JP5150764B2 - 超音波センサ - Google Patents

Description

本発明は超音波センサ、超音波センサを備えた車両用駐車支援装置、および超音波センサの製造方法に関する。

超音波センサは、自動車において例えば駐車支援装置のために使用される。駐車支援装置は、駐車時に駐車余地を制限する障害物に対する残りの距離を測定する。このような駐車支援装置は、典型的には１つまたは複数の超音波センサと制御装置を含む。超音波センサは、超音波信号を送信および受信するために使用される超音波変換器を含む。超音波センサに対する重要な機能的要求は、とりわけ３０ｃｍ未満の距離範囲におけるいわゆる近距離測定能力である。

ＤＥ３４３１６８４Ａ１は、基面が薄板として構成されているキャップ形ないしポット形のケーシングを備える電気音響変換器を開示している。薄板の上には変換素子としてピエゾ圧電セラミック体が載置されており、このピエゾ圧電セラミック体の前記薄板とは反対の側は、緩衝用のフォーム材層によって被覆されている。垂直面において特に小さい開き角を有する超音波放射を生成し、これに対して水平面においては比較的大きな開き角を有する超音波放射を生成するために、薄板の輪郭および薄板を包囲する側壁の輪郭は、超音波放射方向に対して垂直な面においてほぼ楕円形、すなわち回転非対称に構成されている。このような構造において不利であるのは、とりわけパルス駆動において副振動モードないしスプリアス振動モードの振動に対して薄板だけでなく側壁も励起されることである。

ＤＥ１９７２７８７７Ａ１は、リング形状の壁部と振動板としての底面とを備えたポットに類似した形状のケーシングを有する超音波変換器を開示している。ケーシングにより大きな頑強性を与え、かつ振動板であるポット底部への超音波振動を実質的に制限するために、壁部の外側には安定リングが設けられている。しかしながらとりわけ超音波変換器のパルス化送信励起の場合には、この構造の場合でも、薄板のポット壁部の傾倒運動およびしわ形成運動に相当する副振動モードが励起される。副振動モードは、超音波センサの近距離測定能力を阻害する。なぜなら副振動モードでは送信励起後に振動の減衰時間が必要となり、近距離の対象から反射された小さい超音波信号と唸りパターンとが重なるからである。

したがって、超音波センサの送信動作における副振動モードないしスプリアス振動モードの励起をさらに低減し、近距離測定能力を改善することが望ましい。

したがって、環状の側壁と底面とを有するケーシング、すなわちポット形またはキャップ形状に成型されたケーシングを備える超音波センサが提案される。底面上には、超音波振動を発生するための例えばピエゾ圧電素子のような変換素子が取り付けられている。側壁は側壁下部を含む。側壁下部においては、側壁は、底面に平行な平面において実質的に回転非対称の断面を有する。側壁はさらに側壁上部を含む。側壁上部においては、側壁は、該側壁の上縁部に向かって実質的に回転対称の断面に移行している。

これら２つの側壁部分は、底面を直接包囲している側壁下部における回転非対称な断面、ないしは、側壁の上縁部での回転対称な断面への移行によって区別される。これら２つの側壁部分の構造により、変換素子による底面の主振動モードまたは動作振動モードの励起時における、例えば側壁の傾動振動および／または屈曲振動に起因する副振動モードの不所望な間接励起は、従来の超音波センサに比べて格段に低減される。

妨害となる副振動モードに対する動作振動モードの特性の割合は、フォーム充填材等の材料によって減衰されていないセンサケーシングにおいて既に、とりわけ電気的測定によって検出することができる。個々の振動モードは、それぞれ電気的な等価回路図によって表すことができる。副振動モードの特性は、個々の副振動モードと主振動モードの減衰の割合によって判断することができる。側壁の高さに沿って一定の側壁断面を備えたポット形状のケーシング、および場合によっては側壁の外側に安定リングを有する従来の超音波センサとの比較測定により、副振動モードの減衰は５倍から１０倍増加することが示された。

超音波センサがフォーム充填材によって上述のように減衰され、かつ用途に応じて場合によって動作中にケーシングを包囲する別の外囲器内に取り付けられる場合には、個々の振動モードの固有振動モード、ならびに動作振動モードと比較して向上した副振動モードの減衰は、レーザ干渉法によって証明可能である。向上した副振動モードの減衰はさらに、近距離の対象から反射された小さな超音波信号と競合する、電気増幅された超音波センサの受信信号における妨害的な唸りを、直接証明可能に改善して低減する。これによって本発明の超音波センサの近距離測定能力が改善される。

