MTJ素子X2においては、上述の低抵抗状態にあるときの抵抗値をR1とし且つ上述の高抵抗状態にあるときの抵抗値をR2とすると、いわゆる磁気抵抗(MR)比〔=(R2−R1)/R1〕は大きい方がよい。MR比が大きいほど、低抵抗状態にあるときの抵抗値R1と高抵抗状態にあるときの抵抗値R2とに対応して得られる2値の信号について、差異が明確であり、区別しやすい。
一方、MTJ素子X2においては、高周波信号を充分に通過させるために素子抵抗を低減するという観点から、トンネル伝導層23を薄く設ける必要性が高い。トンネル伝導層23が薄いほど、MTJ素子X2の素子抵抗は小さくなる。
しかしながら、MTJ素子X2では、トンネル伝導層23の極薄化により、トンネル電流(電子スピン依存性を有する)に対するフィルタリング性(ないしコヒーレント性)が低下し、MR比が低下してしまう場合がある。このようにフィルタリング性が低下するのは、トンネル伝導層23の極薄化により、ピン層21とトンネル伝導層23の接合界面付近のバンド構造およびフリー層22とトンネル伝導層23の接合界面付近のバンド構造が、変化するためであると考えられる。
以上のように、MTJ素子X2は、小さな素子抵抗を実現しつつ大きなMR比を実現するのに、困難性を有する。
本発明は、以上のような事情の下で考え出されたものであり、素子抵抗を低減するのに適し且つ大きなMR比を得るのに適した磁気検出素子、および、そのような磁気検出素子を備える磁気再生装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の側面によると磁気検出素子が提供される。この磁気検出素子は、ハーフメタルよりなり且つ相互に離隔する一対の電極と、強磁性ハーフメタルよりなり且つ磁化反転可能な第1層と、一対の電極および第1層の間に位置し且つ導体よりなって第1層よりも高抵抗である第2層とを備え、前記一対の電極は、前記第2層の一面に接して設けられ、前記一対の電極の一方から流入したスピン偏極電流は前記第2層を厚さ方向に通過して前記第1層に流入する。
本素子の各電極は、ハーフメタルよりなるため、一方向のスピン(第1方向スピン)を伴う電子の通過を、導体金属が許容するように許容する(即ち、金属的に許容する)。そのため、本素子において一対の電極間に所定電圧を印加すると、第1方向スピンの電子のみが電極の通過を許される(即ち、電極通過の際に電流がフィルタリングされてスピン偏極電流が第2層に流入する)。
強磁性ハーフメタルよりなる第1層が所定方向に磁化されて第1方向スピン電子の通過を金属的に許容する状態(第1状態)にある場合、一方の電極(第1電極)から第2層に流入したスピン偏極電流は、第2層をその厚さ方向に通過して第1層に流入し得る。第1層に流入したスピン偏極電流は、一対の電極により素子内に形成される電界に沿って、第1層内をその面内方向に流れ、第2層に流入して当該第2層をその厚さ方向に通過し、そして他方の電極(第2電極)を通過する。第2層を第1層よりも充分に高抵抗に設定することにより、第1層が上述の第1状態にある場合において、スピン偏極電流が第2層をその面内方向に流れることを実質的に遮断して、スピン偏極電流を第1層にて面内方向に流れさせることが可能である。このように、第1層を所定方向に磁化させて、第2層よりも低抵抗な第1層にて面内方向にスピン偏極電流を流れさせることにより、本素子の低抵抗状態を実現することができる。
例えば外部磁界の作用を受けて第1層の磁化方向が反転すると、第1層は、第1方向スピンとは反対のスピン(第2方向スピン)を伴う電子の通過を金属的に許容する状態(第2状態)となる。第1層が当該第2状態にある場合、上述の第1電極から第2層に流入したスピン偏極電流は、第1層に流入することができず、一対の電極により素子内に形成される電界に沿って、第2層をその面内方向に流れて第2電極に至り、当該第2電極を通過する。このように、第1層を所定方向(第1状態における磁化方向とは反対の方向)に磁化させて、第1層よりも高抵抗な第2層にて面内方向にスピン偏極電流を流れさせることにより、本素子の高抵抗状態を実現することができる。このような高抵抗状態にある本素子は、第1層が磁化反転して上述の第1状態に復帰することにより、再び低抵抗状態に切替わることができる。
本磁気検出素子においては、素子内における一方の電極から他方の電極までの電流経路において、絶縁材料よりなる部位を設ける必要はない。そのため、本素子は、素子抵抗を低減するのに適する。
また、本素子においては、第1層における上述の第1状態と第2状態との切替わりにより、スピン偏極電流が第1層(低抵抗)にて面内方向に流れる低抵抗状態と、スピン偏極電流が第1層を通らずに第2層(高抵抗)にて面内方向に流れる高抵抗状態とが切替わる。すなわち、本素子は、磁気抵抗効果を利用して抵抗の切替えを実現するうえで、単一の層の抵抗変化に依存するものではない。本素子における低抵抗状態の抵抗値R1には第1層の抵抗値が反映され、高抵抗状態の抵抗値R2には第2層(第1層よりも高抵抗)の抵抗値が反映される。第1層の抵抗値と第2層の抵抗値の差が大きいほど、抵抗値R1と抵抗値R2の差は大きくなる。このような本素子では、大きなMR比〔=(R2−R1)/R1〕を実現しやすい。
