JP5170854B2 - 機能性材料付き部材製造用粘着テープおよび機能性材料付き部材の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板上に形成した機能性材料、例えば基板上に成長させたカーボンナノチューブなどを上記基板から他の部材に転写することにより機能性材料付き部材を製造する際に、機能性材料の基板から他の部材への移送媒体として使用される粘着テープに関する。また、本発明は、機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写することにより、粘着テープに機能性材料が付着した機能性材料付き部材を製造する際に用いられる粘着テープに関する。さらに、本発明は、上記粘着テープを用いた機能性材料付き部材の製造方法に関する。

フィールドエミッション（電界放出）を利用した表示材や照明の製造において、基板上に垂直に成長させた配向性カーボンナノチューブ（以下、「ＣＮＴ」ということもある）を電極基板上に転写してフィールドエミッション素子を製造することが行われている。この場合、上記ＣＮＴの転写工程で、ＣＮＴの成長基板から電極基板への移送媒体として粘着テープを用いる方法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。

上述した移送媒体として粘着テープを用いるＣＮＴ転写方法を図８に示す。
（工程１）成長基板１０上にＣＮＴ１２を成長させる（図８−ａ）。
（工程２）ＣＮＴ１２の先端側には触媒１４が付着しているため、この先端側はエミッション側としては使用できない。したがって、触媒１４が付着したＣＮＴ１２の先端側を非エミッション側とするために、この先端側に第１の粘着テープ１６を貼り、次いで成長基板１０を剥離することにより、ＣＮＴ１２を第１の粘着テープ１６に転写させる（図８−ｂ）。
（工程３）第２の粘着テープ１８をＣＮＴ１２の基端側（エミッション側）に貼る（図８−ｃ）。
（工程４）第１の粘着テープ１６を剥がす（図８−ｄ）。
（工程５）カソードとなる導電性ペースト２０が塗布された電極基板２２の導電性ペースト２０にＣＮＴ１２の先端側（非エミッション側）を貼り付ける（図８−ｅ）。
（工程６）第２の粘着テープ１８を剥がす。これにより、ＣＮＴ１２がバンドル化された状態で電極基板２２上に固定される（図８−ｆ）。

図８に示したＣＮＴ転写方法では、接着力の大きさは、［成長基板１０＜第１の粘着テープ１６＜第２の粘着テープ１８＜電極基板２２上の導電性ペースト２０］の順である。

なお、上記のように成長基板から電極基板へのＣＮＴの移送媒体として粘着テープを用いるのは、成長基板から電極基板にＣＮＴを直接転写した場合には、再現性の点で問題が生じるからである。

特開２００５−１９４２号公報

しかし、図８に示したＣＮＴ転写方法では、ＣＮＴの３回の転写の際に、本来は転写されなければならないＣＮＴが、剥離した第１の粘着テープおよび第２の粘着テープに付着した状態で残存することが多く、ＣＮＴバンドル内におけるＣＮＴ密度の制御が困難で、安定したエミッション特性を得ることが難しかった。また、上記転写の際に、第１の粘着テープおよび第２の粘着テープの粘着剤がＣＮＴの先端に付着した状態で残存することがあり、特に第２の粘着テープでは転写時に高い接着性を必要とされるため、ＣＮＴのエミッション側に第２の粘着テープの粘着剤が付着した状態で残存し、エミッション特性を低下させることが多かった。

これに対し、本発明者らは、上記問題点を解決するために、紫外線硬化型粘着層を有する粘着テープを用い、ＣＮＴの電極基板への転写前にフォトマスクを用いて粘着剤の粘着力を部分的に制御する方法を提案した（特願２００５−１９２６１３）。この方法では、図９に示す工程によってＣＮＴを成長基板から電極基板に転写する。
（工程１）成長基板１０上にＣＮＴ１２を成長させる（図９−ａ）。
（工程２）触媒１４が付着したＣＮＴ１２の先端側に、紫外線硬化型粘着剤からなる粘着層を有する第１の粘着テープ５６を貼る（図９−ｂ）。
（工程３）成長基板１０を剥離する（図９−ｃ）。
（工程４）第１の粘着テープ５６に、紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線６０の照射を行う（図９−ｄ）。
（工程５）紫外線硬化型粘着剤からなる粘着層を有する第２の粘着テープ５８をＣＮＴ１２の基端側（エミッション側）に貼る（図９−ｅ）。
（工程６）第１の粘着テープ５６を剥がす（図９−ｆ）。
（工程７）カソードとなる導電性ペースト２０が塗布された電極基板２２の導電性ペースト２０にＣＮＴ１２の先端側（非エミッション側）を貼り付ける（図９−ｇ）。
（工程８）フォトマスク６４を用いて、第２の粘着テープ５８に紫外線６２の部分的な照射を行う。すなわち、第２の粘着テープ５８に、電極基板２２の導電性ペースト２０と対向する部分のみの紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線６２を照射する（図９−ｈ）。
（工程９）第２の粘着テープ５８を剥がす。これにより、ＣＮＴ１２がバンドル化された状態で電極基板２２上に固定される（図９−ｉ）。

