JP5187895B2 - ノズル位置補正機構およびそれを備える塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル位置補正機構およびそれを備える塗布装置に関し、より具体的には、液体材料を吐出するノズルとテーブル上に載置されたワークとを駆動機構により相対移動させてワーク面に液体材料を塗布する際に、メンテナンス作業に伴うノズル位置のずれを補正することができるノズル位置補正機構に関する。

液体材料の補充やメンテナンスなどの作業を行う場合、ノズルや貯留容器を含む吐出装置を塗布装置から取り外すことがある。そして、液体材料の補充やメンテナンスなどの作業が完了すると吐出装置を再び塗布装置へと取り付ける。このとき、吐出装置が有するノズル先端に形成される吐出口の位置は、取り外す前の位置からずれていることがほとんどである。このままの状態で塗布作業を再開すると、所望としない位置へ液体材料を塗布することになってしまい、結果として液体材料が塗布されたその製品は不良品となってしまう。そこで、上記のような事態を回避すべく、吐出装置を取り付ける際にノズル先端位置を調整する機構や方法が種々提案されている。

例えば、特許文献１には、基板面に液体材料を塗布する塗布装置において、液体材料が貯留されるシリンジに取り付けられ、基板面に向け液体材料を吐出するノズルと、このノズルを横方向から撮像し、その撮像画像から、ノズル先端の高さ位置、及びノズル先端の鉛直線からの位置ずれ量を検出する位置検出器と、この位置検出器からの前記高さ位置と前記位置ずれ量とに基づき、前記シリンジの位置補正を行う制御器とを具備することを特徴とする塗布装置、が開示されている。

また、特許文献２には、塗布ノズルおよび撮像装置を備える塗布装置において、それらの相対位置を検出する方法であって、塗布ノズルにより試し塗布面に塗布剤を塗布するとともに、そのときの撮像装置の撮像中心の位置である第一位置を取得し、次に撮像装置により試し塗布面に塗布された塗布剤を撮像してその塗布剤の中心の位置と撮像装置の撮像中心とが一致する位置である第二位置を取得し、その第一位置と第二位置とのＸ軸方向およびＹ軸方向の差を塗布ノズルの撮像装置に対する相対位置を表す値として取得することを特徴とする撮像装置と塗布ノズルとの相対位置検出方法、が開示されている。
特許文献１や２で用いられている位置検出機器はカメラであるが、その他の光学機器、例えば、レーザー変位計やフォトセンサなどを用いる場合もある。
このような特別の機器を設けることをきらい、吐出装置が搭載されたＸＹＺ駆動機構を手動で操作して、目視にて塗布位置などの目標位置に合うようノズル先端を移動させ、その移動量の差違から塗布作業開始位置などの設定を修正することも依然として行われている。

特開２０００−５６７９号公報 特開２００３−１４２８１６号公報

しかしながら、特許文献１および２に記載の発明においては、位置を検出するためにカメラやセンサなどの特別の機器が必要であり、また、検出結果に基づく演算処理や制御も複雑になっていた。
また、特許文献２に記載の発明においては、位置検出のために試し塗布を行わなければならず、このために試し塗布面を別に設ける必要があった。
さらに、目視により位置合わせをしている場合、その位置は作業者によりばらつきがあり、精度にも限界があった。また、この作業は繁雑で時間がかかっていた。
そこで本発明は、カメラやセンサなどの特別な機器を必要とせず、簡易な構成で機械的に位置調整が行えるノズル位置補正機構およびそれを備える塗布装置を提供することを目的とする。

第１の発明は、液体材料を吐出するノズルとテーブル上に載置されたワークとを駆動機構により相対移動させてワーク面に液体材料を塗布する際に、前記ノズルの位置を補正するためのノズル位置補正機構であって、前記駆動機構に対する前記ノズルの相対位置を調整する調整部と、前記ノズルが挿通されるノズル挿通孔、および、前記ノズル挿通孔に挿通されたノズルの先端部分と当接する当接面を有する位置決め部材を備えることを特徴とするノズル位置補正機構である。
第２の発明は、第１の発明において、前記位置決め部材は、前記当接面を形成する空間を内部に含み、前記ノズル挿通孔が、前記位置決め部材の一の面と前記空間を連通するように設けられることを特徴とする。
第３の発明は、第１の発明において、前記位置決め部材が、前記ノズル挿通孔を有する第１の部材と、前記当接面を形成する空間を含み、前記第１の部材と接合される第２の部材とを備えることを特徴とする。
第４の発明は、第２または３の発明において、前記空間が、前記当接面を外部から視認できる窓を構成することを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記位置決め部材には、異なる内径のノズル挿通孔が複数設けられていることを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記ノズル挿通孔のノズル進入側の端部が、テーパー状に形成されることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記位置決め部材が、プラスチック材料からなることを特徴とする。