以上のように、本発明の第1の側面に係る磁気検出素子は、素子抵抗を低減するのに適し、且つ、大きなMR比を得るのに適する。このような磁気検出素子によると、低抵抗状態の抵抗値R1と高抵抗状態の抵抗値R2との差を利用して、例えば、外部磁界の方向を検出することが可能である。
本発明の第2の側面によると磁気再生装置が提供される。この磁気再生装置は、磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体からの信号磁界を読み取るための、第1の側面に係る磁気検出素子とを備える。本磁気再生装置においては、磁気検出素子について、素子抵抗を低減するのに適し且つ大きなMR比を得るのに適する。また、素子抵抗を低減するのに適した磁気検出素子を具備する本磁気再生装置は、磁気検出素子から検出電流を得るために当該磁気検出素子に印加すべき電圧を低減するのに適する。すなわち、本磁気再生装置は、低駆動電圧化を実現しやすい。
図1は、本発明に係る磁気検出素子X1の断面図である。磁気検出素子X1は、一対の電極1A,1Bと、低抵抗層2と、高抵抗層3とを備えた、磁界について検出可能な素子である。
電極1A,1Bは、ハーフメタルよりなり、且つ、相互に離隔して高抵抗層3と接合している。ハーフメタルは、一方向のスピンを伴う電子の通過を、導体金属が許容するように許容する(即ち、金属的に許容する)導体材料である。電極1A,1Bは、好ましくは、強磁性体でもあるハーフメタルよりなり、且つ、低抵抗層2よりも大きな保磁力を有する。電極1A,1Bが保磁力を有する場合、電極1A,1Bの保磁力は、例えば1〜2kOeである。電極1A,1Bをなすためのハーフメタルとしては、具体的には、結晶性Co2MnAl、結晶性Co2MnSi、結晶性NiMnSb、結晶性La0.7Sr0.3MnO3、結晶性La0.6Sr0.4MnO3、または結晶性Fe3O4を採用することができる。このうち、結晶性Co2MnAl、結晶性Co2MnSi、および結晶性NiMnSbは、いわゆるホイスラー合金である。電極1A,1Bをなすためのハーフメタルとしては、ホイスラー合金を採用するのがより好ましい。磁気検出素子X1の稼働時には、電極1A,1B間に所定のDC電圧が印加され続ける。このような電極1A,1Bの厚さ(即ち、図1に示す矢印H方向の長さ)は、例えば50〜200nmである。また、電極1A,1Bの離隔距離は、例えば100〜1000nmである。
低抵抗層2は、強磁性ハーフメタルよりなり、且つ、外部磁界の作用によって磁化反転可能に設けられている。低抵抗層2の保磁力は、例えば100〜500Oeである。低抵抗層2をなすための強磁性ハーフメタルとしては、具体的には、結晶性Co2MnAl、結晶性Co2MnSi、結晶性NiMnSb、結晶性La0.7Sr0.3MnO3、結晶性La0.6Sr0.4MnO3、結晶性La0.5Sr0.5MnO3、または結晶性Fe3O4を採用することができる。このうち、結晶性Co2MnAl、結晶性Co2MnSi、および結晶性NiMnSbは、ホイスラー合金である。低抵抗層2をなすためのハーフメタルとしては、ホイスラー合金を採用するのがより好ましい。このような低抵抗層2の厚さ(即ち、図1に示す矢印H方向の長さ)は、例えば20〜50nmである。
高抵抗層3は、電極1A,1Bと低抵抗層2の間に位置し、導体よりなり、低抵抗層2よりも高抵抗である。高抵抗層3は、好ましくは、ハーフメタルよりなる。この場合、より好ましくは、高抵抗層3は実質的に非磁性のハーフメタルよりなる。高抵抗層3をなすための導体材料としては、具体的には、結晶性Pr0.6Ca0.4MnO3、結晶性Pr0.7Ca0.3MnO3、結晶性Pr0.8Ca0.2MnO3、結晶性Pr0.9Ca0.1MnO3、非晶質Pr0.6Ca0.4MnO3、非晶質Pr0.7Ca0.3MnO3、非晶質Pr0.8Ca0.2MnO3、非晶質Pr0.9Ca0.1MnO3、結晶性La0.8Sr0.2MnO3、結晶性La0.9Sr0.1MnO3、非晶質La0.8Sr0.2MnO3、非晶質La0.9Sr0.1MnO3、または非晶質Fe3O4を採用することができる。このような高抵抗層3の厚さ(即ち、図1に示す矢印H方向の長さ)は、例えば10〜20nmである。
以上のような電極1A,1B、低抵抗層2、および高抵抗層3を含む磁気検出素子X1の積層構造中には、必要に応じて他の層が含まれてもよい。
磁気検出素子X1は、所定の基材(図示略)上に低抵抗層2、高抵抗層3、および電極1A,1Bを順次積層形成することによって作製することができる。或は、磁気検出素子X1は、所定の基材(図示略)上に電極1A,1B、高抵抗層3、および低抵抗層2を順次積層形成することによって作製することができる。
上述の基材としては、例えば、熱酸化膜付きシリコン基板、石英基板、MgO基板、Al2O3基板、TiO2基板、およびAl2O3―TiO2基板が挙げられる。
