JP2002310924A - シートの欠陥検査装置及びシートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】シート上に発生する欠陥、特にピンホールや薄
膜、気泡欠陥に対して精度の高い大きさの判定や精度の
高い欠陥の判別を可能とし、欠陥の過検出を低減させ、
高い欠陥判別精度を有するシートの欠陥検査装置を提供
する 【解決手段】シート搬送手段により搬送されるシートの
一面側に光源を配置し、他面側に撮像素子を有する受光
部を配置し、受光部から出力される信号の中から欠陥信
号を検出する欠陥検査装置において、前記光源と前記シ
ートの間に光量補正板を設けたことを特徴とするシート
の欠陥検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シートに発生して
いる欠陥、とくにピンホール、正常な部分に比べシート
厚みが薄くなっている薄膜部や気泡の存否を検査するシ
ートの欠陥検査装置、およびその検査装置を用いたシー
トの製造方法に関する。ここに云うシートの代表的な例
として、高分子フィルムがある。

【０００２】

【従来の技術】高分子フィルムを溶融成形する工程、更
にはそれを延伸する工程では、種々の原因で、得られる
フィルムに、直径数十μｍ〜数十ｍｍの大きさのピンホ
ール（貫通穴）、気泡や正常な部分に比べ厚みが薄くな
っている薄膜部からなる欠陥が発生していることがあ
る。なお、この薄膜部は、多くの場合、生成した気泡が
破れることにより形成される。

【０００３】この中で、特にピンホールのあるフィルム
が製品としてユーザーに出荷されると様々な障害の原因
になる。例えば、フィルムが磁気テープの基材として使
用される場合、（イ）製造された磁気テープ中のピンホ
ールが記録の欠陥をもたらす、（ロ）フィルムに磁性体
が塗布されるときに塗液が裏側に滲み出し塗布工程の装
置を汚し、正常部の裏側の汚染をもたらすとともに、汚
れた装置をクリーニングするための工数の増加をもたら
す、といった問題を引き起こす。

【０００４】そこで、ピンホールのある製品がユーザー
に出荷されないようにするため、ピンホールの存否を確
実に検査することが必要となる。また、ピンホールが頻
発したり周期的に発生する場合に、早急に製造工程の対
応箇所を修正して、不良品が製造されないように工程を
管理するためにも、ピンホールを迅速かつ確実に検出す
ることが必要となる。特に、工程を管理するためには、
迅速な対応が必要とされるため、成形されたフィルムが
巻き取られるまでの工程において、オンラインでピンホ
ールの検出をすることが重要となる。

【０００５】一方、フィルムの他の代表的な欠陥として
フィルム中の異物の混在があるが、この異物とピンホー
ルとを比較すると、同程度の大きさの欠陥では、ピンホ
ールの方がより重大な障害となる。また、両者は、発生
原因が異なるため、品質保証、工程管理のいずれの面か
らも、両欠陥は区別して検出できることが重要である。

【０００６】また、気泡や薄膜部は、ピンホールになり
うる可能性があるため、検出されるべき欠陥ではある
が、そのままの状態にある限りは必ずしも製品に影響を
与えないので、ピンホールや異物とは区別して検出でき
ることが好ましい。

【０００７】前者のピンホールと異物とを区別して、ピ
ンホールのみを検出する手法が、特開平８−３３８８１
４号公報に開示されている。この方法は、紫外線を用い
るもので、フィルムが紫外線を吸収する特性を利用した
ものである。ピンホール、気泡や薄膜部は、紫外線を透
過するが、異物は透過しないため、ピンホールと異物の
分離検出が可能となっている。

【０００８】この公知の手法によれば、同じ面積であれ
ば、気泡、薄膜部の欠陥信号は、ピンホールの欠陥信号
より低くなるため、上記後者のピンホールと気泡、薄膜
部との分離検出もある程度は可能と云える。

【０００９】しかし、シートの一面側に光源を配置し、
シートからの透過光をもう一面側に配置した受光部で受
光する方法では、光源から出射される光の指向性や受光
部に用いているカメラレンズの収差によって、受光部の
視野中央部と端部とでは、受光光量に差が生じ、視野中
央部の強度が強く、端部が弱くなる強度分布となる。

