いる反応溶媒としては、例えば、トルエンなどの炭化水素系溶媒や、メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶媒などが挙げられる。
重合開始剤は、必要に応じて用いることができる。
この重合開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリルなどのアゾ化合物、ベンゾイルペルオキシド、クメンヒドロペルオキシドなどの有機過酸化物、更には過酸化水素・トリエチルアルミニウムなどが挙げられる。
上記重合開始剤の使用量は、モノマーに対し、通常1×10-3〜1×103モル%、好ましくは1×10-1〜10モル%の範囲で選定される。
また、反応時間は、反応温度やモノマーの種類、その他の諸条件により左右されるが、通常数分〜48時間程度、好ましくは30分〜10時間程度である。
カチオン重合においては、反応温度は、通常−100〜200℃、好ましくは0〜100℃の範囲で選定される。
反応温度が低すぎる場合は反応が円滑に進行しないおそれがあり、一方、反応温度が高すぎると連鎖移動により、分子量の小さい重合体となり易いなどの問題が生じる。
モノマー濃度としては、1×10-3モル/リットル以上が好ましく、このモノマー濃度が低すぎる場合には、反応が円滑に進行し難い。
反応溶媒は、必要に応じて用いることができる。
用いる反応溶媒としては、例えば、トルエンなどの炭化水素系溶媒や、ジクロロメタンやクロロホルムなどのハロゲン化炭化水素系溶媒などが挙げられる。
また、触媒としては、例えば、p−トルエンスルホン酸、イオン交換樹脂、活性白土、ゼオライト、粘土、塩化アルミニウム、三フッ化ホウ素などを用いることができる。
上記触媒の使用量は、モノマーに対し、通常1×10-3〜1×103モル%、好ましくは1×10-1〜10モル%の範囲で選定される。
また、反応時間は、反応温度やモノマーの種類、その他の諸条件により左右されるが、通常数分〜48時間程度、好ましくは30分〜10時間程度である。
アニオン重合においては、反応温度は、通常−200〜300℃、好ましくは−100〜150℃の範囲で選定される。
反応温度が低すぎる場合は反応が円滑に進行しないおそれがあり、一方、反応温度が高すぎると連鎖移動により、分子量の小さい重合体となり易い。
モノマー濃度としては、1×10-3モル/リットル以上が好ましく、このモノマー濃度が低すぎる場合には、反応が円滑に進行し難い。
反応溶媒は、必要に応じて用いることができる。
用いる反応溶媒としては、例えば、トルエンなどの炭化水素系溶媒や、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒などが挙げられる。
また、重合開始剤としては、例えば、アルキルリチウム、アルキル亜鉛、カリウム−ケチルなどを用いることができる。
上記重合開始剤の使用量は、モノマーに対し、通常1×10-3〜1×103モル%、好ましくは1×10-1〜10モル%の範囲で選定される。
また、反応時間は、反応温度やモノマーの種類、その他の諸条件により左右されるが、通常数分〜48時間程度、好ましくは30分〜10時間程度である。
配位重合においては、反応温度は、通常−100〜200℃、好ましくは0〜100℃の範囲で選定される。
反応温度が低すぎる場合は反応が円滑に進行しないおそれがあり、一方、反応温度が高すぎると連鎖移動により、分子量の小さい重合体となり易く、また触媒が速く失活するなどの問題が生じる。
モノマー濃度としては、1×10-3モル/リットル以上が好ましく、このモノマー濃度が低すぎる場合には、反応が円滑に進行し難い。
反応溶媒は、必要に応じて用いることができる。
用いる反応溶媒としては、例えば、トルエン、シクロヘキサン、ヘプタンなどの炭化水素系溶媒や、ジクロロメタンやクロロホルムなどのハロゲン化炭化水素系溶媒などが挙げられる。
また、触媒としては、例えば、四塩化チタン、四塩化ジルコニウムなどと、メチルアルミノキサンなどのアルキルアルミニウム助触媒とを組み合わせたチーグラー・ナッタ触媒、ジルコノセンハライド、チタノセンハライドなどと、メチルアルミノキサなどのアルキルアルミニウム助触媒とを組み合わせたメタロセン触媒などが挙げられる。
上記触媒の使用量は、モノマーに対し、通常1×10-3〜1×103モル%、好ましくは1×10-1〜10モル%の範囲で選定される。
また、反応時間は、反応温度やモノマーの種類、その他の諸条件により左右されるが、通常数分〜48時間程度、好ましくは30分〜10時間程度である。
本発明の一般式(1)又は(19)の重合性化合物から得られる単独重合体又は共重合体は、分子内に脂環式構造を有し、ドライエッチング耐性能に優れており、遠紫外光などの短波長の光に対する透過性に優れることから、エキシマレーザー光用、特に、ArFエキシマレーザー光やF2エキシマレーザー光用などのフォトレジスト組成物の被膜形成成分として好適に用いることができる。
酸発生剤としては、例えば、オニウム塩、ジアゾメタン誘導体、グリオキシム誘導体、β−ケトスルホン誘導体、ジスルホン誘導体、ニトロベンジルスルホネート誘導体、スルホン酸エステル誘導体、イミド−イルスルホネート誘導体などが挙げられる。
ジアゾメタン誘導体としては、例えば、ビス(ベンゼンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(n−ブチルスルホニル)ジアゾメタンなどが、グリオキシム誘導体としては、例えば、ビス−O−(p−トルエンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシム、ビス−O−(p−トルエンスルホニル)−α−ジフェニルグリオキシム、ビス−O−(n−ブタンスルホニル)−α−ジメチルグリオキシムなどが、β−ケトスルホン誘導体としては、例えば、2−シクロヘキシルカルボニル−2−(p−トルエンスルホニル)プロパン、2−イソプロピルカルボニル−2−(p−トルエンスルホニル)プロパンなどが、ジスルホン誘導体としては、例えば、ジフェニルジスルホン、ジシクロヘキシルジスルホンなどが挙げられる。
これらの酸発生剤の中では、オニウム塩が好適である。
本発明においては、この酸発生剤は一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、その配合量については特に制限はないが、被膜形成成分と、後述の場合により加えられる溶解抑止剤と酸発生剤との合計量に基づき、通常0.2〜25質量%の範囲で選ばれる。
この酸発生剤の量が0.2質量%未満では感度が著しく低下して、パターン形成が困難になるおそれがあるし、25質量%を超えると均一な塗布膜の形成が困難になる上、現像後に残渣(スカム)が発生し易くなる。
本発明のフォトレジスト組成物には、場合により溶解抑止剤や酸拡散防止剤を含むことができる。
酸により分解する基としては、例えば、tert−ブチル基、エチル基、プロピル基などのアルキル基、ベンジル基、フェネチル基などのアラルキル基、又はテトラヒドロフラン−2−イル基、テトラヒドロピラン−2−イル基、4−メトキシテトラヒドロピラン−4−イル基、1−ブトキシエチル基、1−エトキシエチル基、1−プロポキシエチル基、3−オキソシクロヘキシル基などが挙げられる。
溶解抑止剤としては、特に、水素原子が上記の酸により分解する基で置換されたカルボキシル基又はヒドロキシル基を有するノルボルナンやアダマンタンなどの脂環式化合物が好ましい。
これらは、酸により分解後、それぞれ遊離のカルボキシル基又はヒドロキシル基を有する化合物に変換される。
本発明においては、この溶解抑止剤は一種用いてもよいし、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、その配合量は、被膜形成成分100質量部に対し、通常2〜60質量部の範囲で選ばれる。
この量が2質量部未満では溶解抑止効果が十分に発揮されず、パターン形成が困難になるおそれがあるし、60質量部を超えると被膜形成成分の比率が低くなり、レジストパターンの耐熱性や耐エッチング性などが低下し、好ましくない。