しかし、上述した方法では、ＣＮＴを電極基板に転写する際に、ＣＮＴのバンドル形状が乱れたり、ＣＮＴが電極基板の目的箇所以外の箇所に付着したりして、（図９−ｉのＣＮＴ６６参照）、均一で再現性の良いエミッション特性を実現できないことがあった。

本発明は、前述した事情に鑑みてなされたもので、移送媒体として粘着テープを用い、基板上に形成した機能性材料を他の部材に転写する場合に、機能性材料の形状や、垂直に立ち上がっている整列が乱れたり、他の部材の目的箇所以外の箇所に機能性材料が付着したりすることを防止して、他の部材の目的箇所のみに機能性材料を精度良く転写することができる粘着テープを提供することを目的とする。また、本発明は、機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写して機能性材料付き部材を製造する場合に、粘着テープの目的箇所以外の箇所に機能性材料が付着することを防止して、粘着テープの目的箇所のみに機能性材料を精度良く転写することができる粘着テープを提供することを目的とする。さらに、本発明は、上記粘着テープを用いた機能性材料付き部材の製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、前記目的を達成するため、下記（１）〜（８）に示す機能性材料付き部材製造用粘着テープおよび機能性材料付き部材の製造方法を提供する。
（１）基板上に形成された機能性材料を前記基板から他の部材に転写することにより機能性材料付き部材を製造する方法であって、前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、（I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、（II）基板上に形成された機能性材料を前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させた後、（III）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離し、（IV）さらに前記粘着層に付着した前記機能性材料を他の部材に転写することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
（２）基板上に形成された機能性材料を前記基板から他の部材に転写することにより機能性材料付き部材を製造する方法であって、前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、（I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、（II）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離した後、（III）基板上に形成された機能性材料を前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させ、（IV）さらに前記粘着層に付着した機能性材料を他の部材に転写することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
（３）機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写することにより、前記粘着テープに前記機能性材料が付着した機能性材料付き部材を製造する方法であって、前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、（I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、（II）前記部材に保持された機能性材料を、前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させた後、（III）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
（４）機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写することにより、前記粘着テープに前記機能性材料が付着した機能性材料付き部材を製造する方法であって、前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、（I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、（II）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離した後、（III）前記部材に保持された機能性材料を、前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させることを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
（５）前記（Ｉ）において、前記粘着テープの前記基材フィルムの面から放射線を照射することを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の機能性材料付き部材の製造方法。
（６）前記粘着層は、表面エネルギーを低下させる物質を含有することを特徴とする（１）〜（５）のいずれかに記載の機能性材料付き部材の製造方法。
（７）前記放射線硬化型粘着剤は、重合禁止剤を含有することを特徴とする（１）〜（６）のいずれかに記載の機能性材料付き部材の製造方法。
（８）前記基板上に形成した機能性材料は、基板上に垂直に成長させた配向性カーボンナノチューブであることを特徴とする（１）〜（７）のいずれかに記載の機能性材料付き部材の製造方法。

前記（１）の本発明粘着テープは、粘着層の機能性材料の付着を予定しない部分に、粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられているので、粘着層の機能性材料の付着を予定している部分のみに機能性材料を付着させることができる。その結果、（１）の本発明粘着テープによれば、機能性材料の形状が乱れたり、移送先の部材の目的箇所以外の箇所に機能性材料が付着したりすることを防止して、移送先の部材の目的箇所のみに機能性材料を精度良く転写することにより、高精度の機能性材料付き部材を製造することができる。

前記（２）の本発明粘着テープは、粘着層の機能性材料の付着を予定しない部分に、粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられているので、粘着層の機能性材料の付着を予定している部分のみに機能性材料を付着させることができる。その結果、（２）の本発明粘着テープによれば、粘着テープの目的箇所以外の箇所に機能性材料が付着することを防止して、粘着テープの目的箇所のみに機能性材料を精度良く転写することにより、高精度の機能性材料付き部材を製造することができる。