【００１０】よって、同じ大きさの欠陥であっても、受
光部の視野中央部で検出される場合と端部で検出される
場合とでは、欠陥信号が異なり、大きさの判定を精度良
く行うことは難しい。また、ピンホールと気泡、薄膜部
とでは、基本的には前者のほうが欠陥信号は大きいが、
受光部の視野端部で検出されるピンホール欠陥と視野中
央部で検出される気泡、薄膜部欠陥とでは、後者の方が
欠陥信号が大きくなることがあり、これら両欠陥を分離
検出することを難しくしている。

【００１１】このため、このような受光部における受光
光量の不均一性を補正するため、シェーディング補正を
行うことが知られている。これは、あらかじめ、光源の
強度分布を記憶して前記強度分布がほぼ均一となるよう
な補正特性を求め、得られた欠陥信号をこの補正特性で
補正することにより、光源の不均一照射による欠陥信号
の不均一性を補正するものである。

【００１２】ところが、ラインライトガイド光源のよう
に、特に指向性の強い光源を用いた欠陥検査装置では、
受光部で得られる受光強度の不均一性が、視野内で５０
％以上となることがある。このため、受光強度の低くな
る視野端部付近では、得られた欠陥信号が受光部のリニ
アリティのなくなる領域のレベルとなり、シェーディン
グ補正だけでは補正しきれず、同一欠陥における信号レ
ベルのバラツキを引き起こすという問題が解決されてい
ない。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上述
の従来技術の問題点の解決にあり、シートに発生する欠
陥、特にピンホール欠陥や気泡、薄膜部欠陥に対して精
度の高い大きさの判定や精度の高い欠陥の判別を可能と
し、欠陥の過検出を低減させ、高い欠陥判別精度を有す
るシートの欠陥検査装置、及び、この欠陥検査装置を用
いたシートの製造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
の本発明のシートの欠陥検査装置は、被検査シートが位
置するシート位置の一面側に配置された光源と、該シー
ト位置の他面側に配置された受光部と、前記光源から出
光し前記シート位置に位置せしめられるシートを透過し
前記受光部により受光され、それにより受光部から出力
される信号に基づき前記被検査シートの欠陥を検出して
なるシートの欠陥検査装置において、前記光源と前記シ
ート位置との間に、光量補正板が配設されていることを
特徴とする。

【００１５】この光量補正板は、シートの幅方向に受光
部の画角θに対する受光光量Ｉ（θ）を実質的に一定と
する光透過パターンを有していることが好ましく、この
光透過パターンは、光量補正板の長手方向における表面
粗さもしくは光透過率、またはその両方を変化させるこ
とにより形成されていることが好ましい。

【００１６】前記受光部は、撮像素子を有していること
が好ましい。

【００１７】前記光源は、被検査シートの幅方向を向い
た線状光源からなり、前記受光部の入口に集光レンズが
設けられていることが好ましい。

【００１８】この線状光源は、複数本の光学繊維の一端
を線状に並べたラインライトガイドからなることが好ま
しい。

【００１９】前記光源は、４００ｎｍ以下の波長にピー
クを持つ紫外線ランプからなることが好ましい。

【００２０】本発明に係るシートの製造方法は、シート
成形工程と、該シート成形工程で成形されたシートの欠
陥を上記本発明に係るシートの欠陥検査装置により検出
するシート検出工程と、該シート欠陥検出工程で検出さ
れるシートの欠陥に基づいてシート成形工程を管理する
成形管理工程とからなる。

【００２１】本発明のシート欠陥検査装置により欠陥を
検出する対象となるシートの種類は特に限定されない
が、好ましいシートとしては、アラミドフィルム、ポリ
イミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム
を挙げることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明において、光源から発せら
れた測定光は、光量補正板を通過した後、シートに照射
される。このとき、シート上に照射される当該測定光の
強度分布は、前記光量補正板によって、受光部の視野中
央部に相当する部分が一番低く、視野端部に相当する部
分が一番高くなる。