電極1A,1Bをなす材料として結晶性Co2MnAlを採用する場合には、例えば、スパッタリング装置を使用して行うスパッタリング法において、結晶性Co2MnAlターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性Co2MnAl膜を形成することができる。電極1A,1Bと低抵抗層2に同一組成材料を採用する場合、低抵抗層2のための材料成膜時のスパッタガス圧力よりも電極1A,1Bのための材料成膜時のスパッタガス圧力を高く設定することにより、低抵抗層2よりも高保磁力の電極1A,1Bを形成できる。電極1A,1Bをなす材料として結晶性Co2MnSiを採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Co2MnSiターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性Co2MnSi膜を形成することができる。電極1A,1Bをなす材料として結晶性NiMnSbを採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性NiMnSbターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性NiMnSb膜を形成することができる。電極1A,1Bをなす材料として結晶性La0.7Sr0.3MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.7Sr0.3MnO3ターゲットを用い、温度条件を600〜700℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.7Sr0.3MnO3膜を形成することができる。電極1A,1Bをなす材料として結晶性La0.6Sr0.4MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.6Sr0.4MnO3ターゲットを用い、温度条件を600〜700℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.6Sr0.4MnO3膜を形成することができる。電極1A,1Bをなす材料として結晶性Fe3O4を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Fe3O4ターゲットを用い、温度条件を400〜500℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を1.0〜3.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Fe3O4膜を形成することができる。
低抵抗層2をなす材料として結晶性Co2MnAlを採用する場合には、例えば、スパッタリング装置を使用して行うスパッタリング法において、結晶性Co2MnAlターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性Co2MnAl膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性Co2MnSiを採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Co2MnSiターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性Co2MnSi膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性NiMnSbを採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性NiMnSbターゲットを用い、温度条件を700〜800℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのDC放電とすることにより、結晶性NiMnSb膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性La0.7Sr0.3MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.7Sr0.3MnO3ターゲットを用い、温度条件を600〜700℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.7Sr0.3MnO3膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性La0.6Sr0.4MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.6Sr0.4MnO3ターゲットを用い、温度条件を600〜700℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.6Sr0.4MnO3膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性La0.5Sr0.5MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.5Sr0.5MnO3ターゲットを用い、温度条件を600〜700℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.5Sr0.5MnO3膜を形成することができる。低抵抗層2をなす材料として結晶性Fe3O4を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Fe3O4ターゲットを用い、温度条件を400〜500℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を0.2〜0.5Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Fe3O4膜を形成することができる。