本発明の超音波センサの有利な発展形態によれば、側壁上部における側壁は、側壁下部に比べて少なくとも大部分が肉厚が薄くなっている。すなわち側壁上部における側壁の平均壁厚は、側壁下部よりも薄くなっている。別の１つの有利な実施形態によれば、側壁上部は、ケーシングの全体高さの５０％よりも多くに亘って延在している。有利には、側壁上部は、ケーシングの全体高さの８０％未満に亘って延在している。これらの発展形態においては、妨害的な副振動モードが特に著しく減衰される。

１つの有利な発展形態によれば、ケーシングは、側壁下部および側壁上部において実質的にシリンダ形状の外部輪郭を有する。このような超音波センサは特に簡単に取り付けることが可能である。なぜなら、側壁下部および側壁上部は、ケーシングの内部輪郭の経過によって構成されており、その一方で外部輪郭は、例えば従来形式の超音波センサと同一形状に設けることが可能だからである。このようにすれば、例えば車両の周辺部材の形状を適合させる必要がなくなる。

有利な発展形態によれば、側壁は、側壁上部にて環状の外側の肥厚部を有する。この肥厚部はケーシングの剛性を高める安定リングとして機能し、これによって、側壁の方向が偏向される副振動モードの発生が低下する。さらにケーシングの機械的なロバスト性が改善される。有利には外側の肥厚部は、側壁の上縁部に沿って経過している。

有利な発展形態によれば、側壁上部は、底面に対して垂直な平面において斜めに経過する、ケーシングの内部輪郭を含む。この底面に対して垂直な平面は、例えばケーシングの外部輪郭がシリンダ形状である場合、または一般的に回転対称である場合に、外部輪郭の対称軸を通る平面とすることができ、ここでは底面に対して垂直な平面と内部輪郭との交線の一部分が、外部輪郭の対称軸に対して傾いた直線を形成している。有利には、この交線の一部分は底面に対して約４５°傾斜して経過しており、したがって円錐の側面に沿った内部輪郭は、部分的に９０°の開き角を以て経過している。

別の１つの有利な発展形態によれば、側壁上部は、底面に対して垂直な平面において曲線状に経過する、ケーシングの内部輪郭を含む。この底面に対して垂直な平面は、例えばケーシングの外部輪郭がシリンダ形状である場合、または一般的に回転対称である場合に、外部輪郭の対称軸を通る平面とすることができ、ここでは底面に対して垂直な平面と内部輪郭との交線の一部分が曲線を形成している。有利には内部輪郭は、実質的に４分円形の経過を含む。すなわち底面に対して垂直な平面と内部輪郭との交線の一部分が、４分円の形態で経過している。これら２つの発展形態においては、副振動モードの減衰が非常に大きい特に有利なケーシングの振動特性を達成することができる。

有利な発展形態によれば、側壁上部は、底面に対して垂直な平面において階段状に経過する、ケーシングの内部輪郭を含む。この底面に対して垂直な平面は、例えばケーシングの外部輪郭がシリンダ形状である場合、または一般的に回転対称である場合に、外部輪郭の対称軸を通る平面とすることができ、ここでは底面に対して垂直な平面と内部輪郭との交線の一部分が水平線、つまり底面に平行な線を形成している。このような経過は、非常に簡単に製造することが可能である。

以下、本願発明を有利な実施形態および添付図面に基づいてより詳細に説明する。

図１Ａは、本発明の超音波センサの平面図である。図１ＢおよびＣは、図１Ａの超音波センサの２つの異なる断面図である。 図２は、４分円形の内部輪郭経過部を備えた別の１つの実施形態による超音波センサの断面図である。 図３は、区分線形の内部輪郭経過部を備えた別の１つの実施形態による超音波センサの断面図である。 図４は、本発明の１つの実施形態による超音波センサによって受信された信号推移と、比較推移を示す線図である。 図５Ａは、従来の超音波センサから送信された超音波信号の周波数スペクトルを示す図である。図５Ｂは、本発明の１つの実施形態による超音波センサによって送信された超音波信号の周波数スペクトルを示す図である。