パターン形成性及びレジストパターンの耐熱性や耐エッチング性などを考慮すると、この溶解抑止剤の好ましい配合量は、10〜50質量部の範囲である。
酸拡散防止剤は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、その配合量は、レジストパターン形状及び感度などの点から、被膜形成成分に対して、通常0.01〜1質量%、好ましくは0.05〜0.5質量%の範囲である。
溶剤の例としては、モノクロロベンゼン、エチレンジクロリドなどのハロゲン化炭化水素類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソアミルケトンなどのケトン類;エチレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコール又はジプロピレングリコールモノアセテートのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル又はモノフェニルエーテルなどの多価アルコール類及びその誘導体;ジオキサンのような環式エーテル類;及び乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチルなどのエステル類を挙げることができる。
これらは一種を単独で用いてもよいし、二種以上混合して用いてもよい。
本発明のフォトレジスト組成物には、さらに所望により混和性のある添加物、例えば、レジスト膜の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、安定剤、着色剤、界面活性剤などの慣用されているものを添加含有させることができる。
3−[(2,6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
50mLの3口ナスフラスコに、撹拌装置、冷却管、空気吹き込み管を取り付け、ここに、3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート3.15g(10mmol)、5−ヒドロキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン12.33g(80mmol)、トリ−n−ブチルアミン2.22g(12mmol)、メトキノン3mg(1000質量ppm)を加え、撹拌しながら120℃に昇温した。
120℃に保ったまま2時間撹拌後、ガスクロマトグラフィ(GC)を用いて、3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレートが完全に消失していることを確認した。
次に、反応溶液を室温まで冷却後、蒸留水40mL、ジエチルエーテル30mLを加え、分液漏斗を用いて、目的物を有機層に抽出した。
この有機層に、蒸留水30mLを加え、有機層を2回洗浄し、続いて有機層に1モル/L塩酸20mLを加え、有機層を洗浄した。
次に、有機層に飽和食塩水20mLを加え、有機層を2回洗浄後、無水硫酸マグネシウムを加え、2時間乾燥した。
有機層をろ過し、硫酸マグネシウムを除去後、減圧下溶媒を留去して、粗目的物(収量3.25g、純度91.7%)を得た。
このものに、メタノール3mLを加えて均一に溶解後、蒸留水を0.1mL加えて0℃に冷却したところ、結晶が析出した。
この結晶をろ過により取り出し、冷却した蒸留水で洗浄後、減圧下溶媒を除去したところ、白色固体の目的物(収量2.36g、純度99.8%)を得た。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(1H,s1or s2),1.36-1.54(8H),1.55(1H,s1or s2),1.57(1H),1.63(1H,o1 or o2)1.66(1H),1.73(1H),1.76(1H,n),1.88(1H,o1 or o2),1.93(3H,b),2.04(1H),2.26(1H,p),2.66(1H,q),3.37(1H,m),4.22(1H,r),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),27.2(o),30.9(q),33.5(s),38.1(i),41.6(n),42.4(f or k),43.4(f or k),46.3(j),46.8(p),62.5(l),74.6(m),75.4(e),85.5(r),125.2(a),136.1(c),167.2(d),178.9(t)
[ガスクロマトグラフ−質量分析(GC−MS):EI]
372(M+,3.5%),286(12.8%),219(48.3%),133(18.2%),81(16.8%),69(100%)
3−[(2−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
50mLの3口ナスフラスコに、撹拌装置、冷却管、空気吹き込み管を取り付け、ここに、3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート3.15g(10mmol)、α−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン20.41g(200mmol)、リン酸一水素ナトリウム1.42g(10mmol)、メトキノン3mg(1000質量ppm)を加え、撹拌しながら60℃に昇温した。
60℃に保ったまま4時間撹拌後、ガスクロマトグラフィ(GC)を用いて、3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレートが完全に消失していることを確認した。
次に、反応溶液を室温まで冷却後、蒸留水20mL、ジエチルエーテル30mLを加え、分液漏斗を用いて、目的物を有機層に抽出した。
この有機層に、蒸留水30mLを加え、有機層を2回洗浄後、有機層に飽和食塩水20mLを加え、有機層を2回洗浄した。
次に、有機層に無水硫酸マグネシウムを加え、2時間乾燥した。
有機層をろ過し、硫酸マグネシウムを除去後、減圧下溶媒を留去して、粗目的物(収量2.17g、純度78.1%)を得た。
このものに、ジエチルエーテル2mLを加えて均一に溶解後、n−へキサンを5mL加えて0℃に冷却したところ、結晶が析出した。
この結晶をろ過により取り出し、冷却したn−へキサンで洗浄後、減圧下溶媒を除去したところ、白色固体の目的物(収量1.45g、純度98.2%)を得た。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.73(13H),1.93(3H,b),2.04(1H),2.11(1H,p1 or p2),2.36(1H,p1 or p2),3.65(1H,m),4.25(1H,o1 or o2),4.35(1H,o1 or o2),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),23.9(p),38.1(i),42.4(f or k),43.4(f or k),46.0(j),61.6(l),65.0(o),75.4(e),85.8(m),125.2(a),136.1(c),167.2(d),173.7(n)
[ガスクロマトグラフ−質量分析(GC−MS):EI]
320(M+,1.0%),234(42.3%),219(25.8%),133(21.9%),91(7.3%),69(100%)
3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート30g(0.095mol)、乳酸エチル168.34g(1.425mol)、トリエチルアミン19.24g(0.190mol)、重合禁止剤500質量ppmを500mLフラスコに入れ、120℃で10時間反応させた。
次に、反応液を室温まで冷却し、水、ヘキサンを加えてヘキサン抽出を行なった後、200mLの水で3回洗浄した。
