JP2014115082A - 物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【目的】 特に可動部の構成を改良することで可動部の変形を抑制した物理量センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 可動部2と、可動部2の高さ方向への変位を検知するためのZ方向検知部と、左右方向への変位を検知するための可動部2内に設けられた第2の電極部50,51及び第3の電極部25〜28と、を有し、可動部2の左右方向の両側に、可動部に作用する高さ方向へのモーメントの支点S1,S2が設けられており、支点の左右方向の外側に第3の電極部25〜28を構成する可動電極62や錘部31,32が可動部と一体的に設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】 可動部2と、可動部2の高さ方向への変位を検知するためのZ方向検知部と、左右方向への変位を検知するための可動部2内に設けられた第2の電極部50,51及び第3の電極部25〜28と、を有し、可動部2の左右方向の両側に、可動部に作用する高さ方向へのモーメントの支点S1,S2が設けられており、支点の左右方向の外側に第3の電極部25〜28を構成する可動電極62や錘部31,32が可動部と一体的に設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、シリコン基板から切り出すなどして形成された可動部の高さ方向への変位量を検知し、これにより、外部から作用する加速度などの物理量の測定を可能とした物理量センサに関する。
例えば、物理量センサは、シリコン基板をエッチング処理して、高さ方向に変位可能に支持された可動部と、可動部の変位を検知するためのZ方向検知部とを備える。
本出願人は、この種の物理量センサを過去において出願している(特許文献1〜3)。これら特許文献では、可動部が高さ方向に平行移動可能に支持されている。
Z方向検知部とともに、可動部内にX方向検知部(X軸センサ)を備えた構成(後述する比較例を参照)では物理量の作用により、可動部の中央に強いモーメントが作用し可動部が変形しやすい問題があった。例えば、特許文献1に示すように可動部の高さ方向への変位を規制する脚部を設けた構成では、高ダイナミックレンジに対応するため脚部の長さ寸法を長くするには可動部の長さ寸法を長くすることが必要となり、その結果、可動部の剛性が弱まり可動部がさらに変形しやすくなっていた。
このように可動部が変形することで感度に影響を与え、検出精度が低下する問題が生じた。
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであって、特に可動部の構成を改良することで可動部の変形を抑制した物理量センサを提供することを目的としている。
本発明における物理量センサは、
可動部と、前記可動部の高さ方向への変位を検知するための第1の電極部と、前記高さ方向に対して直交する前後方向あるいは左右方向への少なくともいずれか一方への変位を検知もしくは検査電圧を印加するために前記可動部内に設けられた第2の電極部及び第3の電極部と、を有し、
前記可動部の前記左右方向の両側に、前記可動部に作用する前記高さ方向へのモーメントの支点が設けられており、
前記支点の左右方向の外側に前記第3の電極部を構成する可動電極が前記可動部と一体的に設けられていることを特徴とするものである。 本発明によれば、モーメントの支点よりも外側に第3の電極部を設け、換言すれば、従来よりも可動部の支点を内側に配置することで、可動部の支点よりも内側と外側の双方に可動部に作用する高さ方向へのモーメントを作用させることができ、これにより可動部の変形を適切に抑制することが可能になる。
可動部と、前記可動部の高さ方向への変位を検知するための第1の電極部と、前記高さ方向に対して直交する前後方向あるいは左右方向への少なくともいずれか一方への変位を検知もしくは検査電圧を印加するために前記可動部内に設けられた第2の電極部及び第3の電極部と、を有し、
前記可動部の前記左右方向の両側に、前記可動部に作用する前記高さ方向へのモーメントの支点が設けられており、
前記支点の左右方向の外側に前記第3の電極部を構成する可動電極が前記可動部と一体的に設けられていることを特徴とするものである。 本発明によれば、モーメントの支点よりも外側に第3の電極部を設け、換言すれば、従来よりも可動部の支点を内側に配置することで、可動部の支点よりも内側と外側の双方に可動部に作用する高さ方向へのモーメントを作用させることができ、これにより可動部の変形を適切に抑制することが可能になる。
本発明では、前記第2の電極部は、前記可動部の前記支点よりも左右方向内側に設けられ、前記第3の電極部は、前記可動部の前記支点よりも左右方向の外側に設けられ、前記第2の電極部及び第3の電極部を構成する前記可動電極が、前記可動部の前記支点よりも左右方向の内側及び外側の双方に前記可動部と一体的に設けられている構成に特に好ましく適用できる。
