JP5190602B2 - 感光性樹脂組成物、それを使用したスクリーン印刷用版及びスクリーン印刷用版の製造方法 - Google Patents
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(1)式(I)
式(II)
一般式(III)
で表される構造単位を含むものである。
この発明の感光性樹脂組成物は、(1)メタクリレート系共重合体、(2)光ラジカル開始剤、(3)光ラジカル開始剤にラジカルを発生させる光とは波長領域が異なる光の照射によって酸を発生する光酸発生剤、(4)ラジカルにより架橋反応する架橋剤を含有しており、必要に応じて各種添加物や溶媒を含んでいてもよい。そこで、以下にこれらについて詳説する。
メタクリレート系共重合体は、図1に示すように、前記式(I)及び式(II)を構成単位として含むものである。なお、メタクリレート系共重合体の分子量は3000〜100000が好ましく、5000〜20000がより好ましい。これは分子量が3000以下であると樹脂強度が著しく弱くなり、100000以上であると水系の現像液に溶解し難くなるからである。
光ラジカル開始剤は、公知の化合物であれば特に限定することなく使用することができる。このような化合物として、具体的には、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類や、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類や、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエ−テル類や、ベンジルジメチルケタール、チオキサンテン、2-クロロチオキサンテン、2,4-ジエチルチオキサンテン、2-メチルチオキサンテン、2-イソプロピルチオキサンテン等のイオウ化合物や、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類や、2-メルカプトベンゾイミダール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物や、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)-イミダゾリル二量体等のイミダゾリル化合物や、p-メトキシトリアジン等のトリアジン化合物や、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(フラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(3,4-ジメトキシフェニル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-エトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-n-ブトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン化合物、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1オン等のアミノケトン化合物等が挙げられる。なお、これらは必要に応じて、単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
光酸発生剤は、光ラジカル開始剤にラジカルを発生させる光とは波長領域が異なる光の照射によって酸を発生する公知の化合物であれば、特に限定することなく使用することができる。ただし、酸を発生させる光源として安価な高圧水銀灯を使用するためには、光酸発生剤がi線により酸を発生する化合物であることが好ましい。このような化合物として、具体的には、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネート、(ヒドロキシフェニル)ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホネート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、p-メチルフェニルジフェニルスルホニウムノナフルオロブタンスルホネート、トリ(tert-ブチルフェニル)スルホニウムトリフルオロメタンスルホネートなどが挙げられる。なお、これらは必要に応じて、単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
架橋剤は、光ラジカル開始剤によって発生したラジカルの作用によりメタクリレート系共重合体とラジカル共重合して架橋する公知の化合物であれば特に限定することなく使用することができる。このような化合物として、具体的には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(DPHA)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(DPPA)、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等多価アルコールの(メタ)アクリレートが挙げられる。また多価アルコールは、その分子内にエーテル結合、エステル結合、ウレタン結合を有していてもよく、多官能(メタ)アクリレートであればよりよい。