各図面において同一の参照符号は、明示的に異なる指示がない限り、同一の特徴または同機能の特徴を表す。

図１Ａは、自動車用の駐車支援システムに使用するために適当な超音波センサ１００の平面図である。超音波センサは、底面１０４および該底面をリング形状に包囲する側壁１０２とを備えたポット形のケーシング１０１を含む。ケーシング１０１は例えばアルミニウムのような金属材料から成型されているか、または金属材料からフライス加工されており、腐食および塗装の理由から下塗りによって被覆されている。

図面の観察者の視点は上からケーシング１０１内部へと向けられるので、底面１０４の内側は観察者の方に向いている。底面１０４の内側には、ここでは例えばシリンダ円盤形のピエゾ素子のような電気機械的な変換素子１０６が載置され、例えば接着されており、コンタクト接続されている。見やすさの理由からこのコンタクト接続の図示は省略されている。ケーシング１０１の内部の残りの空間は、図示しない緩衝材料によって充填されている。図示したケーシング１０１をさらに、例えば柔軟なエラストマのような別の被覆部によって包囲することができる。

底面１０４は、丸み付けられた短辺を備えるほぼ長方形形状を有する。この長方形はその中央部において、変換素子１０６の取り付け位置を包囲している円形セグメント状の凸部１３２によって拡張されている。図１Ａの観察者の視点が向けられる側壁１０２の上縁部は、図平面および底面１０４に平行に位置している縁部面を有する。この縁部面は２つの同心円状の円周によって画定されており、これらの円周の中心点は対称軸１３４上にあり、この縁部面はケーシング１０１の外側輪郭１２０に対して回転対称に形成されている。

図１Ｂは、図１Ａの超音波センサ１００を、図１Ａの外部輪郭１２０の対称軸１３４を通るＢ−Ｂ線に沿って切断した断面図である。外部輪郭１２０は、ケーシング１０１の全体高さ１１８の大部分に亘って外径１３６を有するシリンダ形状に経過するよう形成されており、この際シリンダ軸は対称軸１３４上に位置している。外側輪郭１２０は、以下の点ではシリンダ形状とは相違している。すなわち、ケーシング１１６の上縁部１１６に安定リングとして機能する肥厚部１２２が形成されており、さらに、側壁１２０が底面１０４の外側と合流している側壁１０２の下側角部１３８が丸み付けされているという点である。

外部輪郭１２０が図示の実施形態において対称軸１３４に関して回転対称に形成されている一方で、内部輪郭１２４は回転対称形状とは実質的に相違している。内部輪郭１２４は、底面１０４に直接接続する側壁下部１０８において垂直経過部１４４を有している。したがって側壁１０２は、この側壁下部１０８においては押出成型体の形式で成型されている。つまり側壁１０２は、側壁下部１０８内で任意に選択可能な、底面１０４に対して平行な平面であってかつ底面の上側に経過する平面では、一定の断面形状を有する。側壁１０２の側壁下部における断面形状は回転非対称である。なぜなら内部輪郭１２４は、図１Ａに図示されている回転非対称の底面１０４の輪郭に沿っているからである。この実施例においては、側壁下部１０８における側壁１０２の厚さは一定ではない。

側壁下部１０８に続いている側壁１０２の側壁上部１１４においては、内部輪郭１２４は、側壁下部１０８における回転非対称の断面形状から上縁部１１６における回転対称形状へと漸次に移行している。側壁上部１１４は、この実施例では移行部分１１０と縁部部分１１２とを含む。縁部部分１１２においては内部輪郭１２が垂直に経過しており、かつ外部輪郭１２０の対称軸１３４に対して回転対称に経過している、つまりシリンダ面１４２に沿っている。シリンダ面のシリンダ軸は対称軸１３４と一致している。シリンダ面１４２の内径は、対称軸１３４に沿って投影したときに、該シリンダ面１４２が底面１０４の回転非対称の輪郭を完全に包囲するように選択される。図１Ａから明らかなように、底面１０４のほぼ長方形形状の輪郭の短辺１３０は、対称軸１３４に沿って投影したときに、該短辺１３０が縁部部分１１２におけるシリンダ形状の内部輪郭１２４と一致するように丸み付けられている。

