KR101275169B1 - 가속도계 - Google Patents

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Abstract

가속도계는 본체, 상기 본체에 위치하며, 소정의 이동 공간을 형성하는 채널, 상기 이동 공간에 위치하며 관성력에 따라 상기 이동 공간 내에서 이동하는 도전성 액적, 상기 이동 공간에 대응하여 위치하며, 상기 도전성 액적과 접촉하는 도전부, 및 상기 도전부와 연결되어 상기 도전부의 전기 저항을 측정하는 저항 측정부를 포함한다.

Description

가속도계{ACCELEROMETER}
본 발명은 가속도계에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉서블 장치 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도전성 액적을 포함하는 가속도계에 관한 것이다.
가속도계는 물체에 작용하는 가속도를 측정하는 장치이다.
종래의 가속도계는 표준질량(proof mass) 및 표준질량을 고정부에 고정하는 빔이나 스프링을 포함하며, 이러한 종래의 가속도계는 물체에 인가되는 가속도에 따라 가속도계에 가해지는 관성력에 의한 표준질량의 이동 및 변형에 기초하여 가속도계에 작용하는 가속도를 감지하였다.
그런데, 이러한 종래의 가속도계는 가속도에 대한 민감도(sensitivity)를 향상시키기 위해서는 같은 가속도에서 더 큰 관성력을 유도해야 하므로, 더욱 무거운 표준질량을 필요로 하고, 같은 관성력에서 더 큰 이동과 변형을 유도해야 하기 때문에 더 가늘고 긴 빔이나 스프링을 요구하였다. 이는 가속도계의 내충격성을 약하게 하고 가속도계를 제조하는 난이도가 상승하는 요인으로서 작용하였다.
또한, 종래의 가속도계는 표준질량을 고정하는 빔이나 스프링이 기계적으로 움직임으로써, 장기간 사용 시 기계피로(mechanical fatigue)가 가속도계에 쌓여 가속도계의 신뢰성(reliability)과 내구성(durability)이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 내충격성이 향상되고 가속도에 대한 민감도가 향상된 가속도계를 제공하고자 한다.
또한, 신뢰성 및 내구성이 향상된 가속도계를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면은 본체, 상기 본체에 위치하며 소정의 이동 공간을 형성하는 채널, 상기 이동 공간에 위치하며 관성력에 따라 상기 이동 공간 내에서 이동하는 도전성 액적, 상기 이동 공간에 대응하여 위치하며 상기 도전성 액적과 접촉하는 도전부, 및 상기 도전부와 연결되어 상기 도전부의 전기 저항을 측정하는 저항 측정부를 포함하는 가속도계를 제공한다.
상기 채널이 형성하는 상기 이동 공간은 평면적으로 사각형 형태이며, 상기 도전성 액적은 상기 본체로 가해지는 힘이 없을 때, 상기 이동 공간의 중앙 영역에 위치할 수 있다.
상기 도전부는 상기 사각형 형태의 상기 이동 공간의 제1 꼭지점으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제1 서브 도전부, 및 상기 제1 꼭지점과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 이동 공간의 제2 꼭지점으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제2 서브 도전부를 포함할 수 있다.
상기 도전부의 상기 제1 서브 도전부 및 상기 제2 서브 도전부 각각은 상기 이동 공간의 상기 제1 꼭지점 및 상기 제2 꼭지점 각각으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 갈수록 넓이가 좁아질 수 있다.
상기 채널이 형성하는 상기 이동 공간은 평면적으로 원형 형태이며, 상기 도전성 액적은 상기 본체로 가해지는 힘이 없을 때, 상기 이동 공간의 중앙 영역에 위치할 수 있다.
상기 이동 공간의 단면은 상기 중앙 영역으로 갈수록 폭이 커지는 가속도계.
상기 본체는 평면적으로 사각형 형태이며, 상기 도전부는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제1 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제3 서브 도전부, 상기 제1 변과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제2 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제4 서브 도전부, 상기 제1 변과 이웃하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제3 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제5 서브 도전부, 및 상기 제3 변과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제4 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제6 서브 도전부를 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 내충격성이 향상되고 가속도에 대한 민감도가 향상된 가속도계가 제공된다.
또한, 신뢰성 및 내구성이 향상된 가속도계가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ를 따른 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계(1000)는 피계측체에 부착되어 피계측체에 작용하는 가속도를 측정하는 장치로서, 본체(100), 채널(200), 도전성 액적(300), 도전부(400) 및 저항 측정부(500)를 포함한다.