【００２３】例えば、受光部の視野中央部と視野端部に
同一のピンホール欠陥が存在した場合、欠陥を垂直に透
過する光量は、前記強度分布によって、視野端部の方が
大きくなるが、受光部は視野端部の欠陥を画角θの角度
をもって観測するため、視野端部の欠陥を通過して受光
部に受光される測定光のθ成分と視野中央部の欠陥を通
過して受光部に受光される測定光の垂直成分とは、実質
的に同じ光量となり、同じ大きさの欠陥として検出され
る。

【００２４】これは、測定光がある程度指向性を持って
いる場合、その出射光の強度が垂直成分＞θ成分である
こと、また、指向性を持たない完全拡散光源と見なせる
光源であっても、受光部に設けられたレンズの収差によ
って、θ方向の成分が減少することによる。なお、指向
性を持った測定光の場合、受光部に設けられたレンズの
収差の影響も受ける。

【００２５】よって、本発明によれば、受光部の画角θ
に対する同一欠陥からの受光光量を実質的に一定とする
ことができるため、受光部の視野内での同一欠陥による
出力差を低減することができ、精度の高い判別が可能と
なる。

【００２６】また、本発明のシートの製造方法によれ
ば、上記のように欠陥を精度よく判別できるため、ユー
ザーへの誤検出による規格外製品の出荷を防止すること
ができるとともに、曖昧な判別によって生じる欠陥の過
検出による収率低下を低減することができ、さらに、欠
陥が頻発したり、周期的に発生した場合に、早急に製造
工程の対応箇所を修正することで、欠陥のある製品を製
造し続けることを防ぐことができ、結果として不良なシ
ートの製造を最小限にとどめ、歩留まりを高めることが
できる。

【００２７】以下、本発明の一実施態様について、図面
を参照しながら説明する。

【００２８】図１は、本発明のシート欠陥検査装置の一
例の正面概略図である。図１において、シート位置は、
走行するシート１が搬送される位置に相当する。シート
１は、図の紙面の表面から裏面方向に搬送される。シー
ト位置の一面側（図においては、シート１の下面側）
に、シート１の幅方向に亘る蛍光灯からなる線状光源２
が配置されている。シート１と線状光源２との間に、光
量補正板３が配設されている。シート位置の他面側（図
においては、シート１の上面側）に、固体撮像素子５を
内蔵した受光部４が配置されている。受光部４の入口に
は、結像（集光）用のレンズ６が取付られている。

【００２９】線状光源２から出射した測定光は、光量補
正板３によって、線状光源２の長手方向の強度分布が、
受光部４の視野端部に相当する部分において強く、視野
中央部に相当する部分において弱くなるように調整され
る。長手方向の強度分布が調整された測定光は、シート
位置を通過するシート１に照射され、シート１を透過し
た透過光は、レンズ６で結像され、受光部４の固体撮像
素子５に至る。

【００３０】蛍光灯を含む一般的な線状光源は、完全拡
散光源とみなすことができ、どの方向にも一様な光の出
射強度を持つが、光量補正板３がない場合、視野端部か
らの光は、レンズ６によって、画角θの角度で受光部４
で受光されるため、視野中央部付近のように画角θ＝０
°（垂直）で受光される光量と比較すると、レンズ６の
収差によって光量が低下している。ところが、光量補正
板３により、視野端部付近の測定光の照射強度は、あら
かじめ視野中央部の照射強度と比較すると強くなってい
るため、レンズ６の収差があっても視野中央部と実質的
に同じ光量を得ることができる。

【００３１】よって、同一の大きさの欠陥であれば、受
光部４の視野内のどの位置で検出されても同じ大きさの
映像信号の変化として、固体撮像素子５で検出され、固
体撮像素子５に電気的に結合された信号処理装置７で、
映像信号に閾値を設けたり、映像信号の微分波高値に適
当な閾値を設ける等の処理をすることにより、同一欠陥
として精度良く検出できるとともに欠陥の大きさを精度
良く判別することができる。