この感光性樹脂組成物には、感度、塗布性、密着性、耐熱性、耐薬品性を向上することを目的に、必要に応じて相溶性のある添加物、例えば、可塑剤、安定剤、界面活性剤、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、分散剤などの添加剤を添加してもよい。なお、これらの添加量は感光性樹脂組成物の効果を損なわない範囲であればよく、その用途に応じて定めればよい。
スクリーン印刷用版は、この発明の感光性樹脂組成物をスクリーン上に塗布または感光性樹脂組成物をフィルム上にしたものをスクリーン上に貼り付けて樹脂層を形成し、これに回路パターンを形成したのち、樹脂層を架橋硬化することによって製造する。具体的には、下記の(1)樹脂層形成工程、(2)露光工程、(3)現像工程、(4)後露光工程により製造する。そこで、以下にこれらについて詳説する。
感光性樹脂組成物をスクリーンに塗布・乾燥し、所定の厚みで積層して樹脂層を形成する工程である。なお、樹脂層の厚みは、回路パターンの線幅を微細し、高アスペクト比の微細配線を形成するため、2μm〜200μmが好ましく、10μm〜20μmがより好ましい。
フォトマスクを介して、光ラジカル開始剤がラジカルを発生する光とは波長領域が異なる光をスクリーン上の樹脂層に照射して回路パターンを露光する工程である。この工程によって、樹脂層のうちフォトマスクを介して透過した光があたった部分で、図1に示すように、メタクリレート系共重合体のテトラヒドロピラニル基が脱離して極性が変化する。なお、この極性変化したメタクリレート系共重合体は現像液に容易に溶ける。
露光した樹脂層を有するスクリーンを現像液に漬け置きしたり、ウエスでこすったり、現像液をスプレーにより吹き付けたりすることにより、樹脂層の露光部分を現像し、樹脂層の露光部分にある極性変化したメタクリレート系共重合体を除去する工程である。この工程により、回路パターンを形成することができる。
光ラジカル開始剤がラジカルを発生する波長の光を含む光を照射して、前記樹脂層の未露光部分を架橋する工程である。この工程により発生したラジカルにより、メタクリレート系共重合体と架橋剤と架橋・硬化させる。
2-テトラヒドロピラニルメタクリレート(以下、M-THPと省略する。)及び2-ヒドロキシエチルメタクリレート(以下、2-HEMAと省略する。)を使用して、3種類のメタクリレート系共重合体を有機溶媒を使用する溶液重合法により調製した。
M-THP(品名:NKエステルM-THP,新中村化学工業)、2-HEMA(品名:アクリエステルHO,三菱レイヨン)、光ラジカル重合開始剤である2,2'-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)(以下、AMBMと省略する。品名:V-59,和光純薬)、トルエンは購入したものをそのまま使用した。
メタクリレート系共重合体のMn及びMwは、ポンプ(JASCO,880-PU)、検出器(JASCO,RI-1530,870-UV)、デガッサー(JASCO,DG-980-53)、恒温槽(クロマトサイエンス,CS-600H)、カラム(昭和電工,KF-805L)で構成したSEC(サイズ排除クロマトグラフィー)測定装置を使用して測定した。なお、溶離液にはTHFを使用し、分析温度は40℃、流速は1.0ml/minに設定した。また、分子量標準物質にはポリスチレン(東ソー)を使用した。
(i)HAR-2-1の調製
M-THP 92.4部(90mol%)、2-HEMA 7.6部(10mol%)、トルエン150.0部、AMBN6.0部を500mLの四つ口フラスコに入れ、90℃で6時間ラジカル重合を行った。得られたメタクリレート系共重合体のトルエン溶液(40重量%)は、HAR-2-1と名付けた。なお、メタクリレート溶液重合ポリマーの収率は98%であった。また、調製したメタクリレート系共重合体のMwは8630、Mw/Mnは2.66であった。
M-THP 170.1部、2-HEMA 23.0部、トルエン301.1部、AMBN11.6部を1000mLの四ツ口フラスコに入れ、90℃で6時間ラジカル重合を行った。つづいて、カレンズMOI 9.2部、BHT 0.30部、ジブチル錫ジラウレート0.10部、トルエン11部を同四ツ口フラスコに入れ、約70℃で90分間反応を行った。得られたメタクリレート系共重合体のトルエン溶液(40重量%)は、AP-HAR-200と名付けた。なお、メタクリレート溶液重合ポリマーの収率は97%であった。また、調製したメタクリレート系共重合体のMw:8680、Mw/Mn:2.53であった。
M-THP 200.0部、2-HEMA 51.0部、トルエン376.5部、AMBN15.1部を1000mLの四ツ口フラスコに入れ、90℃で6時間ラジカル重合を行った。つづいて、カレンズMOI 36.6部、BHT 0.43部、ジブチル錫ジラウレート0.14部、トルエン39.0部を同四ツ口フラスコに入れ、約70℃で90分間反応を行った。得られたメタクリレート系共重合体のトルエン溶液(40重量%)は、AP-HAR-201と名付けた。なお、メタクリレート溶液重合ポリマーの収率は97%であった。また、調製したメタクリレート系共重合体のMw:9250、Mw/Mn:2.20であった。