これに対して移行部分１１０においては、内部輪郭１２４は、対称軸１３４に沿って投影したときに底面１０４の輪郭の外側に位置するような部分において、尖端が対称軸１３４上に位置しており下へと延びる円錐の側面１４０に沿って経過している。これは、対称軸１３４を通って経過する図１Ｂの垂直の断面において、対称軸１３４ないし底面１０４に対して斜めに傾いて経過する直線状の断面輪郭に相当する。円錐の開き角１４６は例えば９０°とすることができ、円錐の側面は対称軸１３４に対して４５°の角度だけ傾いている。これに対して、対称軸１３４に沿って投影したときに底面１０４の輪郭内に位置するような部分においては、内部輪郭１２４は、側壁下部１０８における内部輪郭の垂直経過部に引き続き垂直に経過している。

側壁上部１１４は、側壁１０２ないしケーシング１０１の全体高さ１１８の５０％より多くに亘って延在している。内部輪郭１２４の経過が、側壁上部１１４においては上縁部１１６に向かって漸次拡大している一方で、外側輪郭１２０は、上縁部１１６に形成された肥厚部１２２を除いて実質的にシリンダ形状であるので、すなわち一定の外径１３６を以て経過しているので、総じて側壁上部１１４では外壁１０２は漸次に肉厚が薄くなっている。

図１Ｃは、図１Ａの超音波センサ１００を、図１Ａの外部輪郭１２０の対称軸１３４を通るＣ−Ｃ線に沿って切断した断面図である。択一的実施形態においては、側壁１０２の内部輪郭１２４がシリンダ形状に経過している縁部部分１１２を省略することができる。こうすることによって側壁上部１０８は専ら移行部分１１０のみを含み、側壁１０２は上縁部１１６においてようやく回転対称の形状を有することとなる。

図２および３は、それぞれ超音波センサ１００の別の実施形態の断面図を図示しており、ここでは移行部分１１０における内部輪郭１２４の経過が、図１Ｂに図示した上述の実施形態の円錐側面形状１４０とは異なる構成になっている。図２および３の断面図の断面は、それぞれケーシング１０１の外部輪郭１２０の対称軸１３４を通って経過している。ケーシング１０１の底面１０４は、図１Ａ−Ｃの実施形態と同様にほぼ長方形形状を有する。したがって図１Ａと実質的に同じ平面図が形成されるので、図２および３の実施形態の平面図に相応する別個の図示は省略する。図２および３の断面は、図１Ｂの図面に相応して、ほぼ長方形形状の底面１０４の長手方向軸に沿って経過している。

図２の実施形態においては、移行部分１１０における内部輪郭１２４が、図示の断面図にて図１Ｂの直線状の傾いた断面輪郭１４０の代わりに曲線状の断面輪郭６００を有するように形成されている。この曲線状の断面輪郭６００は、縁部部分１１２における内部輪郭１２４のシリンダ形状の経過１４２に滑らかに続いており、下に向かって底面１０４に対して連続的に増加する勾配を以て続いている。曲線状の断面輪郭６００は、曲線の経過に亘って一定の曲率半径６０２を有している。曲率半径６０２は、曲線状の断面輪郭６００の下側端部が、底面１０４に対して平行な勾配になるように、つまり全体として４分円形に経過するように選択することができる。

図３の実施形態においては、移行部分１１０における内部輪郭１２４が、図示する断面図にて部分毎に直線状の輪郭部分１４０，７００，１４０’から組み合わされた断面輪郭を有する。第１輪郭部分１４０は、縁部部分１１２における内部輪郭１２４のシリンダ形状の経過１４２に続いており、底面１０４に対して４５°だけ傾いて経過している。第１輪郭部分１４０には、底面１０４に対して平行に経過する第２輪郭部分７００と、底面１０４に対して４５°だけ傾いて経過する第３輪郭部分１４０’とが続いている。

択一的実施形態において、縁部部分１１２と側壁下部１０８との間に純粋な階段状の移行部を設けることも可能である。こうすることによって縁部部分１１２は、有限の高さの移行部分１１０無しに直接に側壁下部１０８に続く。さらに内部輪郭１２４の経過を、図３とは異なる方式で区分毎に複数の部分から組み合わせることもできる。これらの部分は、階段状に形成されている、すなわち図１Ｂのような垂直の断面図において水平の断面輪郭を有するように形成されている、および／または、円錐状に形成されている、すなわち同様の断面図において直線状の傾いた断面輪郭を有するように形成されている、および／または、円形等の曲線状の断面輪郭を有するように形成されている。例えば４分円形の断面輪郭を有する経過を、区分毎に円錐状および／または階段状の部分から組み合わされた内部輪郭１２４の経過によって近似させることもできる。