また本発明では、前記可動部には前記支点間を左右方向と平行な方向に繋ぐ梁部が設けられており、前記支点よりも左右方向の外側に前記梁部に連続する錘部が設けられており、前記梁部及び前記錘部の前後方向の両側に前記第2の電極部及び第3の電極部が設けられていることが好ましい。本発明によれば、左右方向に梁部を設け、さらに支点よりも外側に梁部に連続する錘部を設けることで、左右方向に可動部の質量を適切に分配でき、これにより可動部の変形を適切に抑制することが可能になる。
また本発明では、前記錘部の前後方向への幅寸法は、前記梁部の前後方向への幅寸法に比べて大きいことが好ましい。高ダイナミックレンジに対応すべく、可動部の左右方向の長さ寸法を長くした際に、錘部の幅寸法を梁部の幅寸法よりも大きくすることで、可動部の支点よりも内側に作用するモーメントの大きさと外側に作用するモーメントの大きさとを略一致させやすく、これにより可動部の変形をより効果的に抑制することが可能になる。
また本発明では、前記可動部の前記高さ方向への変位に対して逆方向に変位して前記可動部の高さ方向への変位を規制する規制部を備え、前記可動部が前記規制部により規制された状態で前記可動部の両端部よりも内側の位置が前記支点として機能することが好ましい。この構成に対して特に可動部の変形を適切に抑制することができる。
また本発明では、前記可動部の前後方向の両側に固定支持されたアンカ部が設けられ、前記アンカ部と前記可動部との間で回動自在に連結した支持部を備え、前記支持部は、前記アンカ部の位置から前記可動部の左右方向の外側にかけて形成されていることが好ましい。これにより可動部を高さ方向に適切に平行移動させることができる。また可動部の左右方向の外側に位置する支持部の部分は、可動部が高さ方向に変位した際、可動部よりも更に高さ方向に突き出るストッパとして機能させることができる。
また本発明では、前記支持部と一体的に前記可動部の高さ方向への変位を規制する規制部としての脚部が前記左右方向に向けて設けられており、前記脚部は、前記可動部が高さ方向に変位したときに前記可動部の変位方向に対し逆方向に変位することが好ましい。本発明では高ダイナミックレンジに対応すべく、左右方向に向けて設けられた脚部の長さ寸法を長くすべく、可動部の中心(重心)から支点までの長さ寸法を長く形成しても、支点の外側に第3の電極部を設けることで、可動部の変形を抑制することが可能である。
また本発明では、前記第2の電極部及び第3の電極部は、前記左右方向への変位を検知するための左右方向検知部である構成とすることができる。
また本発明では、前記第2の電極部は、前記左右方向への変位を検知するための左右方向検知部であり、前記第3の電極部は、検査電圧を印加して前記第2の電極部及び第3の電極部を構成する前記電極を変位させる検査部である構成とすることができる。
さらに本発明では、前記第2の電極部及び第3の電極部は、櫛歯状の前記可動電極と固定電極とを備える構成にできる。
本発明の構成によれば、モーメントの支点よりも外側に第3の電極部を設けることで、可動部の支点よりも内側と外側の双方にモーメントを作用させることができ、これにより可動部の変形を適切に抑制することが可能になる。
各図に示す物理量センサに関しては、X方向が左右方向であり、X1方向が左方向でX2方向が右方向、Y方向が前後方向であり、Y1方向が後方でY2方向が前方である。また、Y方向とX方向の双方に直交する方向が上下方向(Z方向;高さ方向)である。
図1に示す物理量センサ1は、長方形の平板状のシリコン基板8から形成されている。すなわち、シリコン基板8に、各部材の形状に対応する平面形状のレジスト層を形成し、レジスト層が存在していない部分で、シリコン基板をディープRIE(ディープ・リアクティブ・イオン・エッチング)などのエッチング工程で切断することで、各部材を分離している。したがって、物理量センサ1を構成する各部材は、シリコン基板の表面と裏面の厚みの範囲内で構成されている。
図1に示すように、物理量センサ1には、シリコン基板8の中央領域に可動部2が形成されている。
図1に示すように可動部2の前後方向(Y1−Y2)の両側に第1のアンカ部6,6が配置されている。一対の第1のアンカ部6,6は前後方向で対向している(前後方向の線上に一致している)。また各第1のアンカ部6,6の左側(X1)には夫々、第2のアンカ部7,7が配置されている。一対の第2のアンカ部7,7は前後方向で対向している(前後方向の線上に一致している)。第1のアンカ部6及び第2のアンカ部7は物理量センサ1の左右方向(X1−X2)における略中央に配置される。
図1に示すように、一対の第1のアンカ部6,6には夫々、左右方向(X1−X2)に延出する第1の支持部3,4が第1のばね部11,11を介して回動自在に連結されている。ここで「左右方向に延出する」とは支持部3,4の基本的な延出方向を指し、第1の支持部4のように前後方向等に折り曲がる部分があってもよい。第1のアンカ部6,6には第1のばね部11の形成領域に切欠部が形成され、その切欠部内に前後方向(Y1−Y2)に直線状に延びる第1のばね部11が、第1のアンカ部6,6と第1の支持部3,4との間を連結している。第1のばね部11は、第1のアンカ部6,6及び第1の支持部3,4と一体で形成される。第1のばね部11は、第1の支持部3,4に比べて十分に狭い幅寸法で形成され、弾性変形可能な部分となっている。一方、第1の支持部3,4の剛性は高くなっている。