更に、仕込んだ3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレートに対して10質量%の活性炭を加え、1時間撹拌後、活性炭を除き、溶媒を除去したところ、目的物(収量20.27g、純度98.0%)を得た。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(3H,q),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),4.12(2H,p),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),14.1(q),17.1(n),21.3(g or h),23.3(g or h),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),125.2(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
[ガスクロマトグラフ−質量分析(GC−MS):EI]
292(M+−C2H4,0.41%),263(9.8%),219(82.1%),133(22.3%),91(6.3%),69(100%)
3−(2−tert−ブチロキシ−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート3.95g(0.0125mol)、グリコール酸−t−ブチル25g(0.1875mol)、トリエチルアミン2.55g(0.025mol)、重合禁止剤500質量ppmを100mLフラスコに入れ、120℃で8時間反応させた。
次に、反応液を室温まで冷却し、水、ヘキサンを加えてヘキサン抽出を行なった後、50mLの水で3回洗浄した。
更に、ヘキサン抽出物について、カラムクロマト分離(展開溶媒:n−ヘキサン/ジエチルエーテル=8/1、シリカゲル量:39.5g量使用)を行なったところ、目的物(収量1.67g、純度99.0%)を得た。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.36(3H),1.40(9H,p & q & r),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),4.33(2H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),28.8(p & q & r),38.1(i),42.4(f or k),42.8(f or k),45.7(j),62.8(l),64.0(m),75.4(e),82.1(o),125.2(a),136.1(c),167.2(d),169.3(n)
[ガスクロマトグラフ−質量分析(GC−MS):EI]
306(M+−C3H8,0.24%),294(0.15%),277(1.2%),219(73.4%),134(55.4%),69(100%)
モノマーとして、実施例1で得られた、3−[(2,6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレート9.31g(25mmol)とアダマンテートMM(出光興産株式会社製)5.86g(25mmol)をテトラヒドロフラン(THF)30mLに溶解し、アゾビスブチロニトリル(AIBN)0.82g(5mmol)を重合開始剤として加えた。
窒素雰囲気下、液体窒素温度で3回凍結脱気を行ない、窒素雰囲気下、60℃で12時間反応させた。
反応液にメタノール2mlを加えて反応を停止後、これを撹拌しながらメタノール300mL中に滴下して再沈殿を行なった。
ガラスフィルターでろ過し、固形分を60℃で3日間真空乾燥したところ、重合物12.93gが得られた。
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC法)により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は12,500、Mw/Mnは2.4であった。
2−{[3-(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル)オキシ]プロパン酸の合成
滴下ロート、攪拌羽根、温度計を取り付けた300mLの邪魔板付きセパラブルフラスコにメタノール80g、水40g、炭酸カリウム16.4g(0.12mol)を仕込み、撹拌しながら、液温が50℃になるよう加熱した。滴下ロートに、実施例3で得られた3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレート20g(0.06mol)を入れ、滴下した。滴下終了後、4時間反応させた。反応液に水を200ml加え、水層に1モル/Lの塩酸を加え、pHを4に調整した。その後、エーテルで抽出した。エーテル層を硫酸マグネシウムで乾燥し、ろ過後、濃縮を行った。濃縮後、目的物が白色固体として得られた(収率83%)。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(t−ブチロキシ)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
滴下ロート、攪拌羽根、温度計を付した1Lの3つ口フラスコに、t−ブタノール5.26g(0.071mol)、ジメチルアミノピリジン0.79g(0.0065mol)、実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸20g(0.065mol)及びヘキサン100mlを仕込んだ。その後、ヘキサン170mlに溶解させたジシクロヘキシルカルボジイミド(DCC)14.65g(0.071mol)を滴下した。8時間反応終了後、反応液に水を加え、有機層を抽出する。抽出した有機層を100mlの水で5回水洗した。その後、有機層を濃縮することにより、目的物が透明液体として得られた(収率76%)。
[核磁気共鳴分光法(NMR):溶媒CDCl3]
1H−NMR(500MHz):1.24-1.36(3H),1.39(3H,n),1.40(9H,p),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),28.8(p),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),82.4(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−メチル−2−シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールをメチルシクロヘキサノール8.11g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率74%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b),19.5(t),21.3(g or h),23.3(g or h),24.1(p),28.3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル−2−シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールをエチルシクロヘキサノール9.10g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率76%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):5.9(q),17.1(q),17.1(n),18.0(b),19.5(t),21.3(g or h),23.3(g or h),24.1(p),28.3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−[2−[(シクロヘキシルオキシ)メトキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