本発明の機能性材料付き部材製造用粘着テープによれば、高精度の機能性材料付き部材を製造することができる。

以下、本発明につきさらに詳しく説明する。本発明の機能性材料付き部材製造用粘着テープ（以下、単に粘着テープという）は、基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられているものである。なお、本発明において、粘着テープは粘着フィルムを含むものとする。

上記基材フィルムとしては、プラスチック、金属等からなるものを使用することができる。上記付着防止用部材としては、例えば、粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するプラスチックシート、金属シート、プラスチックメッシュ、金属メッシュなどを用いることができる。付着防止用部材は、粘着層から剥離可能とすることが適当である。また、粘着層の付着防止用部材が設けられていない部分の表面は略同一平面を形成していることが好ましい。

上記粘着層は、刺激を与えることにより硬化する刺激硬化型粘着層であることが好ましい。この場合、上記刺激硬化型粘着層としては、例えば、放射線、光、熱、超音波または衝撃による刺激を与えることにより硬化するものを挙げることができる。刺激硬化型粘着層として特に好ましいのは、紫外線硬化型粘着剤、放射線硬化型粘着剤、熱硬化型粘着剤または可視光硬化型粘着剤からなるもの、中でも放射線硬化型粘着剤または熱硬化型粘着剤特からなるものである。なお、本発明においては、可視光も紫外線も含めて放射線と称するものとする。

上記刺激硬化型粘着剤には、表面エネルギーを低下させる物質を含有させてもよい。これにより、表面エネルギーが低下することで表面への他の物質の付着を抑制することができる。特に、硬化によって粘着力を失った部分では他の物質の付着を抑制することができる。表面エネルギーを低下させる物質としては、例えばフッ素などを挙げることができる。

上記放射線硬化型粘着剤としては、放射線により硬化し三次元網状化する性質を有すればよく、例えば、通常のゴム系あるいはアクリル系の感圧性ベース樹脂に対して、分子中に少なくとも２個の光重合性炭素−炭素二重結合を有する低分子量化合物（以下、光重合性化合物という）および光重合開始剤が配合されてなるものが使用される。また、熱硬化型粘着剤としては、例えば、エポキシ基を有する化合物にアミン類、酸無水物またはイミダゾール類が配合されてなるものが使用される。

上記放射線硬化型粘着剤には、重合禁止剤を配合することが好ましい。これにより、後述する実施例に示すように、粘着剤に放射線を照射した際に、粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の表面は、酸素などによる硬化阻害および重合禁止剤による硬化阻害によって粘着力を有した状態が維持され、他の部分は硬化して粘着力を失う。重合禁止剤としては、例えば、メトキノン ハイドロキノン等を挙げることができる。

本発明において、粘着テープに付着させる機能性材料としては、例えば、カーボンワイヤー、カーボンナノチューブなどのカーボンナノ繊維、銀やシリコンなどの針状結晶、特有の穴形状を有する多孔質膜等を挙げることができ、特に好適には、成長基板上に垂直に成長させた配向性カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を挙げることができる。

以下、実施例により本発明をさらに具体的に示すが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
図１は本発明に係る粘着テープの一例を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。本例の粘着テープ１００は、基材フィルム１０２上に粘着層１０４が形成され、かつ、粘着層１０４の機能性材料の付着を予定しない部分に、粘着層１０４への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材１０６が設けられている。基材フィルム１０２は、プラスチック、金属等からなる。粘着層１０４は、紫外線硬化型粘着剤からなり、重合禁止剤を含有する。付着防止用部材１０６は、円形の貫通穴１０８を有するプラスチック、金属等のシートであり、粘着層１０４から剥離可能である。

また、粘着層１０４の付着防止用部材１０６が設けられていない部分の表面１１０は略同一平面を形成している。そして、上記表面１１０、１１２上に離型フィルム１１４が積層されている（図１（ａ）では離型フィルムは省略）。上記表面１１０が略同一平面を形成するようにする処理（平坦化処理）は、例えば、図２に示すように、ローラ１１６から繰り出された基材フィルム１０２および粘着層１０４の積層シート、ローラ１１８から繰り出された付着防止用部材１０６のシート、およびローラ１２０から繰り出された離型フィルム１１４を重ね合わせ、これら重ね合わせたシートを上下ローラ１２２、１２４間に通して加圧することにより行うことができる。

