JP5177784B2 - 半導体結晶膜の製造方法 - Google Patents
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そのため、フレキシブル基板上での直接的な結晶化技術の開発が要望されている。
即ち、柔軟性基板上にTFT作製薄膜を作製する場合において、あらかじめガラス基板上に結晶シリコン層を作製してから、それをプラスチック等の柔軟性基板に移すといったプロセスを経ずに、直接的に柔軟性基板上での結晶化を行なうことができることを目的とする。
本発明に係る半導体結晶膜の作製方法は、従来概念の溶融・結晶化というプロセスを経ず、局所的なフォノン励起により、不規則位置にあるシリコン原子を規則位置にもっていくという画期的な原理によるものである。
本発明の軟X線光子ビームを照射する方法では、非熱平衡状態で反応を進めることができるため、膜の冷却が不要で連続的に照射することも可能である。一方、パルス状ビームを準連続的に、間歇的に照射することによって、局所的フォノンを短時間に大量に発生させ、結晶化の速度を速めつつ、平均入熱を下げることができる。
・前記励起光源から発光された励起光を基板上に導く軟X線光学系と、
・励起光が基板全体を連続的に照射していくことを可能にする基板搬送系と、
・基板上で励起光の照射強度が一様、且つ必要な照射エネルギー・時間波形になるよう前記光源、並びに前記基板搬送系に必要な制御を行う制御系と、
から構成される。
この励起光源は、レーザー生成プラズマや放電プラズマによって発生させることができる。
絶縁性、又は柔軟性基板の温度上昇を阻止することができ、室温近傍の低温で結晶化を実現できるため、特に、プラスチックフィルム・ステインレススティール・繊維・紙の上に結晶半導体層を作製することが可能となり得る。
なお、化学的気相蒸着法(CVD法)を用いている代わりに、a-Si半導体膜を形成する方法としてはスパッタリング法を用いてもよい。
その結果、当該a-Si半導体を溶解することなく、当該a-Si半導体膜から結晶化シリコン半導体膜(c-Si)5を得ることができる。
また、プラスチックフィルム等のいわゆる柔軟性基板上に直接的にpoly-Si薄膜を作製することができ、柔軟性基板へのディスプレイの製法として利用が期待できる。
2 プラスチック基板
3 非晶質シリコン(a-Si)半導体膜
4 溶融シリコン
5 結晶化シリコン半導体膜
6 軟X線光子ビーム
7 励起光源
8 軟X線光学系
9 基板搬送系
10 制御系
11 パルス繰り返しレーザー装置
12 プラズマ
13 中空ファイバー
Claims (1)
- プラスチックフィルム、金属薄膜、高分子系繊維、紙のうちから選択された柔軟性基板上の非晶質半導体層内で、局所的に多数の原子を同方向・同位相で振動を起こし、フォノンを非熱平衡状態で局所的に励起させ、不規則位置に存在する原子をポテンシャルが最小となる規則位置に移動させることにより、前記非晶質半導体層を非溶融状態下で直接的に半導体結晶膜に結晶化する方法であって、
前記フォノンを非熱平衡状態で局所的に励起させる方法は、レーザー若しくは放電により生成されたプラズマX線源から放出された軟X線光子ビームを前記柔軟性基板上の非晶質半導体層にパルス状に間歇的に照射して前記結晶化させる過程において、10eVから3keVの範囲にある光子エネルギーをもつ前記軟X線光子ビームが最大光強度10 17 photons/s/2πで数nsから数10nsの時間内に放出され、不規則位置のシリコン原子を緩和させ、ポテンシャルが最小となる規則位置へ移動させるエネルギーに対応した周波数成分が合成されたフォノンを局所的に発生させて、原子を規則位置へ再配列させることを特徴とする半導体結晶膜の製造方法。
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