図1に示すように第1の支持部3,4の第1のアンカ部6よりも左方(X1)に第1の脚部3a,4aが設けられている。第1の脚部3a,4aは可動部2の高さ方向への変位を抑制する規制部として機能する。
図1に示すように、前方(Y2)に位置する第1の支持部4は、第1のアンカ部6と可動部2との間を通るように折れ曲がりながら左右方向に延びて形成されている。また後方(Y1)に位置する第1の支持部3は、第1のアンカ部6の外側を通って左右方向に直線状(帯状)に形成される。
図1に示すように一対の第1の支持部3,4は、可動部2の前方及び後方の各側方にて延在し、さらに可動部2の右側方(X2)にて前後方向(Y1−Y2)に延びる第1の連結部5(支持部の一部)に連結されて一体化している。
また図1に示すように一対の第1の支持部3,4は夫々、可動部2と第2のばね部9,9を介して連結されている。第2のばね部9,9は、可動部2の前方側面の右側、及び後方側面の右側に夫々設けられている。
第2のばね部9は、可動部2に設けられた前後方向に細長い溝内に配置され、可動部2と第1の支持部3との間を連結している。第2のばね部9は、前記溝内で前後方向(Y1−Y2)に直線状に長く形成され、また折り返されて、可動部2と第1の支持部3との間を連結している。第2のばね部9は、第1の支持部3に比べて幅寸法が十分小さく、第2のばね部9は、弾性変形可能とされている。第2のばね部9は、可動部2及び第1の支持部3,4と一体に形成される。
このように第1の支持部3,4は、可動部2と第1のアンカ部6とに夫々ばね部9,11を介して連結されている。ばね部9,11は捩れ変形可能とされており、これにより第1の支持部3,3を高さ方向に回動させることが可能となっている。
また、図1に示すように、一対の第2のアンカ部7,7には夫々、左右方向(X1−X2)に延びる第2の支持部13,14が第3のばね部15,15を介して回動自在に連結されている。第2のアンカ部7,7には第3のばね部15の形成領域に切欠部が形成され、その切欠部内に前後方向(Y1−Y2)に直線状に延びる第3のばね部15が、第2のアンカ部7と第2の支持部13,14との間を連結している。第3のばね部15は、第2のアンカ部7と第2の支持部13,14と一体で形成される。第3のばね部15は、第2の支持部13,14に比べて十分に狭い幅寸法で形成され、弾性変形可能な部分となっている。一方、第2の支持部13,14の剛性は高くなっている。
図1に示すように第2の支持部13,14には第2のアンカ部7,7よりも右方(X2)に第2の脚部13a,14aが設けられている。第2の脚部13a,14aは可動部2の高さ方向への変位を抑制する機能を備える。
図1に示すように、可動部2の前方(Y2)に位置する第2の支持部14は、第2のアンカ部7の外側を通って左右方向(X1−X2)に直線状(帯状)に延出している。
また、可動部2の後方(Y1)に位置する第2の支持部13は、第2のアンカ部7と可動部2との間を通るように折れ曲がりながら左右方向に延びて形成されている。
可動部2の前方(Y2)及び後方(Y1)の夫々に形成された第1の支持部3,4と第2の支持部13,14は、第1のアンカ部6及び第2のアンカ部7が介在する領域を除き、微小隙間を介して相対向した状態で左右方向に延びている。
可動部2の前方(Y2)に配置された第1の支持部3及び第2の支持部13と、可動部2の後方(Y1)に配置された第1の支持部4及び第2の支持部14とは互いに、可動部2(シリコン基板8)の中心(重心)Oを中心軸として180度回転させた形態と同じとなっている。このため図1に示すように、第1の支持部3は、第2の支持部14と可動部2(シリコン基板8)の中心Oを中心軸として180度回転させた形態と同じとなっており、また、第1の支持部4は、第2の支持部13と可動部2(シリコン基板8)の中心Oを中心軸として180度回転させた形態と同じとなっている。
図1に示すように一対の第2の支持部13,14は、可動部2の前方及び後方の各側方にて左右方向に延在し、さらに可動部2の左側方(X1)にて前後方向(Y1−Y2)に延びる第2の連結部16(支持部の一部)に連結されて一体化している。
また図1に示すように一対の第2の支持部13,14は夫々、可動部2と第4のばね部17,17を介して連結されている。第4のばね部17,17の形態は第2のばね部9,9と同様である。第4のばね部17,17は、可動部2の前方側面の左側、及び後方側面の左側に夫々設けられている。
このように第2の支持部13,14は、可動部2と第2のアンカ部7とに夫々ばね部15,17を介して連結されている。ばね部15,17は捩れ変形可能とされており、これにより第2の支持部13,14を高さ方向に回動させることが可能となっている。
図1に示すように、第1のアンカ部6と第2のアンカ部7との間には左右方向(X1−X2)に間隔を空けて前後方向(Y1−Y2)に延びる隙間が形成され、この隙間内に、第1の支持部3と第2の支持部13との間を連結する連結ばね21が設けられている。
図1に示すように、連結ばね21は、可動部2(シリコン基板8)の中心(重心)Oを通る前後方向(Y1−Y2)の線上に位置している。また、図1に示すように連結ばね21と第1のばね部11との間の左右方向(X1−X2)の距離、及び連結ばね21と第3のばね部15との間の左右方向(X1−X2)の距離は同じとなっている。