第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明に係るノズル位置補正機構と、液体材料を吐出するノズルを有する吐出装置と、液体材料が塗布されるワークを載置するテーブルと、ノズルとワークとを相対移動させる駆動機構と、制御部と、を備える塗布装置である。
第９の発明は、第８の発明において、前記制御部が、位置決め部材の位置を前記駆動機構の基準位置に対する相対位置として把握することを特徴とする。

本発明によれば、カメラやセンサなどの特別の機器を用いず機械的に位置決めがなされるので、構成を単純化することが可能であり、作業者による作業精度のばらつきもない。
また、複雑な演算処理や制御を行わないため短時間でノズル位置調整を行うことができ、塗布作業開始位置などの設定修正の必要もない。

以下に、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
［位置決め部材］
本発明に係る位置決め部材１０１の概略斜視図を図１に、正面図を図２に示す。図１および２の構成例では、位置決め部材１０１は、嵌合部材１０２と当接部材１０３の二つの部材から構成される。嵌合部材１０２は、概ね直方体形状をしており、吐出装置７０５が有するノズル７０７の先端部分が挿通される孔１０４が上面から下面へ貫通するよう設けられている。
孔１０４は、ノズル７０７より僅かに広径に形成されており、ノズル７０７のずれを修正するのに充分な深さ（例えば、ノズルの長さの１／３〜１／２）がある。孔１０４は、ノズル進入側の縁部にテーパー部１０５が設けられている。別の言い方をすれば、孔１０４の入口部分は円錐台状であり、円錐台の先端から出口部分にかけては円筒状となっている。このようにテーパー部１０５が設けられていることにより、後述する調整機構３０１によりノズル７０７先端部分を孔１０４に嵌合させる際、ノズル７０７をより挿入しやすくしている。また、嵌合部材１０２は、熱的性質（特に膨張や収縮）の優れたプラスチック材料（例えば、ポリエーテルエーテルケトン）、からなることが好ましい。なぜなら、第一に、熱による膨張や収縮を抑えることにより熱に起因するノズル位置補正の誤差を最小限とすることができるからであり、第二に、金属材料により構成すると、ノズル７０７を孔１０４に挿入した際にノズル７０７を傷つける可能性があるからである。このような目的が達成できるのであれば、位置決め部材１０１の一部部分のみ（例えば、嵌合部材１０２のみ）をプラスチック材料で構成してもよい。
なお、孔１０４の形状はノズル７０７の形状に合わせて形成されればよく、円筒状に限定されない。

当接部材１０３は、中央に窪み部１０８を有する凹形状をしており、この窪み部１０８の底面が、ノズル７０７先端部分の吐出口が形成される面と突き当たる当接面１０６を構成する。当接部材１０３と嵌合部材１０２との間に隙間あけて当接面１０６を設けることにより、後述する調整機構３０１によりノズル７０７を嵌合させてノズル先端を当接面に突き当てる際、目視でも確認することができるようになる（窓の役割）。図１および２の構成例では、上記二つの部材（１０２、１０３）が、ねじ１０７などの締結部材で固定されて位置決め部材１０１を構成する。嵌合部材１０２と当接部材１０３とが別部材で構成されていることにより、孔１０４の内側や外側の縁部などに液体材料が付着してしまった場合や、ノズル７０７の径を変更する場合などに、位置決め部材１０１全体を外さなくとも嵌合部材１０２のみ取り外して清掃や他部品への交換を行うことができる。
もっとも、上記二つの部分（１０２、１０３）は別部材で構成しなくてもよく、ノズル７０７の嵌合する孔１０４やノズル先端が当接する当接面１０６を一つの部材に設けてもよい。また、窪み部１０８は必須の構成ではなく、設けなくともよい。