架橋剤と光ラジカル開始剤を含まない樹脂組成物を調製し、これを使用するスクリーン印刷用版を製造して、その解像性について評価した。
メタクリレート系共重合体は、実施例1で製造したHAR-2-1を使用した。また、光酸発生剤はCPI-100P(49%ポリプロピレンカーボネート溶液、サンアプロ株式会社)を使用した。さらに、乾燥遅効剤は3-メトキシブチルアセテート(以下、メトアセと省略する。新中村化学工業株式会社)、現像試薬はテトラメチルアンモニウムヒドロキシド五水和物(以下、TMAHと省略する。東京化成工業株式会社)を使用した。
スリーンは、線径16μmのステンレス製(SUS304)の線材を織った500メッシュのカレンダー加工したスクリーン(厚み20μm)を使用した。なお、スクリーンを枠に紗張りする際のバイアス角度は23°であった。
回路パターンの露光には平行光紫外線露光装置を使用した。なお、この光源の主波長は365nmであり、波長254nmの光は発生しない。
(i)樹脂層の形成
CPI-100PをHAR-2-1の樹脂分に対して5重量%となるように加えて混合し、自然放置して溶媒を蒸発させ、固形分が50重量%から60重量%となるまで粘度を上げた。メトアセを加えて粘度を調整し、この樹脂組成物をスクリーンのプリント面に厚みが10〜12μmとなるようにバケットで塗布し、40℃で3時間以上暗所で熱風乾燥した。
まず、樹脂層を形成したスクリーンにフォトマスクを密着させ、平行光紫外線露光装置(波長365nm)で露光した。なお、照射した紫外線の量(主露光量)が758J/cm2、948J/cm2、1138J/cm2と異なるスクリーンを製造した。また、フォトマスクはLine/Space=10/10μmを使用した。つぎに、2.38wt%TMAH水溶液に8分間浸漬して現像した。最後に、現像後のスクリーンを水で洗浄して40℃で熱風乾燥した。
スクリーン上の樹脂層を走査型電子顕微鏡(JSM-6480LV、日本電子、以下、SEMと略記する。)により観察した。その結果を図2に示す。
感光性樹脂組成物を調製して、これを使用するスクリーン印刷用版を製造し、後露光工程が樹脂層の強度に与える影響について評価した。なお、回路パターンは形成しなかった。
メタクリレート系共重合体、光酸発生剤、トルエン、乾燥遅効剤、現像試薬は実施例2と同じものを使用した。また、架橋剤はNKエステルA-DPH(以下、A-DPHと省略する。6官能基,新中村化学工業株式会社)、光ラジカル開始剤はDarocur1173(チバ・スペシャリティケミカルズ株式会社)を使用した。
スリーンは、線径16μmのステンレス製(SUS304)の線材を織った500メッシュのスクリーン(厚み20μm)にカレンダー加工を施したものを使用した。なお、スクリーンを枠に紗張りする際のバイアス角度は23°であった。光ラジカル開始剤による後露光には、波長254nm光を発生する紫外線後露光装置を使用した。
(i)感光性樹脂組成物の調製
HAR-2-1の樹脂分とA-DPHとが重量比で4:1となるよう混合した。これに、CPI-100PをHAR-2-1の樹脂分に対して5重量%となるように加えた。さらに、Darocur1173をA-DPHに対して5重量%となるように加えて、感光性樹脂組成物を調製した。
感光性樹脂組成物を室温・暗所に保管することにより、溶媒をある程度蒸発させて粘度を上げ、メトアセを加えて粘度調整した。そして、粘度調節した感光性樹脂組成物をスクリーンのプリント面に厚みが10〜12μmとなるように塗布し、40℃で3時間以上暗所で乾燥した。
乾燥したスクリーンを紫外線後露光装置で後露光して樹脂層を架橋し、スクリーン印刷用版を製造した。なお、後露光時間を0分、3分、10分と変えてスクリーンを製造した。
後露光時間だけ変えて製造したスクリーン印刷用版の樹脂層を、トルエンを含ませたウエスで1分間摩擦し、摩擦前後の膜厚の変化(減少膜厚)によって、樹脂層の強度を評価した。なお、膜厚の測定はデジタル膜厚計を使用した。その結果を図3に示す。
(1)スクリーン印刷用版の製造
架橋剤にA-DPHの代りにNKエステル14G(以下、14Gと省略する。2官能,新中村化学工業株式会社)を使用した点を除いて、実施例3と同様の方法、同様の配合、同様の材料を使用してスクリーン印刷用版を製造した。
後露光を行わずに製造したスクリーン印刷用版を使用して、平行光紫外線露光装置による紫外線の露光量(主露光量)が解像性に与える影響について調べた。ここでは主露光量を711J/cm2、1422J/cm2と変えてスクリーン印刷用版を製造した。
感光性樹脂組成物を調製して、これを使用するスクリーン印刷用版を製造し、その解像性、密着性、樹脂層の強度について評価した。なお、露光工程における光ラジカル重合開始剤の反応を抑制するため、重合禁止剤を添加した。