본체(100)는 절연성 재료로 이루어진다. 본체(100)에는 본체(100)의 표면으로부터 함몰된 형태로 형성된 채널(200)이 형성된다. 본체(100)는 채널(200)을 둘러싸도록 패키징(packaging) 형태로 형성될 수 있다. 본체(100)는 수지, 실리콘 웨이퍼 및 유리 등을 포함할 수 있다.
채널(200)은 본체(100)에 위치하며, 소정의 이동 공간(MS)을 형성한다. 이동 공간(MS)은 평면적으로 사각형 형태이며, 보다 상세하게는 마름모꼴 형태일 수 있다. 채널(200)은 포토리소그래피(photolithography) 공정 등의 멤스(micro electro mechanical systems, MEMS) 기술을 이용해 절연성 재료로 이루어진 본체(100)에 형성될 수 있다.
채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)에는 도전성 액적(300)이 위치하고 있다.
도전성 액적(300)은 이동 공간(MS) 내부에 위치하며, 피계측체에 인가되는 가속도에 따라 본체(100)에 가해지는 관성력에 의해 이동 공간(MS) 내에서 이동한다. 도전성 액적(300)은 본체(100)에 가해지는 힘인 관성력이 없을 때, 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)에 위치한다. 도전성 액적(300)은 전기 전도성을 가지며, 상온에서 액체 상태를 유지하는 물질로 이루어진다. 일례로, 도전성 액적(300)은 수은 등을 포함할 수 있다.
도전부(400)는 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)에 대응하여 위치하며, 도전성 액적(300)과 접촉하고 있다. 도전부(400)는 포토리소그래피(photolithography) 공정 등의 멤스(micro electro mechanical systems, MEMS) 기술을 이용해 본체(100)에 패터닝(patterning)될 수 있다. 도전부(400)는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 니크롬(Nichrome), 코발트계 아몰퍼스 재료 등 비저항이 높은 도전성 물질로 이루어지며, 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420)를 포함한다.
제1 서브 도전부(410)는 복수개이며, 각각의 제1 서브 도전부(410)는 이동 공간(MS)의 제1 꼭지점(P1)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제1 서브 도전부(410)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제2 서브 도전부(420)는 복수개이며, 각각의 제2 서브 도전부(420)는 이동 공간(MS)의 제1 꼭지점(P1)과 대향하는 이동 공간(MS)의 제2 꼭지점(P2)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제2 서브 도전부(420)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각은 저항 측정부(500)와 연결되어 있다.
저항 측정부(500)는 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각과 연결되어 있으며, 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 전기 저항을 측정하여 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 전기 저항값의 변화를 측정한다. 저항 측정부(500)는 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 전기 저항값의 변화를 이용해 피측정체에 인가되는 가속도를 산출해낼 수 있다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계(1000)의 구동원리를 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 설명하기 위한 도면이다.
우선, 도 1에 도시된 바와 같이, 가속도계(1000)가 부착된 피측정체가 움직이지 않아 본체(100)에 가해지는 힘인 관성력이 없는 상태에서, 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 전기적 경로 길이가 동일하기 때문에, 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각으로부터 저항 측정부(500)는 동일한 전기 저항값을 측정한다.
다음, 도 2에 도시된 바와 같이, 피측정체에 가속도가 인가될 경우 본체에는 관성력이 가해져 도전성 액적(300)이 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS) 내에서 관성력이 가해지는 방향으로 이동하게 된다. 이로 인해, 제1 서브 도전부(410)의 전기적 경로는 짧아지고 제2 서브 도전부(420)의 전기적 경로는 길어짐으로써, 제1 서브 도전부(410)로부터 저항 측정부(500)는 줄어든 전기 저항값을 측정하고, 제2 서브 도전부(420)로부터 저항 측정부(500)는 커진 전기 저항값을 측정한다. 이러한 전기 저항값의 변화를 이용해 저항 측정부(500)는 피측정체에 인가되는 가속도를 산출할 수 있다. 즉, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계(1000)는 도전부(400)의 전기 저항값의 변화를 이용해 피측정체에 인가되는 가속도를 산출해내는 구동원리를 가진다. 한편, 가속도가 제거되면 도전성 액적(300)은 표면 장력에 의하여 폭이 넓은 채널(200)의 중앙 영역(CA)으로 되돌아오게 된다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계(1000)는 도전부(400)의 전기 저항값의 변화를 측정하여 도전성 액적(300)의 움직임을 연속적으로 감지할 수 있기 때문에, 고해상도의 신호 검출이 가능하다. 즉, 고해상도의 신호 검출이 가능함으로써 가속도에 대한 민감도가 향상된 가속도계(1000)가 제공된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계(1000)는 도전성 액적(300)을 피측정체에 인가되는 가속도를 측정하는 수단으로서 이용함으로써, 기계피로(mechanical fatigue)가 가속도계(1000)에 발생되지 않는다. 즉, 기계피로가 발생되지 않음으로써, 내충격성, 신뢰성 및 내구성이 향상된 가속도계(1000)가 제공된다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가속도계를 설명한다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가속도계(1002)의 도전부(400)는 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420)를 포함한다.
