JP5193300B2 - 静電容量検出型の可動センサ - Google Patents
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Description
第1の可動部および第2の可動部と、前記両可動部のそれぞれに回動自在に連結されたリンク部とを有し、前記リンク部は、前記第1の可動部との連結部と前記第2の可動部との連結部の間に支点が設定されて、前記リンク部が前記支点を中心に回動したときに、前記第1の可動部と前記第2の可動部の一方が固定部に接近し他方が前記固定部から離れるように動作可能であり、
前記第1の可動部に第1の可動電極が前記第2の可動部に第2の可動電極が、それぞれの可動部の同じ方向に向く面に設けられ、前記固定部には、前記第1の可動電極に対向する第1の固定電極と、前記第2の可動電極に対向する第2の固定電極とが設けられていることを特徴とするものである。
前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部の、いずれか一方が前方(X1)に位置し、他方が後方(X2)に位置し、
前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記右側支点を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置し、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記左側支点を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記第1の右側支持部と前記第1の左側支持部が前記固定部に固定されているものとして構成できる。
左外側支持リンク部が前記第1の左側支持部と前記第1の可動部とに回動自在に連結され、前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置していることが好ましい。
右内側支持リンク部が前記第2の右側支持部と前記第2の可動部とに回動自在に連結され、前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
左内側支持リンク部が前記第2の左側支持部と前記第2の可動部とに回動自在に連結され、前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置していることが好ましい。
前記右外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記リンク間連結部を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記リンク間連結部を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記右外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部と、前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前後逆側に位置しているものとして構成できる。
前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記内側リンク間連結部を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記内側リンク間連結部を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部と、前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前後逆側に位置しているものが好ましい。
また、本発明の可動センサは、きわめて小型で薄型に構成できる。
図8の検出回路60では、第1の固定電極51と、第1の可動部2の表面2aに設けられた第1の可動電極とで構成される可変コンデンサーをCaで示し、第2の固定電極52と、第2の可動部4の表面4aに設けられた第2の可動電極とで構成される可変コンデンサーをCbで示している。
2 第1の可動部
4 第2の可動部
10a 右側連結リンク部
10b 左側連結リンク部
14a,14b,15a,15b 連結部
16a,16b 支点連結部
17a 第1の右側支持部
17b 第1の左側支持部
20a 右外側支持リンク部
20b 左外側支持リンク部
21a 第2の右側支持部
21b 第2の左側支持部
22a,22b 支点連結部
23a,23b 連結部
24a,24b リンク間連結部
30a 右内側支持リンク部
30b 左内側支持リンク部
31a 第3の右側支持部
31b 第3の左側支持部
32a,32b 支点連結部
33a,33b 連結部
50 固定部
51 第1の固定電極
52 第2の固定電極
132a,132b 支点連結部
222a,222b 支点連結部
231a 第2の右側支持部
231b 第2の左側支持部
332a,332b 内側リンク間連結部
Claims (15)
- 可動部と固定部に互いに対向する電極が設けられ、前記可動部が前記固定部と接近しまたは離反する際の前記電極間の静電容量の変化を検出する可動センサにおいて、
第1の可動部および第2の可動部と、前記両可動部のそれぞれに回動自在に連結されたリンク部とを有し、前記リンク部は、前記第1の可動部との連結部と前記第2の可動部との連結部の間に支点が設定されて、前記リンク部が前記支点を中心に回動したときに、前記第1の可動部と前記第2の可動部の一方が固定部に接近し他方が前記固定部から離れるように動作可能であり、
前記第1の可動部に第1の可動電極が前記第2の可動部に第2の可動電極が、それぞれの可動部の同じ方向に向く面に設けられ、前記固定部には、前記第1の可動電極に対向する第1の固定電極と、前記第2の可動電極に対向する第2の固定電極とが設けられていることを特徴とする可動センサ。 - 前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との間の静電容量の変化と、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との間の静電容量の変化の差を求める検出回路を有する請求項1記載の可動センサ。