メタクリレート系共重合体は、実施例1で製造したHAR-2-1(40%トルエン溶液)を使用した。光酸発生剤はCPI-100P(49%ポリプロピレンカーボネート溶液、サンアプロ株式会社)を使用した。架橋剤は、新中村化学工業株式会社製のNKオリゴ UA-HAR-50(ウレタンアクリレート)、UA-HAR-101(ウレタンアクリレート)、UA-HAR-102(ウレタンアクリレート)、UA-HAR-100(ウレタンメタクリレート)を使用した。光ラジカル重合開始剤は、Darocur1173(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社)、光重合禁止剤は2,2,6,6-テトラメチルピペリジン-N-オキシル(東京化成工業株式会社)を使用した。
回路パターンの露光には、実施例2で使用した平行光紫外線露光装置を使用した。また、光ラジカル開始剤による後露光には、実施例3で使用した紫外線後露光装置を使用した。
スリーンは、線径16μmのステンレス製(SUS304)の線材を織った500メッシュのスクリーン(厚さ19〜20μm)にカレンダー加工を施したものに、後述するシランカップリング剤による表面処理を施して使用した。なお、スクリーンを枠に紗張りする際のバイアス角度は23°であった。また、フォトマスクはクロムマスク(Line/Space=11.5μm/8.5μm、膜厚:10μm)を使用した。
シランカップリング剤の1重量%酢酸エチル溶液をスクリーンの両面に塗布し、40℃で10分間乾燥した。酢酸エチルを含ませたウエスでスクリーンを拭き、40℃で2分間乾燥した。
メタクリレート系共重合体と、架橋剤と、光酸発生剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合禁止剤とを混合して、感光性樹脂組成物を調製した。なお、メタクリレート系共重合体と架橋剤との混合比は、メタクリレート系共重合体:架橋剤が4:1、3:1、2:1(樹脂重量分比)のものを調製した。光酸発生剤はメタクリレート系共重合体に対して、5重量%となるように添加した(樹脂重量分比)。光重合開始剤と光重合禁止剤は、架橋剤に対してそれぞれ3重量%加えた。ただし、UA-HAR-100を使用した場合のみ1重量%となるように添加した。
調整した感光樹脂組成物を、樹脂分が50〜60%程度になるまで室温で溶剤を蒸発させた。シランカップリング剤処理を施したスクリーンに感光樹脂組成物を10μm塗布し、40℃で3時間以上乾燥した。フォトマスクをスクリーンに接触させ、紫外線露光装置(主波長365nm)にて所定量露光した。2.5重量%TMAH水溶液に8分間浸漬して、水で1分間洗浄し、40℃で10分間乾燥した。紫外線後露光装置により5000mJ/cm2となるよう後露光した。
種々の架橋剤をメタクリレート系共重合体:架橋剤=4:1となるように混合した印刷用版を、デジタルマイクロスコープにより観察した写真を図5に示す。4種類の架橋剤の中でUA-HAR-50の場合に最も解像性が良好であった。UA-HAR-50以外の架橋剤では樹脂層にひび割れが発生した。
メタクリレート系共重合体:架橋剤(UA-HAR-50)=3:1のスクリーン印刷用版について、スクリーンと樹脂層との密着性をテープ剥離試験により調べ、樹脂層の強度を鉛筆硬度試験により調べた。具体的には下記のようにして行った。
後露光により架橋密度を高めて樹脂層の強度を向上させるため、メタクリレート系共重合体の側鎖に二重結合を導入することを試みた。
メタクリレート系共重合体に実施例1で製造したAP-HAR-200、AP-HAR-201を使用して実施例5に記載の方法により、メタクリレート系共重合体:架橋剤(UA-HAR-50)=3:1のスクリーン印刷用版を製造した。
製造したスクリーン印刷用版の解像性について、実施例5と同様にレザー顕微鏡及びSEMにより観察した。その結果を図10から図14に示す。なお、図10はスクリーン印刷用版のデジタルマイクロスコープ像である。また、図11はメタクリレート系共重合体としてAP-HAR-200を使用するスクリーン印刷用版のSEM像であり、図12は同じスクリーン印刷用版のレーザー顕微鏡による観察結果である。さらに、図13はメタクリレート系共重合体としてAP-HAR-201を使用するスクリーン印刷用版のSEM像であり、図14は同じスクリーン印刷用版のレーザー顕微鏡による観察結果である。
実施例5と同様の方法でテープ剥離試験を行って、スクリーンと樹脂層との密着性について調べた。その結果、図15に示すように、テープ剥離試験の結果、界面剥離、凝集破壊ともに起きてはいるものの、HAR-2-1の場合に比べて剥離の割合が小さくなった。これは、2-HEMAが増えたことによってステンレススクリーンとの密着性が向上し、メタクリロイル基を導入することによって架橋密度が大きくなり、強度が上がって凝集破壊が少なくなったからであると、考えられる。
実施例5と同様の方法で鉛筆硬度試験を行って、樹脂層の強度について調べた。その結果、AP-HAR-200及びAP-HAR-201をメタクリレート系共重合体として使用したスクリーン印刷用版の鉛筆硬度はいずれもHBであること、HAR-2-1をメタクリレート系共重合体として使用したスクリーン印刷用版は鉛筆硬度がHであること、そして、これらが現行の感光剤よりも柔らかいことが分かった。