（実施例２）
図３は本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。本例では、下記工程によってＣＮＴを成長基板から電極基板に転写する。
（工程１）成長基板１０上にＣＮＴ１２を成長させる（図３−１）。
（工程２）触媒１４が付着したＣＮＴ１２の先端側に、紫外線硬化型粘着剤からなる刺激硬化型粘着層を有する第１の粘着テープ５６を貼る（図３−２）。
（工程３）成長基板１０を剥離する（図３−３）。
（工程４）第１の粘着テープ５６に、紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線６０の照射を行う（図３−４）。
（工程５）第２の粘着テープとして、実施例１の本発明の粘着テープ１００を準備する（図３−５）。
（工程６）粘着テープ１００の離型フィルム１１４を剥がす（図３−６）。
（工程７）粘着テープ１００に紫外線１１６を照射する。このとき、粘着剤表面１１０は空気に接しているので、酸素による硬化阻害により紫外線１１６を照射しても粘着性は保持され、貫通穴１０８の内側に存在する粘着層表面１１０には酸素による硬化阻害は起こらず、粘着力を失った状態となる（図３−７）。
（工程８）紫外線照射後の粘着テープ１００をＣＮＴ１２の基端側（エミッション側）に貼る（図３−８）。この際、粘着層１０４の付着防止用部材１０６が設けられていない部分の表面１１０は略同一平面を形成しているので、ＣＮＴ１２を粘着剤表面１１０に乱れることなく面に概ね垂直に立ち上がった状態で固定することができる。
（工程９）第１の粘着テープ５６を剥がす。このとき、第１の粘着テープ５６は粘着力を失っているため、粘着層１０４の付着防止用部材１０６が設けられていない部分の表面１１０に対応するＣＮＴ１２は、粘着層１０４に固定され、付着防止部材１０６に対応する部分のＣＮＴ１２は、ほとんど付着防止部材１０６に付着することはないが、まれに一部が付着防止部材１０６に残ることもある（図３−９）。
（工程１０）粘着テープ１００から付着防止用部材１０６を取り除く。このとき、粘着層１０４の付着防止用部材１０６と接する部分の粘着力は低下しているため、付着防止用部材１０６を容易に剥がすことができる。付着防止用部材１０６上に残ったＣＮＴ１２は、付着防止用部材１０６とともに除去される（図３−１０）。
（工程１１）粘着テープ１００に、紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線１１８の照射を行う。このとき、ＣＮＴ１２が付着している部分の硬化阻害は起こらず、粘着層１０４にＣＮＴ１２は保持される（図３−１１）。
（工程１２）カソードとなる導電性ペースト２０が塗布された電極基板２２の導電性ペースト２０に、粘着テープ１００に付着したＣＮＴ１２の先端側（非エミッション側）を、位置を合わせて貼り合わせる（図３−１２）。
（工程１３）粘着テープ１００を剥がす。これにより、ＣＮＴ１２が付着している粘着層１０４の部分の粘着性は消失した状態であるので、ＣＮＴ１２は粘着層１０４から剥離することができ、ＣＮＴ１２がバンドル化された状態で電極基板２２上に固定される（図３−１３）。

本例では、電極基板へのＣＮＴの転写前に、ＣＮＴの粘着テープによる移しかえ時に良好なバンドル化を行い、その後電極基板へそのバンドルを転写することにより、安定したエミッションを再現性よく実現できる。また、本例では、ＣＮＴバンドルの形状や大きさは、電極ペーストへの転写工程の前段階である工程１０で決まっているために、このバンドルを受ける電極ペースト部の直径などを大きくすることができ、バンドルと電極の位置あわせに寸法的余裕ができるため、電極ペーストの端部や角部でのＣＮＴの傾きなどを低減でき、ＣＮＴが面に概ね垂直に立った状態で転写を確実に行うことができ、安定したエミッションを再現性よく実現できる。したがって、本例によれば、優れたエミッション特性を安定にかつ再現性良く実現するフィールドエミッション素子を得ることができる。