第1のアンカ部6及び第2のアンカ部7は、図3に示す固定部(支持基板)30に固定支持される。この固定部30は例えばシリコン基板であり、各アンカ部6、7と固定部30との間には図示しない酸化絶縁層(SiO2層)が介在している。固定部30、酸化絶縁層、及び図1に示す可動部2、支持部3,4,13,14、アンカ部6,7及び各ばねを構成するシリコン基板8は、例えばSOI基板である。
図1に示す可動部2、各支持部3,4,13,14及び各アンカ部6,7は夫々分離して形成されている。このうち、各アンカ部6,7と固定部30との間には上記した酸化絶縁層が介在し、各アンカ部6,7が固定部30に固定支持された状態になっているが、可動部2及び各支持部3,4,13,14と、固定部30との間には酸化絶縁層は存在せず、可動部2及び各支持部3,4,13,14と固定部30との間は空間となっている。
図3に示すように、物理量センサ1には、可動部2と高さ方向にて離れた一方に固定部30と他方に対向部40が設けられる。対向部40の表面には固定電極41が設けられる。固定電極41と可動部2とは高さ方向(Z)にて相対向している。可動部2と固定電極41とでZ方向検知部(第1の電極部)を構成している。
対向部40は例えばシリコン基板であり、固定電極41は、対向部40の表面40aに絶縁層を介して導電性金属材料をスパッタしまたはメッキすることで形成されている。
また、可動部2の表面(下面)2aには、固定電極41に対面する可動電極(図示しない)が絶縁層を介してスパッタやメッキ工程で形成されている。あるいは、可動部2が、低抵抗シリコン基板などの導電性材料で形成されている場合には、可動部2それ自体を可動電極として使用することが可能である。
可動部2の構成について説明する。
可動部2には左右方向(X1−X2)の両側に、可動部2に作用する高さ方向(Z)へのモーメントの支点S1,S2が設けられている。支点S1は、第2のばね部9間を結ぶ前後方向(Y1−Y2)の略ラインL1上にあり、また支点S2は、第4のばね部17間を結ぶ前後方向(Y1−Y2)の略ラインL2上にある。図1に示すように可動部2には、支点S1,S2間を左右方向(X1−X2)に結ぶ方向に向けて梁部24が設けられている。梁部24は、可動部2の中心Oを通る帯状で形成される。また梁部24の左右方向(X1−X2)の外側、すなわち、支点S1,S2よりも外側に錘部31,32が梁部24と一体となって形成されている。
可動部2には左右方向(X1−X2)の両側に、可動部2に作用する高さ方向(Z)へのモーメントの支点S1,S2が設けられている。支点S1は、第2のばね部9間を結ぶ前後方向(Y1−Y2)の略ラインL1上にあり、また支点S2は、第4のばね部17間を結ぶ前後方向(Y1−Y2)の略ラインL2上にある。図1に示すように可動部2には、支点S1,S2間を左右方向(X1−X2)に結ぶ方向に向けて梁部24が設けられている。梁部24は、可動部2の中心Oを通る帯状で形成される。また梁部24の左右方向(X1−X2)の外側、すなわち、支点S1,S2よりも外側に錘部31,32が梁部24と一体となって形成されている。
また図1に示すように可動部2には、梁部24の前後方向(Y1−Y2)の両側、及び錘部31,32の前後方向(Y1−Y2)の両側に、第2の電極部50,51,第3の電極部25〜28の各可動電極52,62が設けられている。
また図1に示すように、梁部24と錘部31,32の間には、前後方向(Y1−Y2)に延出して第2のばね部9あるいは第4のばね部17に連結する連結腕33,34が設けられている。
図1に示すように前後方向(Y1−Y2)に所定の幅寸法を有して左右方向(X1−X2)に帯状に形成された梁部24は、中央部24aでT1の幅寸法を有している。一方、錘部31,32の前後方向(Y1−Y2)への幅寸法はT2であり、幅寸法T2は幅寸法T1よりも大きくなっている。梁部24の幅寸法T1は、50〜150μm程度であり、錘部31,32の幅寸法T2は、100〜200μm程度である。また、梁部24の左右方向への長さ寸法は、200〜750μm程度である。
図1に示すように梁部24の前後方向(Y1−Y2)の両側に形成された第2の電極部50,51は、物理量センサ1の四隅に位置し、錘部31、32の前後方向(Y1−Y2)に設けられた第3の電極部25〜28よりも広い面積を有している。第3の電極部25〜28をX方向検知部として用いる場合、例えば、第2の電極部50,51の出力の和と第3の電極部25〜28の出力の和との差動出力をとってX方向の加速度を検知することが可能である。また、後述するように各第3の電極部25〜28はこれらの可動電極62,63に検査電圧を印加して第2の電極部50,51を検査する検査用電極部として用いることも可能であり、この場合、実際に生じた物理量の変化を測定するのは梁部24の両側に設けられた第2の電極部50,51となっている。
図1に示すように、第2の電極部50,51は、複数本の可動電極52と複数本の固定電極53とで構成される。各可動電極52は、梁部24と一体となって形成されている。なお図1に示す全ての可動電極52及び固定電極53に対して符号を付していない。以下に説明する符号56、57、60〜63,65〜68についても同様である。
一方、各固定電極53は、固定支持されたアンカ部54、及びアンカ部54から左右方向(X1−X2)に延出する延出部55に一体となって形成されている。