スクリーン印刷を行うにあたっては、ペーストに含まれる溶剤や印刷用版の洗浄に使用する溶剤に樹脂が溶解してはならない。そこで、実施例5及び実施例6で製造したスクリーン印刷用版の樹脂層を、溶剤を含ませたウエスで最大500回こすり、樹脂層の厚さの変化及びタックの有無を調べた。その結果を図16及び表1に示す。
メタクリレート系共重合体としてAP-HAR-201を使用するスクリーン印刷用版を製造したのち、このスクリーン印刷用版を使用して銀ペーストを基板上に印刷し、印刷物を評価した。以下にその詳細について説明する。
スクリーン印刷用版は、線径13μmのステンレス製(SUS304)の線材を織った590メッシュのスクリーン(厚さ17μm)にカレンダー加工を施したスクリーンを使用し、フォトマスクにクロムマスク(Line/Space=10μm/10μm、膜厚:10μm)のものを使用したことを除いて、実施例5及び実施例6と同様の方法で製造したものを使用した。
導電塗料 CA-2503-4(大研化学工業株式会社)を使用した。
基板は、多孔膜つきポリイミドフィルム(ダイセル化学工業株式会社)、ポリイミドフィルム(品名:カプトン100EN、東レ・デュポン株式会社)、インクジェットフィルム(セイコーエプソン株式会社)をそれぞれ使用した。
印刷は、印刷機LS-150(ニューロング精密工業株式会社)を使用してスキージ印刷したのち、200℃で30分焼成した(インクジェットフィルムを使用した場合のみ焼成しなかった)。なお、印刷条件は、スキージ材質:ウレタンゴム、スキージ硬度70°、スキージ速度:30mm/sec、スキージ落込み:フリー、スクレッパ速度:30mm/sec、スクレッパ落し込み:0.5mm、印圧:0.13MPa、背圧:0.10MPa、クリアランス:1.5mmである。
印刷物の評価は、SEM観察によってパターンの短絡及びショートの有無を調べた。その結果を表2に示す。
スクリーン印刷によって製造した印刷物における基板と銀ペーストとの間の接合強度及び銀ペースト部分の電気抵抗値を測定した。その詳細を以下に示す。
銀ペーストとして、XA-9053(有機銀-酸化銀系,藤倉化成)、CA-2503-4(サブミクロン銀粉末-フェノール-アクリル系、大研化学工業)、CA-2503-4B(サブミクロン銀粉末-フェノール-アクリル系,大研化学工業)を使用した。なお、XA-9053を塗布する場合には、必要に応じてプライマー(XB-3058、ポリエステル-ブロックイソシアネート系)を基板に塗布した。
基板には、ポリイミド基板であるカプトン100EN(東レ・デュポン製)及びスライドガラスを使用した。また、ポリイミド基板は、コロナ処理を施したものと未処理のものを使用した。なお、コロナ処理は、線対円筒型のコロナ放電処理装置のロール部分にポリイミド基板を両面テープで貼り付け、放電出力1kW又は0.5kW、処理速度1m/min、電極間隙3mm、放電領域通過回数1〜10回で行った。
スクリーン印刷用版は、実施例8に記載のスクリーン印刷用版を使用して、実施例8に記載の条件で行った。なお、CA-2503-4及びCA-2503-4Bを使用した場合には、実施例8と同様に200℃で30分間印刷物を焼成した。一方、XA-9053を使用した場合には、予備乾燥(75℃〜150℃,10〜30分)、加圧焼成(200℃,1.5kPa〜21MPa,1〜30分)、後乾燥(200℃,10分)の3工程を様々に組み合わせて印刷物を焼成した。
ボンドテスター(dage5000、Dage Arctek Co.,LTd)を使用して、ツール高さ0μm、せん断速度500μm/sで銀ペースト/ポリイミド基板の接合強度を測定した。図19の(a)にCA-2503-4/ポリイミド基板、図19の(b)にCA-2503-4B/ポリイミド基板の接合強度の測定結果を示す。この図から、コロナ放電処理を行うことによりわずかに強度が上昇したことが分かった。また、図20にXA-9053/ポリイミド基板(ディスペンサー塗布、ランド径1〜2mm)の接合強度の測定結果を示す。この図から、150〜250℃の中では200℃の焼成が最も高強度であることが分かった。
図21に示すように,スライドガラス上に厚さ50μmのセロハンテープでマスキングしたスライドガラスに銀ペーストを塗布し、(3)と同様の熱履歴で硬化させて試験片を製作した。そして、同図に示すように試験片の電気抵抗を4点端子法により測定した。
Claims (7)
- (1)式(I)
式(II)
(2)光ラジカル開始剤と、
(3)少なくとも光ラジカル開始剤にラジカルを発生させる光とは波長領域が異なる光の照射によって酸を発生する光酸発生剤と、
(4)ラジカルにより架橋反応する架橋剤と、
を含有する感光性樹脂組成物。 - メタクリレート系共重合体が、
一般式(III)
で表される構造単位を含む請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 - 光酸発生剤がi線により酸を発生する化合物である請求項1又は請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
- 露光工程では架橋反応を抑制するとともに、後露光工程では架橋反応を阻害し難い重合禁止剤を含む請求項1から請求項3の何れかに記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1から請求項4の何れかに記載の感光性樹脂組成物をスクリーンに塗布・乾燥して樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、