滴下ロート、攪拌羽根、温度計を付した1Lの3つ口フラスコにトリエチルアミン7.24g(0.072mol)、実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸20g(0.065mol)及び酢酸エチル100mlを仕込んだ。その後、酢酸エチル10mlに溶解させた2−(クロロメトキシ)シクロヘキサン10.7g(0.072mol)を氷浴下で滴下した。2時間反応させた後、反応液に水を加え有機層を抽出した。有機層を100mlの水で3回洗浄し、有機層を濃縮することにより、目的物が透明液体として得られた(収率82%)。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39-1.73(20H),1.93(3H,b),2.04(1H),2.79(1H,r),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1),6.16(2H,q)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),22.1(t),23.3(g or h),28.3(u),34.0(s),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),78.5(r),91.2(q),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル−2−シクロペンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールをエチルシクロペンタノール8.11g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率90%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.84(18H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):5.9(q),17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),22.2(t),23.3(g or h),28.3(u),31.6(p),38.1(i),39.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−メチル−2−アダマンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールを2−メチルアダマンタン−2−オール11.80g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明粘性液体で、収率65%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.18(5H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39-1.91(23H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(n),18.0(b),19.4(q),21.3(g or h)22.2(t),23.3(g or h),28.3(u),29.3(s,y,v or w),31.5(t or v),31.6(p),37.8(u),38.1(i),39.6(s),40.0(r or x),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル−2−アダマンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールを2−エチルアダマンタン−2−オール12.80g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明粘性液体で、収率60%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,A),1.18(5H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39-1.91(23H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):6.5(A),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h)22.2(t),23.3(g or h),27.2(q),28.3(u),29.3(s,y,v or w),31.5(t or v),31.6(p),37.8(u),38.1(i),39.6(s),40.0(r or x),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−[2−[(シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールをシクロヘキサノール7.11g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率80%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.36(3H),1.39(5H,n and r),1.40(9H,p),1.42-1.80(18H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),3.91(1H,p),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),22.0(r),23.3(g or h),28.0(s),32.2(q),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e),75.8(p),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−[2−[(1,7,7−トリメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−イル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールをボルネオール10.95g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明粘性液体で、収率75%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.11(6H,x and y),1.16(3H,v),1.24-1.87(19H),1.93(3H,b),3.85(1H,m),3.89(1H,p),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):13.5(v),17.1(n), 18.0(b),19.5(x and y),21.3(g or h),22.0(r),23.3(g or h),23.3(s),30.2(t),32.5(q),32.2(q),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),45.4(r),46.0(j),49.5(u),50.6(w),62.3(l),70.9(m),75.4(e),82.4(p),125(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)
3−[1−メチル−2−オキソ−2−[(2−オキソヘキサヒドロ−2H−3,5−メタノシクロペンタ[b]フラン−6−イル)オキシ]エトキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