- 前記第1の可動部の質量と前記第2の可動部の質量のいずれか一方が他方よりも大きく、質量の大きい前記可動部が外部から与えられる加速度に反応して移動し、このとき質量の小さい前記可動部が質量の大きい前記可動部と逆向きに移動する請求項1または2記載の可動センサ。
- 前記第1の可動部と前記第2の可動部とが同じ厚みを有し、前記第1の可動部と前記第2の可動部の表面どうしと裏面どうしが同一面となったときに、前記リンク部、ならびに前記リンク部を回動自在に支持する支持部が、前記表面と前記裏面との厚みの範囲内に収まる請求項1ないし3のいずれかに記載の可動センサ。
- 前記第1の可動部と前記第2の可動部と前記リンク部および前記支持部が、同じ板材から切り出されている請求項4記載の可動センサ。
- 前記第1の可動部と前記リンク部との連結部、前記第2の可動部と前記リンク部との連結部、および前記リンク部と前記支持部との前記支点での連結部は、それぞれの部材間が前記板材の一部で形成したトーションバーを介して回動自在に連結されている請求項5記載の可動センサ。
- 前記第1の可動部と前記第2の可動部が導電性材料で形成され、前記第1の可動部自体が前記第1の可動電極として機能し、前記第2の可動部自体が前記第2の可動電極として機能する請求項1ないし6のいずれかに記載の可動センサ。
- 前記リンク部として、左右方向(Y)に間隔を空けて前後方向(X)に延びる右側連結リンク部と左側連結リンク部とが設けられ、前記右側連結リンク部は右側支点を介して第1の右側支持部に回動自在に支持され、前記左側連結リンク部は左側支点を介して第1の左側支持部に回動自在に支持されており、
前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部の、いずれか一方が前方(X1)に位置し、他方が後方(X2)に位置し、
前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記右側支点を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置し、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記左側支点を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記第1の右側支持部と前記第1の左側支持部が前記固定部に固定されている請求項1ないし7のいずれかに記載の可動センサ。 - 右外側支持リンク部が前記第1の右側支持部と前記第1の可動部とに回動自在に連結され、前記右外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
左外側支持リンク部が前記第1の左側支持部と前記第1の可動部とに回動自在に連結され、前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置している請求項8記載の可動センサ。 - 第2の右側支持部と第2の左側支持部とが設けられ、
右内側支持リンク部が前記第2の右側支持部と前記第2の可動部とに回動自在に連結され、前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
左内側支持リンク部が前記第2の左側支持部と前記第2の可動部とに回動自在に連結され、前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置している請求項8または9記載の可動センサ。 - 前記第1の右側支持部と前記第1の左側支持部とが、左右方向(Y)に延びる同一線上に配置されている請求項8または9記載の可動センサ。
- 前記第1の右側支持部と前記第1の左側支持部、および前記第2の右側支持部と前記第2の左側支持部とが、左右方向(Y)に延びる同一線上に配置されている請求項10記載の可動センサ。
- 右外側支持リンク部がリンク間連結部を介して前記右側連結リンク部に回動自在に連結され、左外側支持リンク部がリンク間連結部を介して前記左側連結リンク部に回動自在に連結され、
前記右外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記リンク間連結部を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前記リンク間連結部を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第1の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記右外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部と、前記左外側支持リンク部と前記第1の可動部との連結部が、前後逆側に位置している請求項8記載の可動センサ。 - 右内側支持リンク部が内側リンク間連結部を介して前記右側連結リンク部に回動自在に連結され、左内側支持リンク部が内側リンク間連結部を介して前記左側連結リンク部に回動自在に連結され、
前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記内側リンク間連結部を挟んで、前記右側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置し、
前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前記内側リンク間連結部を挟んで、前記左側連結リンク部と前記第2の可動部との連結部と前後逆側に位置しており、
前記右内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部と、前記左内側支持リンク部と前記第2の可動部との連結部が、前後逆側に位置している請求項13記載の可動センサ。 - 前記リンク間連結部と前記内側リンク間連結部とが、左右方向(Y)に延びる同一線上に配置されている請求項14記載の可動センサ。
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