超音波センサ１００の作動時には、ピエゾ圧電式変換素子１０６には制御装置によってパルス状に交流的に電気的な励起信号が印加され、この励起信号が底面１０４に対して垂直に相応の電界を発生する。分極が適切に調整されている場合には、電界は、例えば変換素子１０６の収縮を印加電界に対して横断するよう生成する。底面１０４に対して接線に沿って働くこの変換素子１０６の収縮により、いわゆるフレキシブルベンドの原理に従って底面１０４の撓みが生じる。

この際できるだけ最大の変位を達成するために、機械的に可能な、例えばほぼ回転対称の、底面の基本振動モード、動作振動モード、またはオーバートーン振動モードに一致する周波数を有する制御信号を印加すると有利である。制御装置内の変換素子１０６の適当な電気接続によって、動作振動モードの機械的な帯域は、広帯域を必要とする短い超音波パルスを送信できるよう充分に拡大されている。変換素子１０６のパルス化送信励起の場合、典型的には側壁１０２の傾倒運動およびしわ形成運動に相当する別の副振動モードが励起される。これらのモードは電気的に補償されておらず、これによって小さな帯域しか得られず大きな時定数を有する。

図５Ａは、レーザ干渉計によって記録された従来の超音波センサから送信される超音波信号の周波数スペクトルを、２０ｋＨｚと８０ｋＨｚの間の周波数領域において図示している。ここでは周波数はｋＨｚ単位で、水平軸３１２に沿って線形にプロットされている。その一方で対数スペクトル強度は、ｄＢ単位で比較出力１ｍＷに関連して垂直軸３１０に沿ってプロットされている。図示したスペクトルにおいては、異なるストローク幅で図示された複数の個別の曲線が重なっており、これらの個別の曲線は、振動する超音波センサの底面の異なる点における測定によって得られたものである。周波数スペクトルは、４８ｋＨｚにおける動作振動モードの領域にて明確な最大値３００を有し、さらに別の副振動モード最大値３０２，３０４，３０６も有する。これらの副振動モード最大値３０２，３０４，３０６は、超音波センサの作動に邪魔な３３ｋＨｚ，６７ｋＨｚ，７５ｋＨｚにおける副振動モードに相当する。

図５Ｂは、本発明の１つの実施形態による超音波センサによって送信された同様の形式で得られる超音波信号の周波数スペクトルを図示している。４８ｋＨｚにおける動作振動モードの領域での最大値３００は、直接隣接する側帯域３２０，３２２を含めて、図３Ａと比較して不変の強度を以て存在する。これに対して、不所望の副振動モード最大値３０２，３０４，３０６の強度は、５分の１から１０分の１に格段に低減されている。

図４は、共通の時間軸２０４に亘って異なるストローク幅で図示された２つの受信信号の２つの信号推移２００，２０２を示す線図である。ここで第１の受信信号２０２は従来の構造形式の超音波センサによって受信されたものであり、第２の受信信号２００は本発明の１つの実施形態による超音波センサによって受信されたものである。垂直軸２０６は、得られた電圧信号のそれぞれの信号レベルを示している。受信信号２０２において明らかに認識できるように、受信信号２０２には、副振動モードによって引き起こされる唸り２０８が存在し、この唸り２０８は従来の超音波センサの近距離測定能力を阻害するものである。このような唸りは、第２の受信信号２００においては効果的に阻止されている。

Claims (9)