t−ブタノールを5−ヒドロキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン10.95g(0.071mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。実施例2と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収率62%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.73(13H),1.93(3H,b),2.04(1H),2.31(1H,p1 or p2),2.56(1H,p1 or p2 ),3.45(1H,m),4.30(1H,o1 or o2),4.55(1H,o1 or o2 ),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),38.1(i),40.5(p),42.4(f or k),43.4(f or k),46.3(j),59.6(m),61.6(l),75.4(e),75.6(o),125.2(a),136.1(c),167.2(d),176.1(n)
3−[(5−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
α−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトンをβ−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトンに、反応温度を120℃に変更した以外は、実施例2と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、粗目的物を収量2.20g、純度85.1%で得た。次に実施例2と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収量1.85g、純度98.7%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.73(13H),1.93(3H,b),2.04(1H),2.31(1H,p1 or p2),2.56(1H,p1 or p2),3.45(1H,m),4.30(1H,o1 or o2),4.55(1H,o1 or o2 ),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),38.1(i),40.5(p),42.4(f or k),43.4(f or k),46.3(j),59.6(m),61.6(l),75.4(e),75.6(o),125.2(a),136.1(c),167.2(d),176.1(n)
3−[2−[(2−オキソヘキサヒドロ−2H−3,5−メタノシクロペンタ[b]フラン-6-イル)オキシ]エトキシ]−1−アダマンチルメタクリレートの合成
50mLの4口ナスフラスコに滴下ロート、撹拌装置、冷却管、空気吹き込み管を取り付け、ここに3-(2-ヒドロキシエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)2.80g(10mmol)、トリエチルアミン1.21g、メトキノン3mg(1000ppm質量)、THF20mLを加え、撹拌しながら氷浴で0℃に冷却した。反応器にメタンスルホニルクロライド1.26g(11mmol)を5分間かけて滴下した。滴下終了から10分後に氷浴をはずし、室温にて30分間撹拌した。滴下ロートと冷却管を取り外し、減圧下でTHFを留去した。反応器に冷却管を取り付け、5−ヒドロキシ−2,6−ノルボルナンカルボラクトン12.33g(80mmol)、トリ−n−ブチルアミン2.22g(12mmol)を加え、撹拌しながら120℃に昇温した。120℃に保ったまま4時間撹拌後、ガスクロマトグラフィにて3−(2−ヒドロキシエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレートが完全に消失していることを確認した。次に、実施例1と同様にして抽出及び洗浄を行い、収量3.12g、純度85.5%で粗目的物を得た。このものに、メタノール3mLを加え均一に溶解後、蒸留水を0.1mL加えて0℃に冷却したところ、結晶が析出した。この結晶をろ過により取り出し、冷却した蒸留水で洗浄後、減圧下溶媒を除去したところ、白色固体の目的物(収量1.68g、純度98.3%)を得た。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.90(19H,e-1,p,q,r),1.93(3H,b),2.03(1H,q),2.26(1H,s),2.66(1H,t),3.37(1H,o)3.54(2H,m,n),4.22(1H,u),5.58(1H,a2), 6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):18.0(b),21.3(g or h),23.3(g or h),27.2(r),30.9(t),33.5(p),38.1(i),41.0(q),42.4(f or k),43.4(f or k),46.3(j),46.8(s),64.4(l),66.4(m),69.2(n),75.4(e),79.0(o),84.9(u),125.2(a),136.1(c),167.2(d),178.9(v)
3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルアクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)を3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルアクリレート(出光興産製)28.54g(0.095mol)に変更した以外は、実施例3と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、収率86%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(3H,q),1.36(3H),1.39(5H,n and r),1.40(9H,p),1.42-1.80(18H),2.04(1H),3.85(1H,m),3.91(1H,p),4.12(2H,p),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):14.1(q),17.1(n),21.3(g or h),22.0(r),23.3(g or h),28.0(s),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),61.6(p),62.3(l),70.9(m),75.4(e),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸の合成
実施例3で得られた3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレートを実施例19で得られた3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルアクリレート19.34g(0.060mol)に変更した以外は、実施例6と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は収率82%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.73(10H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),21.3(g or h),23.3(g or h),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(t−ブチロキシ)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例7と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率65%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.36(3H),1.39(3H,n),1.40(9H,p),1.42-1.73(10H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),21.3(g or h),23.3(g or