【００３２】また、広幅のシートは、その後、複数本の
小幅のシート（テープ）に裁断（スリット）され、テー
プ状の製品とされるのが通常であるが、広幅のシートに
おいて欠陥が検出された場合は、広幅のシートをさらに
小幅にスリットして巻き返す際に、欠陥のある部分がテ
ープ状の製品に含まれないように、スリット位置を変え
たり、それができないときには、欠陥を含む部分だけテ
ープ状の製品としてユーザーに出荷しないようにするこ
とができる。さらに、欠陥が頻発したり周期的に発生す
る場合には、その頻度から原因を推定したり、周期から
製造工程の対応箇所を確定することで、早急に製造工程
の対応箇所を修正することが可能となる。

【００３３】その結果、欠陥のある製品を製造し続ける
ことが防止され、不良なシートの製造を最小限にとど
め、歩留まりを高めることができる。

【００３４】図２は、光量補正板３ａの補正パターンの
一例を示すグラフである。図２のグラフにおいて、横軸
はシート１の幅方向の位置を、縦軸は光量補正板３ａの
光透過率を示し、光量補正板３ａの長手方向の光透過率
の分布曲線ａが示されている。

【００３５】図３は、光量補正板３ａを用いない場合に
受光部４で検出される光の強度分布を示すグラフであ
る。このグラフにおいて、横軸はシート１の幅方向の位
置を、縦軸は受光部４で検出される光の強度を示し、こ
の検出される光の強度の分布曲線ｂが示されている。こ
の分布曲線ｂは、レンズ６の収差によって、視野両端部
が落ち込んだ強度分布となることを示している。

【００３６】図２の光透過率の分布曲線ａ、すなわち、
光量補正板３ａの光透過パターンは、図３の光の強度の
分布曲線ｂが実質的に平坦になるように、長手方向の透
過率を１０〜１００％の範囲で変化させたものである。
この状態が、図２において、グラフとともに模式的に示
されている。

【００３７】このような透過パターンは、光量補正板３
ａの表面粗さを変化させた拡散板により光の拡散の度合
いを変化させたもので創出することもできる。また、拡
散を目的としたものであれば、表面を加工したものだけ
でなく、内部粒子による散乱を利用した形式のものでも
良い。

【００３８】図４は、光量補正板３ｃの補正パターンの
他の一例を示すグラフである。このグラフにおいて、横
軸はシート１の幅方向の位置を、縦軸は光量補正板３ｃ
の光透過率を示し、光量補正板３ｃの長手方向の光透過
率の分布曲線ｃが示されている。

【００３９】光量補正板３ｃの光透過パターンは、受光
部４の画角θに対して受光部４に受光される受光強度Ｉ
（θ）がほぼ一定となるように連続的に変化させること
が好ましいが、画角θに対する受光強度Ｉ（θ）に大き
な差を生じない範囲で、図４の分布曲線ｃが示すよう
に、段階的に変化するものであっても良い。ただし、境
界部分は連続的に変化していて、強度分布が急激に変化
しないものが望ましい。

【００４０】光量補正板３の素材は、特に限定されるの
もでなく、石英やＢＫ７等、一般的なガラスやプラスチ
ック等、光透過性の素材であればよい。

【００４１】固体撮像素子５を用いた受光部４として
は、画素を線状（例えば、直線状）に配列したものと、
画素を面状に配列したものの２種類がある。本発明にお
けるシートの欠陥検出が走行しているシートについて行
われる場合は、シートの走行方向に対して切れ目なく検
出が行われることが要求されるため、受光部４は、画素
を直線状に配列した固体撮像素子５から構成されている
ことが好ましく、シートの走行方向に対して直角の方向
に走査できるように固体撮像素子５を用いた受光部４と
光源２を配置することが好ましい。

【００４２】この場合、画素を直線状に配列した固体撮
像素子５は、検出速度を変えることにより、測定対象と
なるシートの走行方向での分解能を変えることができ
る。また、固体撮像素子５を用いた受光部４を走査方向
に複数並べることにより、同時に広い視野の測定を高精
度に行うことができる。