1. 環状の側壁（１０２）と底面（１０４）を備えるケーシング（１０１）を備える超音波センサ（１００）であって、
   前記底面（１０４）上に超音波振動を発生するための変換素子（１０６）が取り付けられている、
   超音波センサにおいて、
   前記側壁（１０２）は、側壁下部（１０８）と側壁上部（１１４）を有し、
   ・前記底面（１０４）に隣接する前記側壁下部（１０８）においては、前記側壁（１０２）は、前記底面（１０４）に平行な平面において回転非対称の断面を有し、
   ・前記側壁下部（１０８）に隣接する前記側壁上部（１１４）においては、前記側壁（１０２）は、該側壁（１０２）の上縁部（１１６）に向かって前記底面（１０４）に平行な平面において回転対称な断面に移行しており、
   前記側壁下部（１０８）に隣接する前記側壁上部（１１４）の内部輪郭（１２４）は、側壁下部（１０８）における回転非対称の断面形状から上縁部１１６における回転対称形状へと漸次に移行しており、
   前記側壁（１０２）は、前記側壁上部（１１４）にて環状の外側の肥厚部（１２２）を有する、
   ことを特徴とする超音波センサ（１００）。
2. 前記側壁上部（１１４）における側壁（１０２）は、側壁下部（１０８）に比べて少なくとも大部分が肉厚が薄くなっている、
   ことを特徴とする請求項１記載の超音波センサ（１００）。
3. 前記側壁上部（１１４）は、前記ケーシング（１０１）の全体高さ（１１８）の５０％より多く、８０％未満に亘って延在している、
   ことを特徴とする請求項１または２記載の超音波センサ（１００）。
4. 前記ケーシング（１０１）は、前記側壁下部（１０８）および前記側壁上部（１１４）において実質的にシリンダ形状の外部輪郭（１２０）を有する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載の超音波センサ（１００）。
5. 前記側壁上部（１１４）は、前記底面（１０４）に対して垂直な平面において斜めに経過している、ケーシング（１０１）の内部輪郭（１２４）を含む、
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の超音波センサ（１００）。
6. 前記側壁上部（１１４）は、前記底面（１０４）に対して垂直な平面において曲線状に経過している、ケーシング（１０１）の内部輪郭（１２４）を含む、
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の超音波センサ（１００）。
7. 前記側壁上部（１１４）は、前記底面（１０４）に対して垂直な平面において階段状に経過している（７００）、ケーシング（１０１）の内部輪郭（１２４）を含む、
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の超音波センサ（１００）。
8. 超音波センサ（１００）と制御装置とを備えた車両用駐車支援装置において、
   前記超音波センサ（１００）は、環状の側壁（１０２）と底面（１０４）を備えるケーシング（１０１）を備えており、
   前記底面（１０４）上に超音波振動を発生するための変換素子（１０６）が取り付けられており、
   前記側壁（１０２）は、側壁下部（１０８）と側壁上部（１１４）を有し、
   ・前記底面（１０４）に隣接する前記側壁下部（１０８）においては、前記側壁（１０２）は、前記底面（１０４）に平行な平面において実質的に回転非対称の断面を有し、
   ・前記側壁下部１０８に隣接する前記側壁上部（１１４）においては、前記側壁（１０２）は、該側壁（１０２）の上縁部（１１６）に向かって前記底面（１０４）に平行な平面において回転対称な断面に移行しており、
   前記側壁下部（１０８）に隣接する前記側壁上部（１１４）の内部輪郭１２４は、側壁下部（１０８）における回転非対称の断面形状から上縁部１１６における回転対称形状へと漸次に移行しており、
   前記側壁（１０２）は、前記側壁上部（１１４）にて環状の外側の肥厚部（１２２）を有する、
   ことを特徴とする車両用駐車支援装置。
9. 超音波センサ（１００）の製造方法において、
   ・環状の側壁（１０２）と底面（１０４）を備えるケーシング（１０１）を形成するステップであって、前記底面（１０４）に隣接し、前記底面に平行な平面において回転非対称の断面を有する側壁下部（１０８）と、前記側壁下部（１０８）に隣接し前記側壁（１０２）の上縁部（１１６）に向かって回転対称の断面に移行している側壁上部（１１４）とを、前記側壁（１０２）が有し、前記側壁下部（１０８）に隣接する前記側壁上部（１１４）の内部輪郭（１２４）は、側壁下部（１０８）における回転非対称の断面形状から上縁部（１１６）における回転対称形状へと漸次に移行しており、
   前記側壁（１０２）は、前記側壁上部（１１４）にて環状の外側の肥厚部（１２２）を有するように、前記ケーシング（１０１）を形成するステップと、
   ・前記底面（１０４）上に超音波振動を発生するための変換素子（１０６）を取り付けるステップ
   とを有することを特徴とする製造方法。

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