JP5181412B2 - 反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を管理する方法 - Google Patents
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前記紫外線透過光学フィルターが装着された前記光源装置から、前記ライン状ライトガイドとプレート状ライトガイドとがこの順に接続されており、
前記紫外線透過光学フィルターを透過した光を、前記プレート状ライトガイドによって直線ライン状紫外照明光とし、
前記直線ライン状紫外照明光を反射防止フィルムの表面に、かつ該反射防止フィルムの全幅にわたり照明し、
前記反射防止フィルムの表面にて反射した反射光による光像を、前記撮像レンズ部を通して光像検出手段である前記リニア型CCDカメラにて撮像したとき、
前記撮像された画像が、反射防止フィルムの反射防止層の膜厚が66.7〜130nmの間で変化するのであれば、前記膜厚が100nmの部分を中心に膜厚の変化がそのままの明暗で表示されることを特徴とする反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を管理する方法である。
成であれば、前述したとおり、およそ可視光400〜750nmの中心値540nmの緑付近の波長の1/4の長さであるため、この層に入射する可視光は540nmを中心として干渉を起こし、反射してこなくなる。
トガイド3の上端部に対しては1本乃至複数本を接続することができる。
B…被検査体
1…紫外光を含む可視光源装置
2…ライン状ライトガイド
2a…ガイド基端部
2b…先端部
3…プレート状ライトガイド
4…光学フィルター
11…光像検出手段
12…光学レンズ部
Claims (1)
- 紫外線波長域を含む光源装置と、波長350nm以上400nm未満の光を透過する紫外線透過光学フィルターと、前記光源装置から発する紫外波長域を含む可視光をライン状にガイドするライン状ライトガイドと、被検査体である反射防止フィルムの幅方向に平行に固定配置されたプレート状ライトガイドと、紫外域波長360nm以上400nm未満の紫外線の長波長側に60〜70%の高い透過率を持つ撮像レンズ部と、光像検出手段であるリニア型CCDカメラと、を少なくとも具備する測定装置を用いた、ウェブ状反射防止フィルム製造中の該反射防止フィルム走行状態での反射防止フィルム全幅の反射防止層の膜厚を管理する方法であって、
前記紫外線透過光学フィルターが装着された前記光源装置から、前記ライン状ライトガイドとプレート状ライトガイドとがこの順に接続されており、
前記紫外線透過光学フィルターを透過した光を、前記プレート状ライトガイドによって直線ライン状紫外照明光とし、
前記直線ライン状紫外照明光を反射防止フィルムの表面に、かつ該反射防止フィルムの全幅にわたり照明し、
前記反射防止フィルムの表面にて反射した反射光による光像を、前記撮像レンズ部を通して光像検出手段である前記リニア型CCDカメラにて撮像したとき、
前記撮像された画像が、反射防止フィルムの反射防止層の膜厚が66.7〜130nmの間で変化するのであれば、前記膜厚が100nmの部分を中心に膜厚の変化がそのままの明暗で表示されることを特徴とする反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を管理する方法。
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