図1に示すように各可動電極52及び各固定電極53は、前後方向(Y1−Y2)に延出する支持枝56,60と、各支持枝56,60から左方向(X1)あるいは右方向(X2)に短く突出する複数の櫛歯状電極子57,61とを有して構成される。可動電極52を構成する櫛歯状電極子57と、固定電極53を構成する櫛歯状電極子61とは、前後方向(Y1−Y2)に交互に配置されている。
なおX方向検知部50,51の構成は図1に限定されるものでなく、対向平板型として櫛歯状電極子がない構成等とすることも可能である。
可動部2が左右方向(X1−X2)に移動することで、第2の電極部50,51の可動電極52も左右方向(X1−X2)に移動する。これにより可動電極52と固定電極53との間の静電容量が変化し、静電容量変化に基づいて左右方向に生じた加速度等を検出することができる。
図1に示すように、可動部2に設けられた第3の電極部25〜28もまた、第2の電極部50,51と同様に、複数本の可動電極62と複数本の固定電極63とを有して構成される。各固定電極63はアンカ部64に支持されている。また検査部25〜28を構成する各可動電極62及び各固定電極63は、前後方向(Y1−Y2)に延出する支持枝65,66と、各支持枝65,66から左方向(X1)あるいは右方向(X2)に短く突出する櫛歯状電極子67,68を有して構成される。可動電極62を構成する櫛歯状電極子67と、固定電極63を構成する櫛歯状電極子68とは、前後方向(Y1−Y2)に交互に配置されている。
ただし第3の電極部25〜28における可動電極62及び固定電極63の配置は、第2の電極部50,51における可動電極52及び固定電極53の配置と逆になっており、第2の電極部50,51における可動電極52と固定電極53とが近づく方向に移動した場合、第3の電極部25〜28における可動電極62と固定電極63とは離れる方向に移動するようになっている。
第3の電極部25〜28は、第2の電極部(X方向検知部)50,51に対するダイナミックレンジ及び感度を確認するための検査部として使用することも可能である。この場合、第2の電極部50,51における可動電極52及び固定電極53の配置は、差動出力型ではなく、すべてが同じ配置とされた単相型とされる。すなわち、すべての可動電極52と固定電極53とが離れる方向か、近づく方向に移動できるようになっている。よって、図1に示す構成では、可動電極52及び固定電極53に検査電圧を印加して第2の電極部50,51におけるすべての可動電極52と固定電極53とをクーロン力で引っ張ることはできるが、可動電極と固定電極とを離す方向に移動させることはできないので、第2の電極部50,51における可動電極52と固定電極53との配置に対して逆の配置となる第3の電極部25〜28を設けた。これにより、ダイナミックレンジ及び感度を確認する検査は例えば次のように行う。すなわち、第2の電極部50,51の可動電極52と固定電極53の間に検査電圧を印加して可動電極52と固定電極53とが近づく方向へ変位させて可動電極52と固定電極53とが近づく方向の検査を行う。次に第3の電極部25〜28の可動電極62と固定電極63との間に検査電圧を印加して可動電極62と固定電極63とが近づく方向へ変位させ、可動電極52と固定電極53とを離す方向に変位させて、可動電極52と固定電極53とが離れる方向の検査とを行うことができる。
物理量センサが静止状態のとき、表面全体と裏面全体が夫々、同一面上に位置しており、表面及び裏面から突出する部分がない。本実施形態の物理量センサ1は、外部から力(加速度等)が作用していないときに、ばね部の弾性復元力により、全ての部分の表面が同一平面となった状態を維持している。静止状態において可動部2と固定部30(図3参照)との間の間隔は、例えば、1〜5μm程度である。また、可動部2と対向部40との間の間隔は、可動部2と固定部30との間の間隔と同程度かあるいはそれよりも狭く設定される。
図2は物理量センサ1に高さ方向への加速度が作用した際の動作状態における斜視図である。
物理量センサ1に外部から例えば加速度が高さ方向に与えられると、加速度は、可動部2及び各アンカ部6,7に作用する。このとき、可動部2は慣性力によって絶対空間内で留まろうとし、その結果、各アンカ部6,7に対して可動部2が加速度の作用方向と逆の方向へ相対的に移動する。
図2は、アンカ部6,7、固定部30及び対向部40に対して下向きの加速度が作用したときの動作を示している。このとき、可動部2は慣性力により静止状態の位置から上方向へ向けて変位すべく、第1支持部3,4及び第2支持部13,14が高さ方向に回動する。この回動動作時、各ばね部が捩れ変形する。
図2に示すように、各支持部3,4,13,14の脚部3a,4a,13a,14aは下方に変位し(図2には、脚部4a,14aのみが図示されている)、各脚部3a,4a,13a,14aの先端は可動部2よりも下方に突出する。
脚部3a,4a,13a,14aの突出量が大きくなると、図3に示すように、可動部2が固定部30の表面30aに当接するよりも先に、脚部3a,4a,13a,14a(図3には脚部4a,14aのみが図示されている)の先端部が対向部40の表面(ストッパ面)40aに当接し、可動部2が図3の状態よりもさらに上方に変位できなくなり、可動部2の変位が抑制される。このように各脚部3a,4a,13a,14aと対向部40の表面(ストッパ面)40aとで可動部2の変位を抑制するストッパ機構が構成されている。