（実施例３）
図４は本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。本例では、下記工程によってＣＮＴを成長基板から電極基板に転写する。
（工程１）成長基板１０上にＣＮＴ１２を成長させる（図４−１）。
（工程２）触媒１４が付着したＣＮＴ１２の先端側に、紫外線硬化型粘着剤からなる刺激硬化型粘着層を有する第１の粘着テープ５６を貼る（図４−２）。
（工程３）成長基板１０を剥離する（図４−３）。
（工程４）第１の粘着テープ５６に、紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線６０の照射を行う（図４−４）。
（工程５）第２の粘着テープとして、実施例１の本発明の粘着テープ１００を準備する（図４−５）。
（工程６）粘着テープ１００の離型フィルム１１４を剥がす（図４−６）。
（工程７）粘着テープ１００に紫外線１１６を照射する。このとき、粘着剤表面１１０は空気に接しているので、酸素による硬化阻害により紫外線１１６を照射しても粘着性は保持され、貫通穴１０８の内側に存在する粘着層表面１１０には酸素による硬化阻害は起こらず、粘着力を失った状態となる（図４−７）。
（工程８）粘着テープ１００から付着防止用部材１０６を取り除く。このとき、粘着層１０４の付着防止用部材１０６と接する部分の粘着力は低下しているため、付着防止用部材１０６を容易に剥がすことができる（図４−８）。
（工程９）付着防止用部材１０６剥離後の粘着テープ１００をＣＮＴ１２の基端側（エミッション側）に貼る（図４−９）。このとき、粘着テープ１００の粘着力のない部分は凹部となるため、ＣＮＴ１２が接触せず、凹部にＣＮＴの付着が生じない。
（工程１０）第１の粘着テープ５６を剥がす（図４−１０）。
（工程１１）粘着テープ１００に、紫外線硬化型粘着剤の硬化に十分な量の紫外線１１８の照射を行う。このとき、ＣＮＴ１２が付着している部分の硬化阻害は起こらず、ＣＮＴ１２は粘着層１０４に保持される（図４−１１）。
（工程１２）カソードとなる導電性ペースト２０が塗布された電極基板２２の導電性ペースト２０に、粘着テープ１００に付着したＣＮＴ１２の先端側（非エミッション側）を、位置を合わせて貼り合わせる（図４−１２）。
（工程１３）粘着テープ１００を剥がす。これにより、ＣＮＴ１２がバンドル化された状態で電極基板２２上に固定される（図４−１３）。

本例は、実施例２と同様の作用効果を奏し、優れたエミッション特性を安定にかつ再現性良く実現するフィールドエミッション素子を得ることができる。

実施例２および実施例３で得られた各複数のフィールドエミッション素子の面内数点でのエミッションの電流密度のばらつきを図５に示す。また、比較例として、図９に示した手順で得られた複数のフィールドエミッション素子の面内数点でのエミッションの電流密度のばらつきを図５に示す。実施例２および実施例３で得られたフィールドエミッション素子は、いずれも比較例で得られたフィールドエミッション素子に比べて均一性、再現性が良好であることがわかる。

（実施例４）
図６は本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。本例では、下記工程によって機能性材料を粘着テープに転写する。
（工程１）実施例１の本発明の粘着テープ１００を準備する（図６−１）。
（工程２）粘着テープ１００の離型フィルム１１４を剥がす（図６−２）。
（工程３）粘着テープ１００に紫外線１１６を照射する。このとき、粘着剤表面１１０は空気に接しているので、酸素による硬化阻害により紫外線１１６を照射しても粘着性は保持され、貫通穴１０８の内側に存在する粘着層表面１１０には酸素による硬化阻害は起こらず、粘着力を失った状態となる（図６−３）。
（工程４）紫外線照射後の粘着テープ１００を、基材フィルム１２０上に機能性材料１２２が塗布または散布されたドナーフィルム１２４（機能性材料を保持する部材）に貼る（図６−４）。機能性材料１２２としては、光を遮蔽する黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、一部の波長の光を吸収する着色粒子、導電性粒子等が挙げられる。
（工程５）ドナーフィルム１２４を剥がす。これにより、粘着テープ１００の粘着層１０４に機能性材料１２２が付着する。このとき、付着防止用部材１０６にも一部の機能性材料１２２が付着する（図６−５）。
（工程６）粘着テープ１００から付着防止用部材１０６を取り除く（図６−６）。このとき、粘着層１０４の付着防止用部材１０６と接する部分の粘着力は低下しているため、付着防止用部材１０６を容易に剥がすことができる。これにより、光拡散や光反射機能を部分的に有する部材を精度良く作製することができる。