高抵抗層3をなす材料として結晶性Pr0.6Ca0.4MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング装置を使用して行うスパッタリング法において、結晶性Pr0.6Ca0.4MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Pr0.6Ca0.4MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として結晶性Pr0.7Ca0.3MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.7Ca0.3MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Pr0.7Ca0.3MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として結晶性Pr0.8Ca0.2MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.8Ca0.2MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Pr0.8Ca0.2MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として結晶性Pr0.9Ca0.1MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.9Ca0.1MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性Pr0.9Ca0.1MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質Pr0.6Ca0.4MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.6Ca0.4MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質Pr0.6Ca0.4MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質Pr0.7Ca0.3MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.7Ca0.3MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質Pr0.7Ca0.3MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質Pr0.8Ca0.2MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.8Ca0.2MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質Pr0.8Ca0.2MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質Pr0.9Ca0.1MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Pr0.9Ca0.1MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質Pr0.9Ca0.1MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として結晶性La0.8Sr0.2MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.8Sr0.2MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.8Sr0.2MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として結晶性La0.9Sr0.1MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.9Sr0.1MnO3ターゲットを用い、温度条件を500〜600℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、結晶性La0.9Sr0.1MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質La0.8Sr0.2MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.8Sr0.2MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質La0.8Sr0.2MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質La0.9Sr0.1MnO3を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性La0.9Sr0.1MnO3ターゲットを用い、温度条件を室温〜200℃とし、スパッタガスとしてArおよびO2の混合ガスを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質La0.9Sr0.1MnO3膜を形成することができる。高抵抗層3をなす材料として非晶質Fe3O4を採用する場合には、例えば、スパッタリング法において、結晶性Fe3O4ターゲットを用い、温度条件を室温〜100℃とし、スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧力を0.5〜1.0Paとし、且つ、放電電力0.8kW/φ6inchのRF放電とすることにより、非晶質Fe3O4膜を形成することができる。
以上のような磁気検出素子X1において、電極1A,1Bは、ハーフメタルよりなるため、一方向のスピン(第1方向スピン)を伴う電子の通過を金属的に許容する。そのため、磁気検出素子X1において電極1A,1B間に所定電圧を印加すると、第1方向スピンの電子のみが電極1A,1Bの通過を許される(即ち、電極1Aまたは電極1Bを通過する際に電流がフィルタリングされてスピン偏極電流が高抵抗層3に流入する)。電極1A,1B間の電圧印加方向はいずれでもよい。
強磁性ハーフメタルよりなる低抵抗層2が所定方向に磁化されて第1方向スピン電子の通過を金属的に許容する状態(第1状態)にある場合、スピン偏極電流(黒ベタ太矢印で表す)は、例えば図2(a)に示すように素子内を流れる。具体的には次のとおりである。一方の電極たる電極1Aから高抵抗層3に流入したスピン偏極電流は、高抵抗層3をその厚さ方向に通過して低抵抗層2に流入し得る。低抵抗層2に流入したスピン偏極電流は、一対の電極1A,1Bにより磁気検出素子X1内に形成される電界に沿って、低抵抗層2内をその面内方向に流れ、高抵抗層3に流入して当該高抵抗層3をその厚さ方向に通過し、そして電極1Bを通過する。高抵抗層3を低抵抗層2よりも充分に高抵抗に設定することにより、低抵抗層2が上述の第1状態にある場合において、スピン偏極電流が高抵抗層3をその面内方向に流れることを実質的に遮断して、スピン偏極電流を低抵抗層2にて面内方向に流れさせることが可能である。このように、低抵抗層2を所定方向に磁化させて、高抵抗層3よりも低抵抗な低抵抗層2にて面内方向にスピン偏極電流を流れさせることにより、磁気検出素子X1の低抵抗状態を実現することができる。
例えば外部磁界の作用を受けて低抵抗層2の磁化方向が反転すると、低抵抗層2は、第1方向スピンとは反対のスピン(第2方向スピン)を伴う電子の通過を金属的に許容する状態(第2状態)となる。低抵抗層2がこのような第2状態にある場合、スピン偏極電流は、例えば図2(b)に示すように素子内を流れる。具体的には、一方の電極たる電極1Aから高抵抗層3に流入したスピン偏極電流は、低抵抗層2に流入することができず、一対の電極1A,1Bにより素子内に形成される電界に沿って、高抵抗層3をその面内方向に流れて電極1Bに至り、当該電極1Bを通過する。このように、低抵抗層2を所定方向(第1状態における磁化方向とは反対の方向)に磁化させて、低抵抗層2よりも高抵抗な高抵抗層3にて面内方向にスピン偏極電流を流れさせることにより、磁気検出素子X1の高抵抗状態を実現することができる。このような高抵抗状態にある磁気検出素子X1は、低抵抗層2が磁化反転して上述の第1状態に復帰することにより、再び低抵抗状態に切替わることができる。
磁気検出素子X1においては、素子内における電極1A,1B間の電流経路において、絶縁材料よりなる部位を設ける必要はない。そのため、磁気検出素子X1は、素子抵抗を低減するのに適する。
また、磁気検出素子X1においては、低抵抗層2の第1状態と第2状態との切替わりにより、スピン偏極電流が低抵抗層2にて面内方向に流れる低抵抗状態と、スピン偏極電流が低抵抗層2を通らずに高抵抗層3にて面内方向に流れる高抵抗状態とが切替わる。すなわち、磁気検出素子X1は、磁気抵抗効果を利用して抵抗の切替えを実現するうえで、単一の層の抵抗変化に依存するものではない。磁気検出素子X1における低抵抗状態の抵抗値R1には低抵抗層2の抵抗値が反映され、高抵抗状態の抵抗値R2には高抵抗層3(低抵抗層2よりも高抵抗)の抵抗値が反映される。低抵抗層2の抵抗値と高抵抗層3の抵抗値の差が大きいほど、抵抗値R1と抵抗値R2の差は大きくなる。このような磁気検出素子X1では、大きなMR比〔=(R2−R1)/R1〕を実現しやすい。