【００４３】一方、光源２としては、蛍光灯などの放電
管のように、線状にほぼ均一に被検査シートを照射でき
るものであることが好ましい。また、ハロゲンランプや
放電ランプのようにそのままでは均一に線状に照射でき
ない光源であっても、ラインライトガイドやガラスロッ
ドを利用した光ロッド等を用いて線状に照射可能とした
ものであっても良い。

【００４４】さらに、固体撮像素子５の走査周波数が電
源周波数と同程度以上であるならば、蛍光灯や放電管の
場合は、高周波点灯することが好ましく、ハロゲンラン
プや放電ランプの場合は、直流点灯することが好まし
い。高周波点灯とは、３０ｋＨｚ程度の高周波電圧を使
用して蛍光灯を点灯させる方式であり、固体撮像素子５
の走査周波数より高い高周波電圧を蛍光灯に加えること
により、蛍光灯の点滅による光量変化が一走査周期内で
平均化されて検出に影響しなくなるようにすることがで
きる。

【００４５】次に本発明の別の実施態様について図面を
参照しながら説明する。

【００４６】図５は、シート１１の一面側に紫外線光源
１２を配置し、シート１１と光源１２の間に光量補正板
１３を配置し、他面側に紫外線透過フィルタ１８と結像
用のレンズ１６を備えた受光部１４を配置してなるシー
トの欠陥検査装置を示す。ここで、シート１１は、近紫
外線領域の光を吸収する特徴を持つフィルムである。

【００４７】図５において、光源１２から出射された紫
外線は、光量補正板１３を通過する。光量補正板１３に
より、長手方向（シート１１の幅方向）の紫外線の強度
分布が、受光部１４の視野端部に相当する部分で強く、
視野中央部に相当する部分で弱くなるように調整され
る。長手方向の強度分布がこのように調整されている紫
外線はシート１１に照射されるが、その大部分の紫外線
はシート１１で吸収され、受光部１４側には透過しな
い。ただし、紫外線光源１２から出射された可視光はシ
ート１１を透過し、受光部１４に至るが、受光部１４の
前に配置された紫外線透過フィルタ１８により吸収さ
れ、固体撮像素子１５で検出されることはない。

【００４８】一方、シート１１にピンホール欠陥１９が
存在する場合には、紫外線はそこを透過して受光部１４
に至り、固体撮像素子１５で映像信号に変換され、この
映像信号が信号処理装置１７で処理されピンホール欠陥
１９が判別される。さらに、シート１１に気泡欠陥や薄
膜部欠陥などフィルムが薄くピンホールとなる寸前の部
分では、紫外線が完全にシート１１で吸収されないた
め、紫外線が受光部１４に至り、固体撮像素子１５で映
像信号として検出され、この映像信号が信号処理装置１
７で処理され、ピンホールと同様、欠陥として検出され
る。

【００４９】紫外線光源１２としては、例えば、ブラッ
クライト蛍光灯、殺菌蛍光灯、紫外線ランプ、ラインラ
イトガイドや石英ロッドを出光部に備えた紫外線ランプ
が適している。ラインライトガイドは、多数本の光学繊
維からなり、その一端は、直線状に配列され、そこから
延び他端に向かう光学繊維は、並行に、横断面が、例え
ば、円形に束ねられてなる。並行に束ねられた前記他端
に、紫外線ランプからの紫外線を収束して照射すること
により、前記直線状に配列された一端から紫外線が直線
状にほぼ均一に出射される。

【００５０】ここで、多数本の光学繊維からなる前記ラ
イトガイドにおいて、光学繊維が並行に収束されている
前記他端に、横断面が六角形などの多角形か円形の形状
のガラスロッドが実質的に密着して取り付けられてなる
ライトガイドが、より好ましく用いられる。このライト
ガイドのガラスロッドに入射した紫外線は、ガラスロッ
ド内部の壁面で多重反射した後、光学繊維の並行に束ね
られた部分を進み、次いで、光学繊維の直線状に配列さ
れた部分の前記一端から出光されることにより、より均
一な直線状の紫外線が得られる。なお、ガラスロッドの
材質は、光透過性のものであれば、ガラスに限定される
ことはない。