h),28.8(p),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),82.4(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−メチル−2−シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例8と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率60%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),19.5(t),21.3(g or h),23.3(g or h),24.1(p),28.3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル-2-シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例9と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は透明液体で、収率63%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):5.9(q),17.1(q),17.1(n),19.5(t),21.3(g or h),23.3(g or h),24.1(p),28.3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(シクロヘキシルオキシ)メトキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例10と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は収率60%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39-1.73(20H),2.04(1H),2.79(1H,r),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1),6.05(1H,c), 6.16(2H,q)
13C−NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(g or h),22.1(t),23.3(g or h),28.3(u),,34.0(s),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),78.5(r),91.2(q),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル-2-シクロペンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例11と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、透明液体で、収率80%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24-1.30(2H),1.36(1H),1.39(3H,n),1.42-1.84(18H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):5.9(q),17.1(q),17.1(n),21.3(g or h)22.2(t),23.3(g or h),28.3(u),31.6(p),38.1(i),39.6(s),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−メチル-2-アダマンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例12と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、透明液体で、収率55%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.18(5H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39〜1.91(23H),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(n),19.4(q),21.3(g or h),22.2(t),23.3(g or h),28.3(u),29.3(s, y,v or w),31.5(t or v),31.6(p),37.8(u),38.1(i),39.6(s),40.0(r or x),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),,70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(2−エチル−2−アダマンチル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例13と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、透明液体で、収率80%で得られた。
1H−NMR(500MHz):0.96(3H,A),1.18(5H),1.36(1H),1.38(3H,n),1.39-1.91(23H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):6.5(A),17.1(n),21.3(g or h),22.2(t),23.3(g or h),27.2(q),28.3(u),29.3(s, y,v or w),31.5(t or v),31.6(p),37.8(u),38.1(i),39.6(s),40.0(r or x),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−[2−[(シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ]−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例14と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、透明粘性液体で、収率86%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.36(3H),1.39(5H,n and r),1.40(9H,p),1.42-1.80(18H),2.04(1H),3.85(1H,m),3.91(1H,p),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(n),21.3(g or h),22.0(r),23.3(g or h),28.0(s),32.2(q),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e),75.8(p),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−{2−[(1,7,7−トリメチルビシクロ[2.2.1]ヘフ゜タ−2−イル]オキシ)−1−メチル−2−オキソエトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例15と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。目的物は、透明粘性液体で、収率76%で得られた。
1H−NMR(500MHz):1.11(6H,x and y),1.16(3H,v),1.24-1.87(19H),1.93(3H,b),3.85(1H,m),3.89(1H,p),5.58(1H,a2),6.05(1H,c),6.15(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):13.5(v),17.1(n),18.0(b),19.5(x and y),21.3(g or h),22.0(r),23.3(g or h),23.3(s),30.2(t),32.5(q),32.2(q),38.1(i),42.4(f or k),43.1(f or k),45.4(r),46.0(j),49.5(u),50.6(w),62.3(l),70.9(m),75.4(e),82.4(p),125(a),283.3(c),167.2(d),170.9(o)