（実施例５）
図７は本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。本例では、下記工程によって機能性材料を粘着テープに転写する。
（工程１）実施例１の本発明の粘着テープ１００を準備する（図７−１）。
（工程２）粘着テープ１００の離型フィルム１１４を剥がす（図７−２）。
（工程３）粘着テープ１００に紫外線１１６を照射する。このとき、粘着剤表面１１０は空気に接しているので、酸素による硬化阻害により紫外線１１６を照射しても粘着性は保持され、貫通穴１０８の内側に存在する粘着層表面１１０には酸素による硬化阻害は起こらず、粘着力を失った状態となる（図７−３）。
（工程４）粘着テープ１００から付着防止用部材１０６を取り除く（図７−４）。このとき、粘着層１０４の付着防止用部材１０６と接する部分の粘着力は低下しているため、付着防止用部材１０６を容易に剥がすことができる。
（工程５）付着防止用部材１０６剥離後の粘着テープ１００を、基材フィルム１２０上に前述した機能性材料１２２が塗布または散布されたドナーフィルム１２４に貼る（図７−５）。このとき、粘着テープ１００の粘着力のない部分は凹部となるため、機能性材料１２２が接触せず、凹部に機能性材料の付着が生じない。
（工程６）ドナーフィルム１２４を剥がす（図７−６）。これにより、粘着テープ１００の粘着層１０４の凸部の表面のみに機能性材料１２２が付着し、光拡散や光反射機能を部分的に有する部材を精度良く作製することができる。

本発明に係る粘着テープの一例を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 図１の粘着テープの製造方法の一例を示す概略図である。 本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。 本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。 実施例および比較例で得られた各複数のフィールドエミッション素子の面内数点でのエミッションの電流密度のばらつきを示すグラフである。 本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。 本発明に係る機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。 従来の機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。 機能性材料付き部材の製造方法の一例を示すフロー図である。

符号の説明

１０ 成長基板
１２ 配向性カーボンナノチューブ
２０ 導電性ペースト
２２ 電極基板
１００ 粘着テープ
１０２ 基材フィルム
１０４ 粘着層
１０６ 付着防止用部材
１０８ 貫通穴

Claims (8)

1. 基板上に形成された機能性材料を前記基板から他の部材に転写することにより機能性材料付き部材を製造する方法であって、
   前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、
   基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、
   前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、
   前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、
   （I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、
   （II）基板上に形成された機能性材料を前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させた後、
   （III）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離し、
   （IV）さらに前記粘着層に付着した前記機能性材料を他の部材に転写することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
2. 基板上に形成された機能性材料を前記基板から他の部材に転写することにより機能性材料付き部材を製造する方法であって、
   前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、
   基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、
   前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、
   前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、
   （I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、
   （II）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離した後、
   （III）基板上に形成された機能性材料を前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させ、
   （IV）さらに前記粘着層に付着した機能性材料を他の部材に転写することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
3. 機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写することにより、前記粘着テープに前記機能性材料が付着した機能性材料付き部材を製造する方法であって、
   前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、
   基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、
   前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、
   前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、
   （I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、
   （II）前記部材に保持された機能性材料を、前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させた後、
   （III）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離することを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
4. 機能性材料を保持する部材から粘着テープに機能性材料を転写することにより、前記粘着テープに前記機能性材料が付着した機能性材料付き部材を製造する方法であって、
   前記機能性材料は、カーボンナノ繊維、針状結晶、多孔質膜、黒色粒子、光を散乱や屈折させる粒子、着色粒子、導電性粒子のいずれか一つ以上であり、
   基材フィルム上に粘着層が形成され、かつ、前記粘着層の機能性材料の付着を予定していない部分に、前記粘着層への機能性材料の付着を防止する付着防止用部材が設けられ、
   前記付着防止用部材は、前記粘着層から剥離可能で、前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分の形状に対応する形状の貫通穴を有するシートであり、
   前記粘着層は、放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする機能性材料付き部材製造用粘着テープを用い、
   （I）前記粘着テープに放射線を照射して、前記粘着層と前記付着防止用部材の間の粘着力を低下させ、
   （II）前記粘着層から前記付着防止用部材を剥離した後、
   （III）前記部材に保持された機能性材料を、前記機能性材料付き部材製造用粘着テープの前記粘着層の機能性材料の付着を予定している部分に付着させることを特徴とする機能性材料付き部材の製造方法。
5. 前記（Ｉ）において、前記粘着テープの前記基材フィルムの面から放射線を照射することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の機能性材料付き部材の製造方法。
6. 前記粘着層は、表面エネルギーを低下させる物質を含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の機能性材料付き部材の製造方法。
7. 前記放射線硬化型粘着剤は、重合禁止剤を含有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の機能性材料付き部材の製造方法。
8. 前記基板上に形成した機能性材料は、基板上に垂直に成長させた配向性カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の機能性材料付き部材の製造方法。
   

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