【００５１】特に、画素を直線状に配列した固体撮像素
子１５を用いる場合、直線状にほぼ均一な紫外線量を得
るために、ブラックライト蛍光灯、殺菌蛍光灯、ライン
ライトガイドや石英ロッドを出光部に備えた紫外線ラン
プが適している。

【００５２】検査に使用する紫外線の波長は、被検査シ
ート１１の素材に適した波長を選択する必要があり、ポ
リエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムの場合に
は短波長紫外線（約２７０ｎｍ付近、例えば２４０〜３
００ｎｍ）、アラミドフィルム、ポリイミドフィルム、
ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリエチレンナ
フタレート等の場合には長波長紫外線（３６５ｎｍ付
近、例えば３００〜４００ｎｍ）を用いることが好まし
いが、短波長紫外線を用いても良い。

【００５３】ここで、光量補正板１３は、蛍光灯や放電
管等、線状にほぼ均一に被検査シートを照射できる光源
１２の場合、基本的にレンズ１６の収差による受光部１
４の画角θに対する受光光量の変化を補正すればよい
が、ラインライトガイドを用いる場合、ラインライトガ
イド端部から出射される紫外線が指向性を持つことを考
慮する必要がある。

【００５４】蛍光灯等、線状光源の場合は、出射される
光があらゆる方向に均一に広がる完全拡散光源として考
えられるのに対して、ラインライトガイドの場合、出射
する光が指向性を持つため、受光部１４の視野端部に相
当する光源１２の位置から画角θ方向に出射される光
は、視野中央部が画角θ＝０°（垂直）で光源１２から
受光する光と比較すると強度が極端に低くなり、その差
は５０％以上になる。

【００５５】このため、同じ大きさのピンホール欠陥１
９であっても、受光部１４の視野中央部と端部では映像
信号に少なくとも５０％の差を生じ、同じ大きさの欠陥
として判断することができない。よって、光量補正板１
３において、視野中央部と端部に相当する部分の透過率
または拡散の度合いの差を大きくする必要がある。

【００５６】図６は、光源にラインライトガイドを使用
した場合における受光部で受光される測定光の強度分布
を示すグラフである。横軸は、画角（θ）、縦軸は、光
の強度（Ι（θ））である。ラインライトガイドからの
出射光が指向性を持つため、視野中央部と端部では、光
の強度に５０％以上の差がある。

【００５７】これに対して表面粗さを変化させた光量補
正板を使用した場合における受光部で受光される測定光
の強度分布が、図７のグラフに示される。横軸は、画角
（θ）、縦軸は、光の強度（Ι（θ））である。図７に
示されるように、受光部で得られる強度分布が１０％以
内に抑えられている。

【００５８】このように、光量補正板を使用することに
より、受光部のレンズ収差や光源からの出射光の指向性
によって生じる受光部視野内での受光光量の不均一性を
補正することができ、同一欠陥における受光部視野内で
の映像信号のバラツキや欠陥の大きさに対する映像信号
の判別を精度良く行うことができる。

【００５９】また、光量補正板によって受光部で受光さ
れる光の強度分布がほぼ均一化された状態で、シェーデ
ィング補正を併用すれば、さらに映像信号の判別を精度
良く行うことができる。

【００６０】さらに、先に記載の実施態様は、受光部に
画素を直線状に配列した固体撮像素子、光源に線状光源
を用いた場合について述べたのもであるが、受光部に画
素を２次元に配置した固体撮像素子、光源に平面光源を
用いる構成であっても良い。

【００６１】また、先に記載の実施態様は、受光部に結
像レンズを用いた例であるが、光源が点光源とみなせる
ものやレーザーを一次元にスキャンさせた指向性の強い
ものであり、かつ、撮像素子が測定領域に対して十分な
大きさを持つ場合には、結像レンズを用いない態様とし
ても良い。