3−[1−メチル−2−オキソ−2−[(2−オキソヘキサヒドロ−2H−3,5−メタノシクロペンタ[b]フラン−6−イル)オキシ]エトキシ]−1−アダマンチルアクリレートの合成
実施例6で得られた2−{[3−(メタクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸を実施例20で得られた2−{[3−(アクリロイルオキシ)−1−アダマンチル]オキシ}プロパン酸19.13g(0.065mol)に変更した以外は、実施例16と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、目的物を得た。白色固体の目的物を収率58%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.88(21H,d-k,m,q,v),2.03(1H,p),2.26(1H,r),2.66(1H,s),3.85(1H,l),4.49(1H,o or t), 4.50(1H,o or t),6.05(1H,b),5.80(1H,a2)6.43(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):17.1(m),21.3(f or g),23.3(f or g),27.1(q),30.8(s),33.4(v),38.1(h),39.9(p),42.4(e or j),43.1(e or j),46.0(i),46.5(r),61.3(k),71.2(l),75.1(d),81.6(o),83.8(t),128.3(b),130.2(a),166.5(c),170.9(n),178.9(u)
3−[(2,6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イル)オキシ]−1−アダマンチルアクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)を3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルアクリレート(出光興産製)3.00g(10mmol)に変更した以外は、実施例1と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、粗目的物を収量3.02g、純度92.5%で得た。実施例1と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収量1.72g、純度99.7%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24〜1.88(19H,d-k,m,n,r),2.26(1H,o),2.66(1H,p),3.37(1H,l),4.22(1H,q),5.80(1H,a2),6.05(1H,b),6.43(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):21.3(f or g),23.3(f or g),27.2(n),30.9(p),33.5(r),38.1(h),41.0(q),41.6(m),42.4(e or j),43.4(e or j),46.3(i),46.8(o),62.5(k),74.6(l),75.1(d),79.0(o),84.9(u),128.3(b),130.2(a),166.5(c),178.9(s)
3−[(2−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシ]−1−アダマンチルアクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)を3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルアクリレート(出光興産製)3.00g(10mmol)に変更した以外は、実施例2と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、粗目的物を収量2.01g、純度80.9%で得た。実施例2と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収量1.42g、純度98.9%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.88(14H,d-k),2.11(1H,o1 or o2),2.36(1H,o1 or o2),3.65(1H,l),4.25(1H, n1 or n2),4.35(1H,n1 or n2),5.80(1H a2),6.05(1H,b),6.43(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):21.3(f or g),23.3(f or g),23.9(o),38.1(h),42.4(e or j),43.1(e or j),46.0(i),61.6(k),65.0(n),75.1(d),85.8(l),128.3(b),130.2(a),166.5(c),173.7(m)
3−[(5−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシ]−1−アダマンチルアクリレートの合成
3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)を3−メタンスルホニルオキシ−1−アダマンチルアクリレート(出光興産製)3.00g(10mmol)に変更した以外は、実施例17と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、粗目的物を収量2.01g、純度80.9%で得た。実施例2と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収量1.57g、純度99.4%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.88(14H,d-k),2.31(1H,n1 or n2),2.56(1H,n1 or n2),3.45(1H,l),4.30(1H,o1 or o2),4.55(1H,o1 or o2),5.80(1H,a2),6.05(1H,b),6.43(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):21.3(f or g),23.3(f or g),38.1(h),40.5(n),42.4(e or j),43.4(e or j),46.3(i),59.6(l),61.6(k),75.1(d),75.6(o),128.3(b),130.2(a),166.5(c),176.1(m)
3−{2−[(2−オキソヘキサヒドロ−2H−3,5−メタノシクロペンタ[b]フラン−6−イル)オキシ]エトキシ}−1−アダマンチルアクリレートの合成
3−(2−ヒドロキシエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレート(出光興産製)を3−(1−ヒドロキシエトキシ)−1−アダマンチルアクリレート(出光興産製)2.66g(10mmol)に変更した以外は、実施例18と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施し、粗目的物を収量3.15g、純度89.9%で得た。実施例18と同様に晶析を行い、白色固体の目的物を収量1.72%、純度99.7%で得た。