以上のように、磁気検出素子X1は、素子抵抗を低減するのに適し、且つ、大きなMR比を得るのに適する。このような磁気検出素子X1によると、低抵抗状態の抵抗値R1と高抵抗状態の抵抗値R2との差を利用して、外部磁界の方向を検出することが可能である。例えば、磁気検出素子X1によると、抵抗値R1,R2の差を利用して、例えば図3(a)や図3(b)に示すように、磁気ディスク4の記録磁性層4aのトラックTに形成されている磁区の磁化方向を、トラックTに沿って順次に読み取ることが可能である。当該読み取り動作において、磁気検出素子X1は、磁気ディスク4の記録磁性層4aに対向配置されつつ、磁気ディスク4の周方向Dに延びるトラックTに沿って磁気ディスク4に対して相対移動させられる。
磁気検出素子X1において、電極1A,1Bは、上述のように、強磁性ハーフメタルよりなり且つ低抵抗層2よりも大きな保磁力を有するのが好ましい。このような構成は、電極1A,1Bについて、一方向のスピン(第1方向スピン)を伴う電子の通過を金属的に許容する状態を確保するうえで好適である。電極1A,1Bが強磁性ハーフメタルよりなる場合、電極1A,1Bと低抵抗層2の磁化方向が同じ(平行)であるときに、電極1A,1Bと低抵抗層2の通過許容電子のスピン方向が一致し、図2(a)に示すように磁気検出素子X1は低抵抗状態となる。電極1A,1Bが強磁性ハーフメタルよりなる場合、電極1A,1Bと低抵抗層2の磁化方向が反対(反平行)であるときに、電極1A,1Bと低抵抗層2の通過許容電子のスピン方向が不一致となり、図2(b)に示すように磁気検出素子X1は高抵抗状態となる。
磁気検出素子X1において、電極1A,1Bおよび低抵抗層2は、上述のように、ホイスラー合金よりなるのが好ましい。ホイスラー合金は、酸化物系ハーフメタルよりも低抵抗な傾向がある。そのため、ホイスラー合金によると、電極1A,1Bや低抵抗層2について低抵抗化を図りやすい。
磁気検出素子X1において、高抵抗層3は、上述のようにハーフメタルよりなるのが好ましい。このような構成は、高抵抗層3について、一方向のスピン(第1方向スピン)を伴う電子の通過を金属的に許容する状態を確保して、電極1Aまたは電極1Bから高抵抗層3に流入するスピン偏極電流に係るスピン方向が散乱するのを抑制するのに好適である。高抵抗層3においてスピン方向の散乱を抑制することは、磁気検出素子X1において高いMR比を実現するうえで好適である。
上述の実施形態における電極1A,1Bは、例えば図2に示すように、低抵抗層2の磁化方向に離隔して設けられているが、磁気検出素子X1においては、図4に示すように、低抵抗層2の磁化方向に直交する方向に離隔する電極1A,1Bを設けてもよい。このような構成によっても、磁気検出素子X1は、上述のように高抵抗状態および低抵抗状態を切替ることが可能である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る磁気記録再生装置100を表す。磁気記録再生装置100は、複数の磁気ディスク101と、磁気ヘッド102と、スピンドルモータ103と、スイングアーム104と、アクチュエータ105と、ディスクコントローラ106とを備える。
複数の磁気ディスク101は、所定の間隔を空けて配されている。各磁気ディスク101は、表裏両面に記録磁性層を有する。磁気ヘッド102は、磁気ディスク101に対してデータを読み書きするためのものであり、磁気ディスク101の記録面と対向するように各スイングアーム104の先端に設けられている。このような磁気ヘッド102には、書き込み用ないし記録用のヘッド部(図示略)と読み取り用ないし再生用のヘッド部(図示略)とが磁気ディスク101の周方向に離隔して設けられている。再生用のヘッド部は、上述の磁気検出素子X1よりなる。スピンドルモータ103は、磁気ディスク101を高速回転させる回転駆動手段である。スイングアーム104は、磁気ディスク101の径方向において磁気ヘッド102を移動させるためのものであり、アクチュエータ105によって動作させられる。アクチュエータ105は、ボイスコイルモータなどからなる。ディスクコントローラ106は、磁気ヘッド102、スピンドルモータ103、およびアクチュエータ105を駆動制御するためのものである。このようなディスクコントローラ106は、例えば、CPUやメモリなどを備えたマイクロコンピュータよりなる。
このような磁気記録再生装置100における情報記録時には、磁気記録再生装置100の各部が協働して、磁気ヘッド102の記録用ヘッド部によって磁気ディスク101の記録層のユーザデータ領域にデータが書き込まれる。また、磁気記録再生装置100における情報再生時には、磁気記録再生装置100の各部が協働して、磁気ヘッド102の再生用ヘッド部(磁気検出素子X1)によって磁気ディスク101の記録磁性層のユーザデータ領域からデータが読み取られる。情報再生時には、磁気検出素子X1は、磁気ディスク101の記録磁性層に対向配置されつつ、ディスク周方向に延びるトラックに沿って磁気ディスク101に対して相対移動させられ、当該トラックに形成されている磁区からの信号磁界の方向を順次検出する。