【００６２】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を更に具体的に
説明する。

【００６３】図８は、紫外線光源２２を利用したフィル
ム２１のピンホール２９による欠陥の検査装置の一実施
態様を示す。紫外線光源２２には、水銀キセノン放電管
が用いられ、それに光学的に結合されたラインライトガ
イド２２ａとしては、直径２００μｍの石英ファイバが
２５００本一列に密に配置された光学ガイドが用いられ
た。

【００６４】光量補正板２３として、厚さ２ｍｍの石英
板の表面にサンドブラストにより、端部から中央部に向
かい順次、粗さ＃６００、＃２００、＃４００からなる
粗さ変化をつけたものが使用された。図９は、その光量
補正板２３を模式的に示す平面図である。この光量補正
板２３は、受光部２４ａ、２４ｂの２台分の幅を持って
いるため、一台の受光部２４ａが観測する範囲は、図に
おいて左側の＃６００、＃２００、＃４００部分であ
り、これらの左右の＃６００、＃４００の部分は、受光
部２４ａの視野端部、中央部の＃２００の部分は、視野
中央部となる。また、＃４００の部分は、隣り合う受光
部２４ｂの視野端部となる。なお、粗さ変化の境界部分
は、粗さが連続的に変化している。

【００６５】一方、光量補正板２３を透過した紫外線を
フィルム２１上に集光するため、ｆ＝１００ｍｍのシリ
ンドリカルレンズ３０が設けられている。受光部２４に
は、ＣＣＤからなる固体撮像素子２５が用いられた。紫
外線透過フィルタ２８は、吸収タイプのものが使用され
た。ＣＣＤは、２５９２画素を有し、一つの画素の大き
さは、１４μｍ×１４μｍであり、これがフィルム上２
１で、８３μｍ×８３μｍに相当するように、受光部２
４が配置された。ＣＣＤの走査周波数は、４ｋＨｚとさ
れた。

【００６６】図１０は、上記実施例の光量補正板２３を
使用した場合における受光部２４で受光された光源の強
度分布を示すグラフであり、横軸は、画角（θ）、縦軸
は、光の強度（Ι（θ））である。

【００６７】図１１は、比較例として、光量補正板２３
を外した場合（使用しない場合）における受光部２４で
受光された光源の強度分布を示すグラフであり、横軸、
縦軸は、図１０の場合と同じである。

【００６８】図１０と図１１の場合において、図８に示
したフィルム２１のピンホール２９として、大きさ１０
０μｍのピンホールを受光部の視野端部（Ｓｅ）と視野
中央部（Ｓｃ）に位置せしめて、欠点信号の大きさ（検
出された光の強度の電圧値）を比較した結果を表１に示
す。

【００６９】

【表１】 光量補正板２３を使用しない場合は、表１ならびに図１
１から明らかな通り、端部（Ｓｅ）と中央部（Ｓｃ）と
では、検出された光の強度（欠陥信号）に２倍以上の差
があったが、光量補正板２３を使用した場合は、表１な
らびに図１０から明らかな通り、場所に関わらず、検出
された光の強度（欠陥信号）は、大きな差を示すことな
く、ほぼ同程度なっている。

【００７０】

【発明の効果】本発明によれば、受光部のレンズによる
収差や光源の指向性による受光部視野内部での欠陥信号
のバラツキを抑えることができ、欠陥の判別精度を向上
させることができる。従って、シート製品内に含まれる
欠陥の大きさや重大度を精度良く把握できるため、ユー
ザーへ規格外品を出荷することがなくなり、また、出荷
するシート製品の品質の向上が図られる。さらに、欠陥
の過検出による製造工程におけるシート製品の収率の低
下を防止することができる。

【００７１】また、重大な欠陥が発生した場合、その状
況が、従来の場合に比べ、より正確に把握でき、対応策
を迅速に採ることが可能となり、不良品の製造が減少す
るため、シート（フィルム）の製造コストの削減がもた
らされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の欠陥検査装置の一実施態様の正面概
略図である。