1H−NMR(500MHz):1.24-1.89(19H,d-k,o,p,u),2.26(1H,q),2.66(1H,r),3.37(1H,n),3.54(1H,l or m),3.55(1H,l or m),6.05(1H,b),5.80(a2),6.43(1H,a1)
13C−NMR(127MHz):21.3(f or g),23.3(f or g),27.2(p),30.9(r),33.5(u),38.1(h),41.0(o),42.4(e or j),43.1(e or j),46.0(i),46.8(q),64.4(k),66.4(l),69.2(m),75.1(d),79.0(n),84.9(s),128.3(b),130.2(a),166.5(c),178.9(t)
モノマーを実施例1で得られた3−[(2,6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレートから実施例9で得られた3−{2−[(2−エチル−2−シクロヘキシル)オキシ]−1−メチル-2-オキソエトキシ}−1−アダマンチルメタクリレート10.46g(25mmol)に変更した以外は、実施例5と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は12.65g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は10,300、Mw/Mnは2.6であった。
モノマーをアダマンテートHM(出光興産製)から2−オキソテトラヒドロフラン−3−イルメタクリレート4.25g(25mmol)に変更した以外は、実施例5と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は8.21g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は9,800、Mw/Mnは2.3であった。
モノマーとして実施例1で得られた3−[(2、6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イル)オキシ]−1−アダマンチルメタクリレート18.62g(50mmol)を2−ブタノン200mLに溶解し、V601(和光純薬製)1.15g(5mmol)を重合開始剤として加えた。窒素雰囲気下、液体窒素温度で3回凍結脱気を行い、窒素雰囲気下、還流条件で6時間反応させた。反応液にメタノール20mLを加えて反応停止後、これを撹拌しながら、メタノール3,000L中に撹拌しながら滴下して再沈殿を行なった。ガラスフィルターでろ過し、固形分を60℃で3日間乾燥したところ、重合物を14.59g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は11,300、Mw/Mnは3.8であった。
モノマーを実施例3で得られた3−(2−エトキシ−1−メチル−2−オキソエトキシ)−1−アダマンチルメタクリレート16.82g(50mmol)に変更した以外は、実施例37と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は14.65g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は10,300、Mw/Mnは2.6であった。
モノマーを実施例14で得られた3−[2−[(シクロヒキシル)オキシ]−1−メチル−2−オキソエトキシ]−1−アダマンチルメタクリレート19.52g(50mmol)に変更した以外は、実施例37と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は12.65g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は13,200、Mw/Mnは3.1であった。
モノマーを2−オキソテトラヒドロフラン−3−イルメタクリレート8.50g(50mmol)に変更した以外は、実施例37と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は6.57g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は8,600、Mw/Mnは2.4であった。
モノマーを2、6−ノルボルナンカルボラクトン−5−イルメタクリレート11.11g(50mmol)に変更した以外は、実施例37と同様の装置、試薬量、反応条件で同様の操作を実施したところ、重合物は9.85g得られた。GPC法により分子量を測定したところ、ポリスチレン換算分子量は12,300、Mw/Mnは2.7であった。
実施例37と比較例1及び比較例2で得られたポリマー各4.2gを1,4−ジオキサン23.8g及びγ−ブチロラクトン7gに溶解させた。その溶液を2インチのシリコンウェハにスピンコートし、それぞれ膜厚(初期膜厚)を測長走査型電子顕微鏡(CD−SEM)により確認した。表1に膜厚を示す。そのウェハを反応性イオンエッチング(RIE)処理した。RIE条件としては、CF4とH2ガスを用いて、200W、10MPaで30分間で実施した。RIE処理後の膜厚(処理後膜厚)をCD−SEMに確認した。表1に膜厚を示す。
膜厚の減少量をRIE処理時間で割ることでエッチングレートを算出した。その結果、実施例37で得られたポリマーのエッチング速度が最も優れていることが分かった。
Claims (9)
- 一般式(19)で表される脂環式構造、重合性基及び末端基を有することを特徴とする重合性化合物。
で表わされる基を示し、複数のAは同じでもよく、異なっていてもよい。K1及びK2は、式(5)、(6)、(7)及び(8)
で表わされる基から選ばれる連結基を示し、複数のK1及びK2は同じでもよく、異なっていてもよい。Lは、一般式(10)
で表わされる基を示す。Zは、式(17)及び(18)
で表わされる基から選ばれる末端基を示す。複数のZは同じでもよく、異なっていてもよい。a及びbは1以上の整数、c及びdはそれぞれ1を示す。 - 一般式(19)において、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、kは0である。)である請求項1に記載の重合性化合物。
- 一般式(19)において、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、lは0である。)である請求項1に記載の重合性化合物。
- 一般式(19)において、K1の少なくとも1つが一般式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基である請求項3に記載の重合性化合物。
- 一般式(19)において、K1の少なくとも1つが式(5)で表わされる基(但し、X1及びX2は酸素原子を示し、kは0である。)であり、K2の少なくとも1つが式(7)で表わされる基(但し、X2は酸素原子を示し、lは0である。)である請求項4に記載の重合性化合物。
- 一般式(19)で表される脂環式構造、重合性基及び末端基を有することを特徴とする重合性化合物。
で表わされる基を示し、複数のAは同じでもよく、異なっていてもよい。K 1 及びK 2 は、式(5)、(6)、(7)及び(8)
で表わされる基から選ばれる連結基を示し、複数のK 1 及びK 2 は同じでもよく、異なっていてもよい。Lは、一般式(10)
で表わされる基を示す。Zは、式(17)及び(18)
で表わされる基から選ばれる末端基を示す。複数のZは同じでもよく、異なっていてもよい。a及びbは1以上の整数、c及びdは1〜15の整数を示し、c+d≦16である。] - 下記式(i)〜(xiv)のいずれかで表される請求項1〜6のいずれかに記載の重合性化合物。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の重合性化合物を構成成分とすることを特徴とする重合体。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の重合性化合物を構成成分とする重合体を含有することを特徴とするフォトレジスト組成物。
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