JP5167282B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
前記支持ユニットは、回転軸と、その回転軸の周りで前記複数の基材を回転自在に支持する支持部とを有する。前記真空槽は、前記支持ユニットを前記回転軸の周りに回転自在に収容する処理室を有する。前記成膜源は、前記真空槽の内部に配置される。前記低温排気部は、前記真空槽の上面に配置された低温凝縮源を有する。
前記支持ユニットは、回転軸と、その回転軸の周りで前記複数の基材を回転自在に支持する支持部とを有する。前記真空槽は、前記支持ユニットを前記回転軸の周りに回転自在に収容する処理室を有する。前記成膜源は、前記真空槽の内部に配置される。前記低温排気部は、前記真空槽の上面に配置された低温凝縮源を有する。
2・・・基材
10・・・真空槽
11・・・第1の真空槽本体
12・・・第2の真空槽本体
13・・・第3の真空槽本体
14・・・処理室
15・・・電源供給ユニット
20・・・排気ユニット
21・・・低温排気部
21A・・・低温凝縮源
22・・・補助ポンプ
23・・・開口部
24・・・排気通路
30・・・制御ユニット
40・・・コモンベース
50・・・支持ユニット
51・・・回転軸
52・・・上部支持部材
53・・・受電部
54・・・支持軸
55・・・支持部
56・・・板部材
57・・・蒸着源
60・・・陰極プレート
63・・・駆動部
70・・・弁機構
71・・・弁体
72・・・駆動軸
73・・・駆動部
Claims (13)
- 複数の基材を同時に成膜する成膜装置であって、
回転軸と、その回転軸の周りで前記複数の基材を回転自在に支持する支持部とを有する支持ユニットと、
内部に円柱状もしくは多角柱状の処理室が形成される真空槽と、
前記真空槽の内周側壁面に配置された成膜源と、
前記真空槽の上面に配置された低温凝縮源を有する低温排気部と、
前記真空槽を排気可能に設置された気体移送型の補助ポンプと
を具備する成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記成膜源は、スパッタリングターゲット及びプラズマCVD用カソードの少なくとも1つである成膜装置。 - 請求項1または2に記載の成膜装置であって、
前記支持ユニットの軸心部に配置された蒸着源をさらに具備する成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記支持ユニットの軸心部に配置された蒸着源をさらに具備し、
前記成膜源は、スパッタリングターゲット及びプラズマCVD用カソードの少なくとも1つである成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記低温排気部は、前記処理室と前記低温凝縮源の間を連通させる開口部を有し、
前記成膜装置は、前記開口部を開閉する弁体を有する弁機構をさらに具備する成膜装置。 - 請求項5に記載の成膜装置であって、
前記補助ポンプは、前記真空槽の上部に接続された排気通路に設置され、
前記弁体は、前記排気通路内に配置されている成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記真空槽は、
前記低温排気部が配置された第1の真空槽本体と、
前記第1の真空槽本体に着脱自在に取り付けられ、前記支持ユニットを保持する第2の真空槽本体とを有する成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置であって、
前記真空槽は、
前記成膜源が設置される第1の真空槽本と、
前記支持ユニットを前記回転軸の周りに回転自在に保持し前記第1の真空槽本体に開閉するように設置される第2の真空槽本体とを有し、
前記第1の真空槽本体に対して前記第2の真空槽本体を開けると、前記真空槽内が大気に開放される成膜装置。 - 真空槽を大気に開放して内部に複数の基材を収容し、
前記真空槽を密閉し気体移送型の補助ポンプで粗引きした後、前記真空槽の内部に面して配置された低温凝縮源によって前記真空槽の内部を所定の真空度にまで真空排気し、
前記低温凝縮源と前記真空槽の内部との連通が遮断され前記補助ポンプが駆動された状態で、前記複数の基材を回転軸の周りで回転させながら、前記真空槽の側壁に設置されたプラズマCVD用カソードを用いて、前記複数の基材の表面に第1の被覆膜をそれぞれプラズマCVD法によって形成し、
前記低温凝縮源が前記真空槽の内部と連通され前記低温凝縮源と前記補助ポンプとが駆動された状態で、前記複数の基材を前記回転軸の周りで回転させながら、前記回転軸の軸心位置に設置された蒸着源又は前記真空槽の側壁に設置されたスパッタリング用カソードを用いて、前記複数の基材の表面に第2の被覆膜をそれぞれ真空蒸着法又はスパッタリング法によって形成する
成膜方法。 - 請求項9に記載の成膜方法であって、さらに、
前記第1の被覆膜を形成する工程の前に、前記低温凝縮源が前記真空槽の内部と連通された状態で、前記基材の表面をプラズマクリーニングする成膜方法。 - 請求項9に記載の成膜方法であって、さらに、
前記基材の表面に第2の被覆膜を形成する工程の後、前記低温凝縮源と前記真空槽の内部との連通が遮断された状態で、前記基材の表面に第3の被覆膜をプラズマCVD法によって形成する成膜方法。 - 請求項11に記載の成膜方法であって、さらに、
前記第3の被覆膜を形成する工程の後に、前記低温凝縮源が前記真空槽の内部と連通された状態で、前記基材の表面をプラズマ処理する成膜方法。 - 請求項9に記載の成膜方法であって、
前記真空槽の内部に前記基材を収容する工程は、前記低温凝縮源と前記真空槽の内部との連通が遮断された状態を維持する成膜方法。
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