一方、図4は、アンカ部6,7、固定部30及び対向部40に対して上向きの加速度が作用したときの動作を示している。このとき、可動部2は慣性力により静止状態の位置から下方向へ向けて変位すべく、第1支持部3,4及び第2支持部13,14が高さ方向に回動する。この回動動作時、各ばね部が捩れ変形する。
図4に示すように、各支持部3,4,13,14の脚部3a,4a,13a,14a(図4には脚部4a,14aのみが図示されている)は上方に変位し、各脚部3a,4a,13a,14aの先端は、可動部2よりも上方に突出する。
図4に示すように,可動部2(錘部31,32)の左右方向(X1−X2)外側に位置する支持部の位置(連結部5,16)が可動部2よりも下方に突出するため、可動部2が対向部40の表面40aに当接するよりも先に、連結部5,16の位置が表面40aに当接し、連結部5,16の位置がストッパとして機能している。したがって可動部2が高さ方向の上方及び下方のいずれの方向に変位したときでも可動部2が直接、対向部40や固定部30の表面に当接することはなくスティッキングを適切に防止することが可能になっている。
本実施形態では、図2ないし図4に示すように高さ方向(Z)に変位する可動部2と、対向部40に設けられた固定電極41との間の静電容量変化により、高さ方向に生じた加速度等の物理量を検出することが可能となっている。
本実施形態の可動部2の支持機構により可動部2を高さ方向(Z)に効果的に平行移動させることが出来る。
図5は比較例の物理量センサ100を示している。図1と同じ部分については同じ符号を付した。
図5と図1とを比較すると両者は可動部2の形態が異なっている。すなわち図1では可動部2に作用するモーメントの支点S1,S2よりも外側に錘部31,32及び第3の電極部25〜28が設けられていたが、図5の比較例では可動部2の両端部22,23が支点S1,S2の位置とされ、両端部22,23よりも左右方向(X1−X2)の外側に錘部31,32や第3の電極部25〜28が設けられていない。
また図1では、左右方向(X1−X2)に梁部24が形成されているが、図5の比較例では前後方向(Y1−Y2)に梁部101が設けられている。そして図5に示すように、梁部101の左右両側に第2の電極部50,51が設けられている。
今、図3に示すように、脚部3a,4a,13a,14aの先端部が対向部40の表面(ストッパ面)40aに当接し、可動部2の高さ方向(Z)への変位が抑制された状態について考察すると、図6(a)(b)の模式図に示すように、可動部2の左右方向(X1−X2)の両側位置が可動部2に作用するモーメントFの支点S1,S2となっている。モーメントFは支点S1,S2から離れれば離れるほど及び、質量が大きくなるほど大きくなる。
図6(a)は、図5に示す比較例の模式図を示している。図5の比較例では可動部2の両端部22,23が支点S1,S2として機能する。このため、支点S1,S2よりも内側に位置する可動部2の中央部2aに強いモーメントFが作用しやすくなっている。特に比較例では図5に示すように可動部2は中央部2aにおいて梁部101が存在するため図6(a)に示すように、質量が両側部2bに比べて大きくなっており、したがって図6(a)では可動部2の中央部2aを両側部2bよりも厚く図示した。図6(a)に示した可動部2の厚さは、各位置における質量の大きさを示していると考えてよい。すなわち図6(a)に示すように比較例における物理量センサ100では、可動部2の中央部2aの質量が非常に大きくなっており、両側部2bに比べて中央部2aに作用するモーメントFは大きくなっている。
一方、図6(b)は、図1に示す実施例の模式図を示している。図1に示す実施例では、支点S1,S2の外側に錘部31,32及び検査部25〜28の可動電極62が配置されており、支点S1,S2は、可動部2の両端部22,23(錘部31,32の側端部に相当)よりも内側に位置している。このため、可動部2の支点S1,S2よりも内側と外側の双方にモーメントF1,F2,F3を作用させることができる。このため、可動部2の内側にて作用するモーメントF1と、外側にて作用するモーメントF2,F3が互いに打ち消し合い、比較例に比べて可動部2が変形しづらくなっている。また、図1に示す実施例では梁部24を左右方向(X1−X2)に設けている。このため、図6(a)に示すように可動部2の質量を左右方向(X1−X2)に適切に(略均一に)分配でき、図6(a)の実施例では、図6(b)の比較例に比べて、可動部2の中央部2aに作用するモーメントFを弱めることができる。換言すれば可動部2に作用するモーメントFを左右方向に適切に分散させることができる。
また図1では、左右方向への長さ寸法が長い梁部24の幅寸法T1よりも、左右方向への長さ寸法が梁部24より短い錘部31,32の幅寸法T2を広く形成しており、これにより、可動部2の内側に作用するモーメントF1と、外側に作用するモーメントF2,F3の和をほぼ等しくでき、より効果的に可動部2の変形を抑制できる。また梁部24に対して錘部31,32の左右方向への長さ寸法を短くでき、物理量センサを小型化できる。