제1 서브 도전부(410)는 이동 공간(MS)의 제1 꼭지점(P1)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 갈수록 넓이가 좁아지도록 형성된다.
제2 서브 도전부(420)는 이동 공간(MS)의 제2 꼭지점(P2)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 갈수록 넓이가 좁아지도록 형성된다.
실질적으로, 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)이 사각형 형태로 형성됨으로써, 피측정체에 인가되는 가속도와 도전성 액적(300)의 이동 거리 간에 비선형성(nonlinearity)가 발생되는데, 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 넓이를 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 갈수록 좁게 형성함으로써, 도전성 액적(300)의 이동 거리 당 변하는 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각의 전기 저항을 조절하여 피측정체에 인가되는 가속도와 제1 서브 도전부(410) 및 제2 서브 도전부(420) 각각으로부터 측정되는 전기 저항값 간에 선형성(linearity)을 조절할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가속도계(1002)는 도전부(400)의 넓이를 조절함으로써, 피측정체에 인가되는 가속도와 도전부(400)로부터 측정되는 전기 저항값 간에 선형성을 조절하여, 도전부(400)로부터 측정되는 전기 저항값으로부터 발생되는 신호를 선형화를 위한 후처리 과정 없이 전기 저항값을 이용하여 피측정체에 인가되는 가속도를 측정할 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계를 설명한다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계를 나타낸 도면이다. 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ를 따른 단면도이다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계(1003)의 본체(100)는 평면적으로 사각형 형태이며, 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)은 평면적으로 원형 형태이다.
도전성 액적(300)은 이동 공간(MS) 내부에 위치하며, 피계측체에 인가되는 가속도에 따라 본체(100)에 가해지는 관성력에 의해 이동 공간(MS) 내에서 이동한다. 도전성 액적(300)은 본체(100)에 가해지는 힘인 관성력이 없을 때, 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)에 위치한다. 상세하게, 도 5에 도시된 바와 같이, 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)의 단면이 중앙 영역(CA)으로 갈수록 폭이 커짐에 따라 도전성 액적(300)은 본체(100)에 가해지는 힘인 관성력이 없을 때, 표면 장력에 의해 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)에 위치하게 된다.
도전부(400)는 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS)에 대응하여 위치하며, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460)를 포함한다.
제3 서브 도전부(430)는 복수개이며, 각각의 제3 서브 도전부(430)는 본체(100)의 제1 변(S1)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제3 서브 도전부(430)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제4 서브 도전부(440)는 복수개이며, 각각의 제4 서브 도전부(440)는 본체(100)의 제1 변(S1)과 대향하는 본체(100)의 제2 변(S2)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제4 서브 도전부(440)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제5 서브 도전부(450)는 복수개이며, 각각의 제5 서브 도전부(450)는 본체(100)의 제1 변(S1) 및 제2 변(S2)과 이웃하는 본체(100)의 제3 변(S3)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제5 서브 도전부(450)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제6 서브 도전부(460)는 복수개이며, 각각의 제6 서브 도전부(460)는 본체(100)의 제3 변(S3)과 대향하는 본체(100)의 제4 변(S4)으로부터 이동 공간(MS)의 중앙 영역(CA)으로 상호 이격되어 연장되어 있다. 각각의 제6 서브 도전부(460)의 각 단부는 중앙 영역(CA)에 대응하여 상호 연결되어 있다.
제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각은 저항 측정부(500)와 연결되어 있다.