位置決め部材１０１は、駆動機構（７０２、７０３、７０４）の基準位置（例えば原点など）に対して相対的に決まった位置（基準位置から指定された座標にある位置）に配設される。例えば、位置決め部材１０１は、テーブル７１０上の塗布対象物７０８と重ならない位置に配設されるが、ノズル７０７の可動範囲であればどこに設置してもよい。位置決め部材１０１は特定の位置に固定配置されているため、位置決め部材１０１によってノズル７０７の位置調整をすれば、制御部に記憶した位置（座標）へノズル７０７の位置を合わせることができる。そうすると、位置調整されたノズル７０７とワーク上の塗布位置との関係は制御部に記憶した位置（座標）のとおりとなるので、塗布開始位置の特定作業も不要である。

また、位置決め部材１０１の嵌合部材１０２に、比較的深い（長い）直線状の孔をワーク面に対し垂直な直線と平行に設けることにより、ノズル７０７の取替え時におけるノズル中心軸の前記の垂直な直線からのズレ（傾きなど）を修正することができる。本発明では、ノズル７０７の先端部分が当接部材１０３の当接面に突き当たる位置にノズル７０７を調整したときに、前記ノズル７０７の先端部分のＺ軸方向の位置（基準面からの高さ）は常に同じであるため、ワーク上に塗布するために必要なクリアランスの設定を変更する必要はない。したがって、ノズル７０７の種類や製造誤差によるノズル先端部分の形状等のばらつきへの対応が容易である。
このように、本発明の位置決め部材１０１を使用することにより、ノズル７０７の塗布位置、ワークとのクリアランスの設定を自動または手動で変更することなく、簡単に位置を合わせることができる。

［調整機構］
本発明に係る調整機構３０１の概略斜視図を図３に、その三面図を図４に示す。図４において、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は左側面図を示す。ここで、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の各方向は図３で符号３０２に示す座標軸の方向とする。
図３に示すように、調整機構３０１は、吐出装置７０５（点線で図示）と、Ｚ軸駆動機構７０４（点線で図示）に取り付けられた接続部材３０３との間に設置されている。そして調整機構３０１は、Ｘ方向調整部３０４、Ｙ方向調整部３０５、Ｚ方向調整部３０６からなり、各調整部（３０４、３０５、３０６）は、それぞれスライドガイド（３０７、３０８、３０９）およびスライド部材（３１０、３１１、３１２）からなっている。各スライドガイド（３０７、３０８、３０９）は、図３に矢印で示した各方向へ各スライド部材（３１０、３１１、３１２）を移動できるよう取り付けられており、これにより吐出装置７０５をＸＹＺの各方向へ移動させることができる。

また、各調整部（３０４、３０５、３０６）には、各調整部を任意の位置で固定するためのクランプ板（３１３、３１４、３１５）とクランプねじ（３１６、３１７、３１８）が取り付けられている。クランプ板（３１３）は、スライド部材と接続部材間に渡るように設けられており、クランプ板（３１４、３１５）は二つのスライド部材間を渡るように設けられている。クランプ板（３１３、３１４、３１５）は、一方が固定ねじ３１９で固定され、他方がクランプねじ（３１６、３１７、３１８）で固定されている。クランプ板（３１３、３１４、３１５）のクランプねじ（３１６、３１７、３１８）側には、移動方向に対応した長円の孔３２０が開けられている。クランプねじ（３１６、３１７、３１８）は太径のつまみ部分と細径のねじ部分とから構成され、そのねじ部分は、その孔３２０の幅に対してわずかな隙間をもって挿通されており、そのねじ部分の先端はスライド部材又は接続部材に螺入している。
クランプ板（３１３、３１４、３１５）およびクランプねじ（３１６、３１７、３１８）の働きを、Ｚ方向調整部３０６を例にとって以下に説明する。Ｚクランプねじ３１８を緩めると、Ｚクランプねじ３１８のつまみ部分とＹスライド部材３１１との間にＺクランプ板３１５を挟んでいた力が緩み、固定ねじ３１９側のＺスライド部材３１２が移動可能となる。逆に、Ｚクランプねじ３１８を締めると、Ｚクランプ板３１５がＺクランプねじ３１８のつまみ部分とＹスライド部材３１１との間に挟まれて動きが制限され、Ｚスライド部材３１２は固定される。Ｚスライド部材３１２はＺクランプ板３１５に開けられた長円の孔３２０の長さの範囲内で移動可能となっている。