光ラジカル開始剤がラジカルを発生する光とは波長領域が異なる光をスクリーン上の樹脂層に照射して回路パターンを露光する露光工程と、
前記樹脂層の露光部分を現像して除去する現像工程と、
光ラジカル開始剤がラジカルを発生する波長の光を含む光を照射して、前記樹脂層の現像工程において除去されなかった部分を架橋する後露光工程と、
をこの順番で含むスクリーン印刷用版の製造方法。 - シランカップリング剤によって表面処理されたスクリーンを使用する請求項5に記載のスクリーン印刷用版の製造方法。
- 請求項5又は請求項6に記載のスクリーン印刷用版の製造方法により製造してなるスクリーン印刷用版。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008085995A JP5190602B2 (ja) | 2007-07-25 | 2008-03-28 | 感光性樹脂組成物、それを使用したスクリーン印刷用版及びスクリーン印刷用版の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007193311 | 2007-07-25 | ||
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JP2008085995A JP5190602B2 (ja) | 2007-07-25 | 2008-03-28 | 感光性樹脂組成物、それを使用したスクリーン印刷用版及びスクリーン印刷用版の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009048163A JP2009048163A (ja) | 2009-03-05 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5190602B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5517860B2 (ja) * | 2009-10-16 | 2014-06-11 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機el表示装置、及び、液晶表示装置 |
JP5498971B2 (ja) | 2010-03-11 | 2014-05-21 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、液晶表示装置、及び、有機el表示装置 |
JP5660483B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2015-01-28 | 国立大学法人東北大学 | レジスト用重合体組成物、レジスト組成物、およびパターンが形成された基板の製造方法 |
JP5495991B2 (ja) * | 2010-07-12 | 2014-05-21 | 富士フイルム株式会社 | 着色感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、カラーフィルタ、並びに、表示装置 |
JP5814103B2 (ja) * | 2011-12-16 | 2015-11-17 | 東京応化工業株式会社 | 厚膜ホトレジストパターンの製造方法 |
CN107949903B (zh) | 2015-09-18 | 2022-10-14 | 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 | 复合部件及复合部件的制造方法及含有脂肪族聚碳酸酯的层 |
WO2018180548A1 (ja) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | 東レ株式会社 | 感光性組成物、硬化膜および有機el表示装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004095773A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Toray Ind Inc | 半導体装置用組成物、およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
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2008
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Publication number | Publication date |
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JP2009048163A (ja) | 2009-03-05 |
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