JP2013053904A - 表面検査方法及び表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】白色光光源3からウエーハ10の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ10の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物12aが存在する場合に、透明異物12において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源4から前記ウエーハ10に照射し、前記ウエーハ10の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子5で受光することを特徴とする表面異物検査方法。
【選択図】図1
Description
発明の目的および利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素および組み合わせによって実現され達成される。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、典型例および説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない、と理解される。
図1は、本発明の実施形態に係る表面異物検査装置を示す斜視図である。
なお、本実施形態におけるウエーハ10は、半導体ウエーハだけでなく、回路基板のように上面が目視で平坦と判断される検査対象物を含む。
(付記1)白色光光源からウエーハの上面に白色光を照射し、前記ウエーハの前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物が存在する場合に、透明異物において光干渉による暗部を生じさせる入射角で単色光を単色光光源から前記ウエーハに照射し、前記ウエーハの前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光とを共通の受光素子で受光することを特徴とする表面異物検査方法。
(付記2)前記受光素子は、多波長受光光強度センサーであることを特徴とする付記1に記載の表面異物検査方法。
(付記3)前記受光素子の受光位置は目視位置であることを特徴とする付記1又は付記2に記載の表面異物検査方法。
(付記4)前記白色光が照射される前記領域には金属膜が露出していることを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1つに記載の表面異物検査方法。
(付記5)ウエーハの上面に向けて白色光を照射する白色光光源と、前記ウエーハの前記上面のうち前記白色光が照射される領域に透明異物が存在する場合に、前記透明異物において光干渉による暗部を生じさせる入射角の単色光を前記ウエーハに向けて照射する単色光光源と、前記ウエーハの前記上面で反射する前記白色光と前記単色光を受光する受光素子と、を有することを特徴とする表面異物検査装置。
(付記6)前記受光素子には表示装置が接続されることを特徴とする付記5に記載の表面異物検査装置。
(付記7)前記単色光光源には前記単色光の前記入射角を変更する第1の位置調整器が取り付けられ、前記受光素子には前記単色光の受光角を調整する第2の位置調整器が取り付けられていることを特徴とすると付記5又は付記6に記載の表面異物検査装置。
(付記8)前記白色光光源から反射により前記受光素子に至る単色光の光路により規定される面は、前記単色光光源から反射により前記受光素子に至る前記単色光の光路により規定される面と同一面上にあることを特徴とする付記5乃至付記7のいずれか1つに記載の表面異物検査装置。
2 試料ホルダー
3 白色光光源
4 単色光光源
5 受光素子
6 表示装置
7 チャンバ
10 ウエーハ
11 金属膜
12 透明膜
12a透明薄膜状異物
Claims (5)
- 白色光光源からウエーハの上面に白色光を照射し、
前記ウエーハの前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物が存在する場合に、透明異物において光干渉による暗部を生じさせる入射角で単色光を単色光光源から前記ウエーハに照射し、
前記ウエーハの前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光とを共通の受光素子により受光する
ことを特徴とする表面異物検査方法。 - 前記受光素子は、多波長受光光強度センサーであることを特徴とする請求項1に記載の表面異物検査方法。
- 前記受光素子の受光位置は目視位置であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表面異物検査方法。
- ウエーハの上面に向けて白色光を照射する白色光光源と、
前記ウエーハの前記上面のうち前記白色光が照射される領域に透明異物が存在する場合に、前記透明異物において光干渉による暗部を生じさせる入射角の単色光を前記ウエーハに向けて照射する単色光光源と、
前記ウエーハの前記上面で反射する前記白色光と前記単色光を受光する受光素子と、
を有することを特徴とする表面異物検査装置。 - 前記受光素子には表示装置が接続されることを特徴とする請求項4に記載の表面異物検査装置。
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