［補正手順］
上記位置決め部材１０１および調整機構３０１を用いたノズル７０７の位置の補正手順を以下に説明する。なお、以下では説明の便宜上、符号を付す場合があるが、符号と対応する図面の構成に限定した手順を説明するものではない。
図５に、本発明の第一の補正手順のフローチャートを示す。
まず、ノズルを有する吐出装置７０５を塗布装置７０１の駆動機構（７０２、７０３、７０４）に調整機構３０１を介して取り付ける（ＳＴＥＰ１１）。ここで、調整機構３０１にてノズル７０７をＺ方向上方へ移動させておく（ＳＴＥＰ１２）。これは、次のステップでノズル７０７を移動した際にノズル７０７の先端が位置決め部材１０１に衝突しないようにするためである。次に、予め設定された位置決め部材１０１の位置（ＸＹＺ位置決め位置）へ駆動機構（７０２、７０３、７０４）を用いてノズル７０７を移動する（ＳＴＥＰ１３）。なお、位置決め位置は、一度設定をしたら変更しないようにし、ノズル７０７の位置の調整・変更は調整機構３０１を用いて行う（ＳＴＥＰ１４〜１５）。位置決め部材１０１の上方にノズル７０７を移動したら、はじめに、ノズル７０７の先端が嵌合部材の孔１０４の位置に合うようにＸおよびＹ方向の調整部３０４、３０５を用いてノズル７０７の先端の位置を微調整する。この位置合わせが完了したら、クランプねじ３１６、３１７を締めてＸおよびＹ方向調整部を固定する（ＳＴＥＰ１４）。続いて、Ｚ方向調整部３０６を用いてノズル７０７を嵌合部材の孔１０４へ挿入し、ノズル７０７の先端が当接面１０６に突き当たるまで下降させる。この際、ノズル７０７の先端を目視にて確認しながら行うとよい。突き当たった位置でクランプねじ３１８を締めてＺ方向調整部３０６を固定する（ＳＴＥＰ１５）。ノズル７０７を嵌合部材の孔１０４から抜脱し、塗布作業を開始する（ＳＴＥＰ１６）。

また、別の方法として、次に示すような手順でノズル７０７の位置調整を行うこともできる。
図６に、本発明の第二の補正手順のフローチャートを示す。
まず、ノズル７０７を有する吐出装置７０５を塗布装置７０１の駆動機構（７０２、７０３、７０４）に調整機構３０１を介して取り付ける（ＳＴＥＰ２１）。次に、予め設定されたＸＹＺ位置決め位置のうちＺ位置を除くＸおよびＹ位置へ駆動機構（７０２、７０３）を用いてノズル７０７を移動する（ＳＴＥＰ２２）。位置決め部材１０１の上方にノズルが移動したら、ノズル７０７の先端位置が嵌合部材の孔１０４の位置に合うようにＸおよびＹ方向の調整部３０４、３０５を用いてノズル７０７の先端の位置を微調整する。この位置合わせが完了したら、クランプねじ３１６、３１７を締めてＸおよびＹ方向調整部を固定する（ＳＴＥＰ２３）。続いて、予め設定されたＸＹＺ位置決め位置のうちＺ位置への移動のみを駆動機構（７０４）を用いて途中まで行う（ＳＴＥＰ２４）。ＳＴＥＰ２４で嵌合部材の孔１０４に途中まで挿入されたノズル７０７を、Ｚ方向調整部３０６を用いてノズル７０７の先端が当接面１０６に突き当たるまで下降させる。この際、ノズル７０７の先端を目視にて確認しながら行うとよい。突き当たった位置でクランプねじ３１８を締めてＺ方向調整部を固定する（ＳＴＥＰ２５）。ノズル７０７を嵌合部材の孔１０４から抜脱し、塗布作業を開始する（ＳＴＥＰ２６）。
以上では、二つの手順を例示したが、位置決め部材１０１と調整機構３０１を用いるものであれば、上記二つの手順に限らず他の手順によってもよい。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。