図7の実験は、図1の実施例と図5の比較例とで可動部2を同じ質量とし、各物理量センサ1,100に高さ方向への加速度を作用させた状態にて可動部に生じた最大変形量を測定した実験結果である。実験では、各物理量センサを図4の状態の状態からさらに700Gの加速度を作用させたときに、可動部2に生じた最大変形量を測定した。
図7に示すように、実施例の物理量センサにて生じた可動部の変形量は、比較例の物理量センサにて生じた可動部の変形量に対して大幅に低減できることがわかった。
図1や図5に示す物理量センサは高さ方向(Z)への検知部(第1の電極部)を備えた構成であるが、その可動部2内にX方向への変位を検知もしくは検査電圧を印加するための第2の電極部及び第3の電極部を有しており、そのため、可動部2の形状全体を板状で形成できず、X方向検知部の形成領域を確保しなければならず、そのため、可動部2の剛性は低下しやすい。特に後述のように高ダイナミックレンジに対応させるとますます剛性は低下することになる。第1の電極部のみならず第2の電極部及び第3の電極部を有する構成において可動部2の高さ方向への変位に伴うモーメントの支点を両端部22,23に設定した比較例の構成では、支点S1,S2の内側の可動部2に大きなモーメントが作用し、その結果、可動部2が変形しやすくなっていた。また図5の比較例では、梁部101を前後方向(Y1−Y2)に形成しているため、可動部2の質量が左右方向(X1−X2)に対して中央部分に集中し、可動部2の作用するモーメントの支点S1,S2となる両端部22,23から離れた可動部2の中央部分にモーメントが集中的に作用する。その結果、可動部2がより変形しやすくなっていた。そこで、第1の電極部のみならず第2の電極部及び第3の電極部を有する構成において可動部2の支点S1,S2を図5よりも内側に移動させ、第3の電極部25〜28や錘部31,32を支点S1,S2の外側に配置したことで、可動部2の支点S1,S2よりも内側と外側の双方にモーメントを作用させることができ、その結果、図6の比較例に比べて可動部2の変形を抑制することができる。
また高ダイナミックレンジに対応するには、脚部3a,4a,13a,14aの左右方向(X1−X2)における長さ寸法を長くすることが必要になり、そのため、図1に示す可動部2の中心(重心)Oから支点S1,S2までの長さ寸法L(両支点間の長さ寸法は2L)を長くすることが必要になる。図5に示す比較例の構造では、可動部2の中心Oから支点S1,S2のある両端部22,23までの長さ寸法Lを長く延ばすと可動部2の剛性がますます低下して、可動部2の変形がさらに大きくなる。これに対し、本実施形態のように、支点S1,S2を両端部22,23よりも内側にずらして支点S1,S2の外側に第3の電極部25〜28や錘部31,32を設け、好ましくは左右方向に梁部24を設けることで可動部2の剛性を図5に比べて向上させることができ、可動部2の変形を抑制できる。したがって、良好な感度を維持しつつ高ダイナミックレンジに適切に対応することができる。
図8は、第2の実施形態の物理量センサの正面図である。図8において図1や図5と同じ部分については同じ符号を付した。
図8に示す実施形態は、図1と違って、検査電圧を印加するための検査部が形成されていない。図8に示す実施例は、図5の比較例の構成をもとに、支点S1,S2を内側に移動させた形態である。
すなわち図8では、可動部2を構成する梁部70が、可動部2の中心(重心O)を通る前後方向(Y1−Y2)に形成されており、梁部70の左右方向(X1−X2)の両側に第2の電極部50,51が形成されている。可動部2には梁部70と連続しX方向検知部50,51の前後方向(Y1−Y2)の両側を囲むように配置された枠部71,72が設けられている。枠部71,72では、第2のばね部9及び第4のばね部17を介して各支持部3,4,13,14と連結されている。各ばね部9,17と連結した部分の前後方向(Y−Y2)に、可動部2が高さ方向に変位した際に作用するモーメントの支点S1,S2がある。
そして図8に示すように支点S1,S2よりも左右方向(X1−X2)の外側に第3の電極部90,91を構成する可動電極92が可動部2の枠部71,72と繋がっている。
図8に示す実施例においても、図5の比較例と比べて支点S1,S2を可動部2の内側に移動させているので、図6(b)に示すように、可動部2の内側と外側の双方でモーメントを生じさせることができ、可動部2の変形を抑制することができる。
図8では、図5の比較例と同様に梁部を前後方向(Y1−Y2)に設け、ただし支点S1,S2を可動部2の両端部から内側に移動させて、支点S1,S2の外側に第3の電極部90,91の可動電極92を可動部2に一体的に形成する構成としても、図5の比較例に比べて可動部2の変形を抑制することができる。しかしながら、図8のように梁部70を前後方向に向けるよりも図1のように左右方向に梁部24を形成することで、左右方向に可動部2の質量を適切に分配でき、可動部2の剛性を高めることができ、可動部2の変形をより効果的に抑制することができる。
図8の構成では、第2の電極部50と第3の電極部90とを共通の電極部とし、第2の電極部51と第3の電極部91とを共通の電極部として用いることができ、これにより、差動出力をとってX方向の加速度を検知することができる。