【図２】 本発明における光量補正板を用いた場合の受
光部で受光される測定光の強度分布の一例を示すグラフ
である。

【図３】光量補正板を用いない従来の場合の受光部で受
光される測定光の強度分布の一例を示すグラフである。

【図４】 本発明における光量補正板を用いた場合の受
光部で受光される測定光の強度分布の他の例を示すグラ
フである。

【図５】 本発明の欠陥検査装置の別の実施態様の正面
概略図である。

【図６】 光量補正板を用いない従来の場合の受光部で
受光される測定光の強度分布の他の例を示すグラフであ
る。

【図７】 本発明における光量補正を用いた場合の受光
部で受光される測定光の強度分布の他の例を示すグラフ
である。

【図８】 本発明の欠陥検査装置のさらに別の実施態様
の正面概略図である。

【図９】 本発明における光量補正板の一例の平面概略
図である。

【図１０】 図９に示す光量補正板を用いた場合の受光
部で受光される光源の強度分布を示すグラフである。

【図１１】 図９に示す光量補正板を用いない従来の場
合の受光部で受光される光源の強度分布を示すグラフで
ある。

【符号の説明】

１、１１、２１： シート ２： 線状光源 ３、３ａ、１３、２３： 光量補正板 ４、１４、２４、２４ａ、２４ｂ： 受光部 ５、１５、２５： 固体撮像素子 ６、１６、２６： レンズ ７、１７、２７： 信号処理部 １２： 紫外線光源 １８： 紫外線透過フィルタ １９、２９： ピンホール欠陥 ２２： 紫外線ランプ ２２ａ： ラインライトガイド ３０： シリンドリカルレンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA41 AB02 AB04 BA05 BA20 BB07 BB17 CA03 CA04 CA07 CB02 DA01 DA06 EA08 EB01 EC02 EC03 4F207 AA30 AG01 AM32 AP11 AP20 AQ01 KA01 KA17 KM06 KM16 KW50

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査シートが位置するシート位置の一
   面側に配置された光源と、該シート位置の他面側に配置
   された受光部と、前記光源から出光し前記シート位置に
   位置せしめられる前記被検査シートを透過し前記受光部
   により受光され、それにより受光部から出力される信号
   に基づき前記被検査シートの欠陥を検出してなるシート
   の欠陥検査装置において、前記光源と前記シート位置と
   の間に、光量補正板が配設されていることを特徴とする
   シートの欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 前記光量補正板が、前記被検査シートの
   幅方向に前記受光部の画角θに対する受光光量Ｉ（θ）
   を実質的に一定とする光透過パターンを有することを特
   徴とする請求項１に記載のシートの欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 前記光透過パターンが、前記光量補正板
   の長手方向における表面粗さもしくは光透過率、または
   その両方を変化させることにより形成されていることを
   特徴とする請求項２に記載のシートの欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 前記受光部が、撮像素子を有することを
   特徴とする請求項３に記載のシートの欠陥検査装置。
5. 【請求項５】 前記光源が、前記被検査シートの幅方向
   を向いた線状光源からなり、前記受光部の入口に集光レ
   ンズが設けられていることを特徴とする請求項４に記載
   のシート欠陥検査装置。
6. 【請求項６】 前記線状光源が、複数本の光学繊維の一
   端を線状に並べたラインライトガイドからなることを特
   徴とする請求項５に記載のシートの欠陥検査装置。
7. 【請求項７】 前記光源が、４００ｎｍ以下の波長にピ
   ークを持つ紫外線ランプからなることを特徴とする請求
   項１乃至６のいずれかに記載のシートの欠陥検査装置。
8. 【請求項８】 シート成形工程と、該シート成形工程で
   成形されたシートの欠陥を請求項１乃至７のいずれかに
   記載のシートの欠陥検査装置により検出するシート欠陥
   検出工程と、該シート欠陥検出工程で検出されるシート
   の欠陥に基づいて前記シート成形工程を管理する成形管
   理工程とからなるシートの製造方法。
9. 【請求項９】 前記シートがアラミドフィルムである請
   求項８に記載のシートの製造方法。