［塗布装置］
本実施例に係る塗布装置７０１は図７に示すように、Ｘ駆動機構７０２と、Ｙ駆動機構７０３と、Ｚ駆動機構７０４と、吐出装置７０５とこれらの動作を制御する制御部７０９とを備えている。
Ｘ駆動機構７０２には、Ｚ駆動機構７０４が設けられている。Ｙ駆動機構７０３上には、塗布対象物７０８を載置するテーブル７１０が設けられている。吐出装置７０５は、液体材料を貯留する貯留容器７０６と、その先端に液体材料を吐出するノズル７０７とを備えている。吐出装置７０５として貯留容器７０６とノズル７０７との組み合わせを示したが、ノズル７０７を有するものであれば、これに限らずどのような装置でもよい。
調整機構３０１は、Ｚ駆動機構７０４と吐出装置７０５との間に配設される。このとき、調整機構３０１、Ｚ軸駆動機構７０４および吐出装置７０５をＹ方向に直列に取り付けるのではなく、吐出装置７０５が調整機構３０１のＸ方向の部位（例えばスライド部材３１２）に配置されるようにすることが好ましい。これにより調整機構３０１に対する操作が容易にできるようになる。また、吐出装置７０５を調整機構３０１のＸ方向に配設することでＸ軸駆動機構７０２からの距離が短くなり、吐出装置７０５および調整機構３０１をＹ方向に直列に配設した場合よりもＺ軸駆動機構７０４をたわませる荷重を低減することができる。

位置決め部材１０１は、テーブル７１０上の塗布対象物７０８と重ならない位置に配設されている。本実施例では、位置決め部材１０１をテーブル７１０上に設けているが、必ずしもテーブル７１０上に設ける必要はなく、ノズル７０７の可動範囲であればどこに設置してもよい。また、テーブル７１０上に設ける場合、当接部材１０３をテーブル７１０と一体に設け、嵌合部材１０２のみ着脱可能としてもよい。いずれの設置方法によるとしても、位置決め部材１０１は、駆動機構（７０２、７０３、７０４）の基準位置（例えば原点など）に対して相対的に決まった位置（基準位置から指定された座標にある位置）に配設される。交換などの際に取り付け位置の再現性を確保するよう、取り付け面を精度よく加工することや、図示しない位置決めピンなどを設けることが好ましい。

塗布作業に際しては、まず、準備した吐出装置７０５を塗布装置７０１に設置する。その後、前述したような方法でノズル７０７の位置を調整する。そして、塗布対象物７０８をテーブル７１０上に載置し、固定する。次に、ノズル７０７の下へ移動し、塗布が開始される。塗布が終了すると、テーブル７１０および吐出装置７０５は各駆動機構（７０２、７０３、７０４）により待機位置へ移動し、一つの塗布対象物７０８に対する塗布作業は終了となる。複数の塗布対象物７０８に対し塗布作業を続ける場合は、既塗布の塗布対象物７０８を未塗布の塗布対象物７０８と交換して上記の作業を繰り返す。また、液体材料を補充したり、ノズル７０７を交換したりといった作業を行うため吐出装置７０５を取り外し、取り付けを行った際には、前述のノズル位置調整を行い、上記の作業を再開する。

［位置決め部材に複数個の孔が設けられる構成例］
実施例１では、位置決め部材１０１のノズルが嵌合する孔１０４は一つであったが、使用が想定される複数種類のノズル径に対応するため、内径の異なる複数個の孔（８０５〜８０９）を設けてもよい。図８にその構成例を示す。
図８に示す位置決め部材８０１は、実施例１と同様に嵌合部材８０２と当接部材８０３の二つの部材からなる。嵌合部材８０２には、最も使用するノズルの嵌合する孔８０５を中央に設ける。そしてその右側には中央の孔８０５よりも大きい径の孔（８０６、８０７）を設け、左側には中央の孔８０５よりも小さい径の孔（８０８、８０９）を設ける。それぞれの孔（８０５〜８０９）には、前述と同様なテーパー部８１０が孔の径に合わせて設けられている。このように予め複数種類の孔（８０５〜８０９）を設けておくことにより、液体材料の変更や所望とする塗布の量の変更にも位置決め部材８０１を交換することなく対応できる。また、予め使用するノズル径が決まっていれば、そのノズルが嵌合する孔を設ければよい。当接部材８０３に形成される当接面８０４は、孔（８０５〜８０９）の数に対応して形成する。