저항 측정부(500)는 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각과 연결되어 있으며, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각의 전기 저항을 측정하여 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각의 전기 저항값의 변화를 측정한다. 저항 측정부(500)는 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각의 전기 저항값의 변화를 이용해 피측정체에 인가되는 가속도를 산출해낼 수 있다. 한편, 가속도가 제거되면 도전성 액적(300)은 표면 장력에 의하여 단면 상에서 폭이 넓은 채널(200)의 중앙 영역(CA)으로 되돌아오게 된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계(1003)의 구동원리를 설명한다.
도 6는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가속도계를 설명하기 위한 도면이다.
우선, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 가속도계(1003)가 부착된 피측정체가 움직이지 않아 본체(100)에 가해지는 힘인 관성력이 없는 상태에서, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각의 전기적 경로 길이가 동일하기 때문에, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각으로부터 저항 측정부(500)는 동일한 전기 저항값을 측정한다.
다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 피측정체에 가속도가 인가될 경우 본체에는 관성력이 가해져 도전성 액적(300)이 채널(200)이 형성하는 이동 공간(MS) 내에서 관성력이 가해지는 방향으로 이동하게 된다. 이로 인해, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 중 하나 이상의 전기적 경로가 변화됨으로써, 제3 서브 도전부(430), 제4 서브 도전부(440), 제5 서브 도전부(450) 및 제6 서브 도전부(460) 각각으로부터 저항 측정부(500)는 변화된 전기 저항값을 측정한다. 이러한 전기 저항값의 변화를 이용해 저항 측정부(500)는 피측정체에 인가되는 가속도를 산출할 수 있다. 한편, 가속도가 제거되면 도전성 액적(300)은 표면 장력에 의하여 단면 상에서 폭이 넓은 채널(200)의 중앙 영역(CA)으로 되돌아오게 된다.
이상과 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 가속도계(1003)는 도전부(400)의 전기 저항값의 변화를 측정하여 2차원 상의 모든 방향으로 도전성 액적(300)의 움직임을 연속적으로 감지할 수 있기 때문에, 2차원 상의 모든 방향에서 고해상도의 신호 검출이 가능하다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
본체(100), 채널(200), 도전성 액적(300), 도전부(400), 저항 측정부(500)

Claims (7)

  1. 본체;
    상기 본체에 위치하며, 소정의 이동 공간을 형성하는 채널;
    상기 이동 공간에 위치하며, 관성력에 따라 상기 이동 공간 내에서 이동하는 도전성 액적;
    상기 이동 공간에 대응하여 위치하며, 상기 도전성 액적과 접촉하는 도전부; 및
    상기 도전부와 연결되어 상기 도전부의 전기 저항을 측정하는 저항 측정부
    를 포함하는 가속도계.
  2. 제1항에서,
    상기 채널이 형성하는 상기 이동 공간은 평면적으로 사각형 형태이며,
    상기 도전성 액적은 상기 본체로 가해지는 힘이 없을 때, 상기 이동 공간의 중앙 영역에 위치하는 가속도계.
  3. 제2항에서,
    상기 도전부는,
    상기 사각형 형태의 상기 이동 공간의 제1 꼭지점으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제1 서브 도전부; 및
    상기 제1 꼭지점과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 이동 공간의 제2 꼭지점으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제2 서브 도전부
    를 포함하는 가속도계.
  4. 제3항에서,
    상기 도전부의 상기 제1 서브 도전부 및 상기 제2 서브 도전부 각각은 상기 이동 공간의 상기 제1 꼭지점 및 상기 제2 꼭지점 각각으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 갈수록 넓이가 좁아지는 가속도계.
  5. 제1항에서,
    상기 채널이 형성하는 상기 이동 공간은 평면적으로 원형 형태이며,
    상기 도전성 액적은 상기 본체로 가해지는 힘이 없을 때, 상기 이동 공간의 중앙 영역에 위치하는 가속도계.
  6. 제5항에서,
    상기 이동 공간의 단면은 상기 중앙 영역으로 갈수록 폭이 커지는 가속도계.
  7. 제1항에서,
    상기 본체는 평면적으로 사각형 형태이며,
    상기 도전부는,
    상기 사각형 형태의 상기 본체의 제1 변으로부터 상기 이동 공간의 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제3 서브 도전부;
    상기 제1 변과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제2 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제4 서브 도전부;
    상기 제1 변과 이웃하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제3 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제5 서브 도전부; 및
    상기 제3 변과 대향하는 상기 사각형 형태의 상기 본체의 제4 변으로부터 상기 이동 공간의 상기 중앙 영역으로 상호 이격되어 연장되는 복수의 제6 서브 도전부
    를 포함하는 가속도계.
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