また、図1、図8の実施形態では、第2の電極部、あるいは第2の電極部及び第3の電極部によりX方向検知部を構成したが、Y方向検知部としてもよい。
また図1と異なって、可動部2の高さ方向に対して逆方向に変位して可動部2の高さ方向への変位を規制する規制部(脚部3a,4a,13a,14a)が形成されていなくてもよい。かかる場合でも本実施形態では、可動部2の支点を内側に移動させたことで、高さ方向に変位する可動部2に対して、図6(b)に示すように、可動部2の内側と外側の双方でモーメントを生じさせることができ、可動部2の変形を抑制することができる。
本実施形態における物理量センサは、加速度センサ、角速度センサ、衝撃センサ等、物理量センサ全般に適用可能であるが、本実施形態は、2軸の物理量を検出でき、例えば、Tire Pressure Monitoring System(タイヤ空気圧監視システム)における加速度センサとして用いることができる。
S1、S2 支点
1、100 物理量センサ
2 可動部
3、4、13、14 支持部
3a、4a、13a、14a 脚部
5、16 連結部(支持部の一部)
6、7、54 アンカ部
8 シリコン基板
9、11,15、17 ばね部
21 連結ばね
22、23 端部
24 梁部
25〜28、90、91 第3の電極部
30 固定部
31、32 錘部
40 対向部
41、53 固定電極
50、51 第2の電極部
52、62、92 可動電極
57、61 櫛歯状電極子
1、100 物理量センサ
2 可動部
3、4、13、14 支持部
3a、4a、13a、14a 脚部
5、16 連結部(支持部の一部)
6、7、54 アンカ部
8 シリコン基板
9、11,15、17 ばね部
21 連結ばね
22、23 端部
24 梁部
25〜28、90、91 第3の電極部
30 固定部
31、32 錘部
40 対向部
41、53 固定電極
50、51 第2の電極部
52、62、92 可動電極
57、61 櫛歯状電極子
Claims (10)
- 可動部と、前記可動部の高さ方向への変位を検知するための第1の電極部と、前記高さ方向に対して直交する前後方向あるいは左右方向への少なくともいずれか一方への変位を検知もしくは検査電圧を印加するために前記可動部内に設けられた第2の電極部及び第3の電極部と、を有し、
前記可動部の前記左右方向の両側に、前記可動部に作用する前記高さ方向へのモーメントの支点が設けられており、
前記支点の左右方向の外側に前記第3の電極部を構成する可動電極が前記可動部と一体的に設けられていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記第2の電極部は、前記可動部の前記支点よりも左右方向内側に設けられ、前記第3の電極部は、前記可動部の前記支点よりも左右方向の外側に設けられ、前記第2の電極部及び第3の電極部を構成する前記可動電極が、前記可動部の前記支点よりも左右方向の内側及び外側の双方に前記可動部と一体的に設けられている請求項1記載の物理量センサ。
- 前記可動部には前記支点間を左右方向と平行な方向に繋ぐ梁部が設けられており、前記支点よりも左右方向の外側に前記梁部に連続する錘部が設けられており、前記梁部及び前記錘部の前後方向の両側に前記第2の電極部及び前記第3の電極部が設けられている請求項2記載の物理量センサ。
- 前記錘部の前後方向への幅寸法は、前記梁部の前後方向への幅寸法に比べて大きい請求項3記載の物理量センサ。
- 前記可動部の前記高さ方向への変位に対して逆方向に変位して前記可動部の高さ方向への変位を規制する規制部を備え、前記可動部が前記規制部により規制された状態で前記可動部の両端部よりも内側の位置が前記支点として機能する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の物理量センサ。
- 前記可動部の前後方向の両側に固定支持されたアンカ部が設けられ、前記アンカ部と前記可動部との間で回動自在に連結した支持部を備え、前記支持部は、前記アンカ部の位置から前記可動部の左右方向の外側にかけて形成されている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の物理量センサ。
- 前記支持部と一体的に前記可動部の高さ方向への変位を規制する規制部としての脚部が前記左右方向に向けて設けられており、前記脚部は、前記可動部が高さ方向に変位したときに前記可動部の変位方向に対し逆方向に変位する請求項6記載の物理量センサ。
- 前記第2の電極部及び第3の電極部は、前記左右方向への変位を検知するための左右方向検知部である請求項1ないし7のいずれか1項に記載の物理量センサ。
- 前記第2の電極部は、前記左右方向への変位を検知するための左右方向検知部であり、前記第3の電極部は、検査電圧を印加して前記第2の電極部及び第3の電極部を構成する前記電極を変位させる検査部である請求項1ないし7のいずれか1項に記載の物理量センサ。
- 前記第2の電極部及び第3の電極部は、櫛歯状の前記可動電極と固定電極とを備える請求項1ないし9のいずれかに1項に記載の物理量センサ。
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