本発明は、液体材料をノズルより吐出する種々の装置において実施可能である。
実施例として挙げた、先端にノズルを有する貯留容器内の液体材料に調圧されたエアを所望時間だけ印加するエア式だけでなく、例えば、フラットチュービング機構またはロータリチュービング機構を有するチュービング式、先端にノズルを有する貯留容器の内面に密着摺動するプランジャーを所望量移動して吐出するプランジャー式、スクリューの回転により液体材料を吐出するスクリュー式、所望圧力が印加された液体材料をバルブの開閉により吐出制御するバルブ式、弁座に弁体を衝突させて液体材料をノズル先端より飛翔吐出させるジェット式の装置にも本発明を適用することができる。

本発明に係る位置決め部材の概略斜視図である。 本発明に係る位置決め部材の正面図である。 本発明に係る調整機構の概略斜視図である。 本発明に係る調整機構の三面図である。 本発明に係る第一の補正手順のフローチャートである。 本発明に係る第二の補正手順のフローチャートである。 実施例１に係る塗布装置の概略斜視図である。 実施例２に係る位置決め部材を示す概略斜視図である。

符号の説明

１０１ 位置決め部材
１０２ 嵌合部材（第１の部材）
１０３ 当接部材（第２の部材）
１０４ 孔（ノズル挿通孔）
１０５ テーパー部
１０６ 当接面
１０７ ねじ
１０８ 窪み部（空間）
３０１ 調整機構
３０２ 座標軸
３０３ 接続部材
３０４ Ｘ方向調整部
３０５ Ｙ方向調整部
３０６ Ｚ方向調整部
３０７ Ｘスライドガイド
３０８ Ｙスライドガイド
３０９ Ｚスライドガイド
３１０ Ｘスライド部材
３１１ Ｙスライド部材
３１２ Ｚスライド部材
３１３ Ｘクランプ板
３１４ Ｙクランプ板
３１５ Ｚクランプ板
３１６ Ｘクランプねじ
３１７ Ｙクランプねじ
３１８ Ｚクランプねじ
３１９ 固定ねじ
３２０ 長円の孔
７０１ 塗布装置
７０２ Ｘ駆動機構
７０３ Ｙ駆動機構
７０４ Ｚ駆動機構
７０５ 吐出装置
７０６ 貯留容器（シリンジ）
７０７ ノズル
７０８ 塗布対象物
７０９ 制御部
７１０ テーブル
８０１ 位置決め部材
８０２ 嵌合部材
８０３ 当接部材
８０４ 当接面
８０５ 中央の孔
８０６、８０７ 大きい径の孔
８０８、８０９ 小さい径の孔
８１０ テーパー部

Claims (9)

1. 液体材料を吐出するノズルとテーブル上に載置されたワークとを駆動機構により相対移動させてワーク面に液体材料を塗布する際に、前記ノズルの位置を補正するためのノズル位置補正機構であって、
   前記駆動機構に対する前記ノズルの相対位置を調整する調整部と、
   前記ノズルが挿通されるノズル挿通孔、および、前記ノズル挿通孔に挿通されたノズルの先端部分と当接する当接面を有する位置決め部材を備えることを特徴とするノズル位置補正機構。
2. 前記位置決め部材は、前記当接面を形成する空間を内部に含み、
   前記ノズル挿通孔が、前記位置決め部材の一の面と前記空間を連通するように設けられることを特徴とする請求項１に記載のノズル位置補正機構。
3. 前記位置決め部材が、前記ノズル挿通孔を有する第１の部材と、前記当接面を形成する空間を含み、前記第１の部材と接合される第２の部材とを備えることを特徴とする請求項１に記載のノズル位置補正機構。
4. 前記空間が、前記当接面を外部から視認できる窓を構成することを特徴とする請求項２または３に記載のノズル位置補正機構。
5. 前記位置決め部材には、異なる内径のノズル挿通孔が複数設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のノズル位置補正機構。
6. 前記ノズル挿通孔のノズル進入側の端部が、テーパー状に形成されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のノズル位置補正機構。
7. 前記位置決め部材が、プラスチック材料からなることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のノズル位置補正機構。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載のノズル位置補正機構と、液体材料を吐出するノズルを有する吐出装置と、液体材料が塗布されるワークを載置するテーブルと、ノズルとワークとを相対移動させる駆動機構と、制御部と、を備える塗布装置。
9. 前記制御部が、位置決め部材の位置を前記駆動機構の基準位置に対する相対位置として把握することを特徴とする請求項８に記載の塗布装置。