JP2006038728A - 反射防止透明フィルムの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外光の300から400nmの波長域の光源を用い、透明フイルムの基材の片側表面に低反射層を形成した反射防止透明フィルムの片側表面より照射して、その正反射光を紫外光用カメラで撮像することにより、反射防止透明フィルムの光学欠陥を検出することを特徴とする反射防止透明フィルムの検査方法。
【選択図】図1
Description
光学的欠陥では、従来の異物検査では発見することが出来なかった。
不十分となる透明フィルムとなる。本発明の検査方法に用いる被検査体の反射防止透明フィルムは、1/4波長の波長は550nmとしたものである。すなわち、可視光波長域である400nmから700nmのほぼ中央値となる550nmの緑色の光が打ち消される厚さに設定されている。
とした波長域で紫外線をも反射しにくくする。すなわち、紫外光の入射光100(s1)の正反射光r0及びr1では、極小値となる。図2(b)に示すように、数10nm凸状に浮上した場合、該周囲の低反射層2では、膜厚が190nmの低反射層であり、紫外光は低反射域から外れ、しっかり反射してくるようになる。すなわち、紫外光の入射光100(s2)の正反射光r0及びr1では、極大値となる。
2…低反射層
9…光学欠陥
10…低反射透明フィルム
20…ブラックライト
30…UV用CCDカメラ
40…低反射透明フィルム
50…ラインCCDカメラ
60…UV照明
90…無欠陥の低反射層
91…凹状に沈下した光学欠陥
92…凸状に浮上した光学欠陥
100…(300nmから400nm長波長域の)紫外光の入射光
Claims (1)
- 反射防止機能、又は低反射機能を持った反射防止透明フィルムの表面状態を検査し、光学欠陥を検出する反射防止透明フィルムの検査方法において、紫外光の300から400nmの波長域の光源を用い、透明フイルムの基材の片側表面に低反射層を形成した反射防止透明フィルムの片側表面より照射して、その正反射光を紫外光用カメラで撮像することにより、反射防止透明フィルムの光学欠陥を検出することを特徴とする反射防止透明フィルムの検査方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007010403A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Toppan Printing Co Ltd | 反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法 |
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-
2004
- 2004-07-29 JP JP2004221272A patent/JP2006038728A/ja active Pending
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