JP5148965B2 - 被膜付き切削工具 - Google Patents

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Description

本発明は、硬質合金の基材と、この基材表面に物理蒸着(PVD)またはプラズマ化学蒸着(プラズマCVD)により被着した硬質で耐摩耗性の耐熱被膜とを備えた、金属の機械加工用の被膜付き切削工具に関する。
例えば超硬合金切削工具にアルミナ、炭化チタンおよび/または窒化チタンのような薄いセラミクス被膜(1〜20μm)を被着するプロセスは十分に確立された技術であり、この被膜付き切削工具を金属の機械加工に用いると工具寿命が大幅に長くなる。被膜なしの切削工具に対して工具寿命は条件によっては数百パーセントも長くなる。セラミクス被膜は一般に単層構造または多層構造である。新しい市販の切削工具は2層またはそれ以上の多層構造である。被膜の全厚は1〜20μmであり、個々の構成層の厚さは数μmから数百分の1μmの間である。
このような層を被着する確立した技術としてCVDおよびPVDがある(特許文献1(アメリカ合衆国特許第4,619,866号)および特許文献2(アメリカ合衆国特許第4,346,123号)を参照)。超硬合金または高速度鋼にPVDで被着した市販の工具は通常、TiN、Ti(C,N)または(Ti,Al)Nの均質組成の単層を備えているか、または、上記の各単相を個々の構成層とする多層被膜を備えている。
切削工具に薄い耐熱被膜を施すことができるPVD技術は幾つか存在する。最も確立した技術として、イオンプレーティング、マグネトロンスパッタリング、アーク放電蒸着、およびIBAD(イオンビーム蒸着)およびこれらの複合技術がある。各技術には各々特徴があって、生成した被着層の固有特性であるミクロ組織、粒径、硬さ、応力状態、凝集強度、基材との密着強度は、どのPVD法を用いたかによって異なる。したがって、PVD被膜付き切削工具の耐摩耗性または刃先性状は、個々の機械加工用途毎に上記の各特性のうち1つまたは幾つかを最適化することによって達成できる。
粒子で強化したセラミクスはバルク形態の構造用材料としては良く知られていたが、ナノコンポジット材料としては最近まで知られていなかった。複数種類のナノ分散粒子を添加したアルミナのバルクセラミクスが、非特許文献1(J.F.Kuntz et al., MRS Bulletin Jan 2004, pp22-27)に開示されている。ジルコニアとチタニアとで強靭化したアルミナCVD層が、例えば特許文献3(アメリカ合衆国特許第6,660,371号)、特許文献4(アメリカ合衆国特許第4,702,905号、特許文献5(アメリカ合衆国特許第4,701,384号)に開示されている。後者の例では、各層はCVDで被着され、生成したZrO相は熱力学的に安定な相すなわち単斜晶相である。更に、これらのCVD被着した層は一般に引張応力状態または低レベルの圧縮応力状態にあって、これに対してPVDまたはPECVDで被着した層はこれら被着方法に固有な特性により典型的には高レベルの圧縮応力状態である。特許文献6(アメリカ合衆国特許出願公開第2005/026432号)には、アルミナ+ジルコニアのCVD層にブラスト処理を施して圧縮応力を付与している。ブラスト処理は中レベルの圧縮応力を導入することが知られている。
ジルコニアの準安定相である正方晶相または立方晶相は変態強靭化として知られているメカニズムによってバルクセラミクスを改良することが示されている(非特許文献2(Hannik et al, J.Am.Ceram.Soc 83(3)461-87)、非特許文献3(Evans, Am.Ceram.Soc.73(2)187-206(1990)))。上記の準安定相は、安定化元素としてYまたはCeなどを添加したり、あるいは、真空のような酸素欠乏雰囲気とすることで改良することが示されており(非特許文献4(Tomaszewski et al., J.Mater.Sci.Lett 7(1988)778-80))、それには典型的にはPVD法の適用が必要である。PVD法のパラメータを変化させることにより、酸素の化学量論比を変化させると、ジルコニアの準安定相、特に立方晶ジルコニア相が生成することが示されている(非特許文献5(Ben Amor et al, Mater. Sci. Eng. B57 (1998) 28))。
切削用として金属の窒化物または炭化物から成るPVDによる多層構造が特許文献7(ヨーロッパ特許出願公開第EP0709483号)に記載されており、金属の窒化物および炭化物で対称的に構成した多層構造が用いられており、また特許文献8(アメリカ合衆国特許第6,103,357号)には金属の窒化物および炭化物を非周期的に積層した多層構造が記載されている。
特許文献9(スエーデン特許出願第SE0700867-7号)および特許文献10(スエーデン特許出願第SE0600104-4号)には、少なくとも表面の機能部分に薄くて密着性のある硬質の耐摩耗性被膜を施した、金属の機械加工用の切削工具インサートが開示されている。この被膜は、2種類の構成相から成り粒径が1〜100nmである金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層を含んでいる。
アメリカ合衆国特許第4,619,866号 アメリカ合衆国特許第4,346,123号 アメリカ合衆国特許第6,660,371号 アメリカ合衆国特許第4,702,905号 アメリカ合衆国特許第4,701,384号 アメリカ合衆国特許出願公開第2005/026432号 ヨーロッパ特許出願公開第EP0709483号 アメリカ合衆国特許第6,103,357号 スエーデン特許出願第SE0700867-7号 スエーデン特許出願第SE0600104-4号 J.F.Kuntz et al., MRS Bulletin Jan 2004, pp22-27 Hannik et al, J.Am.Ceram.Soc 83(3)461-87 非特許文献3(Evans, Am.Ceram.Soc.73(2)187-206(1990))) Tomaszewski et al., J.Mater.Sci.Lett 7(1988)778-80) Ben Amor et al, Mater. Sci. Eng. B57 (1998) 28
本発明は、耐摩耗性と、熱起因の破損に対する抵抗力とを共に高めたPVDまたはPECVDによる被膜付き切削工具を提供することを目的とする。
本発明によれば、超硬合金、セラミクス、立方晶窒化硼素、高速度鋼のうちのいずれかの基材、望ましくは超硬合金またはサーメットの基材の表面に積層した多層構造の耐摩耗被膜を施した旋削、フライス、ドリル加工などの機械加工用の切削工具が提供される。この切削工具の形態としては、割付可能なインサート(indexable insert)があるし、ドリル、ミルなどのシャンクタイプ工具もある。
上記の被膜は更に、積層した多層構造の下に、単層または多層の第1内層として、Ti、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YまたはSiのうちから選択した1種以上の金属の炭化物、窒化物または単窒化物から成り、厚さ0.2〜20μmの層を付加的に含むことができる。
上記被膜は、基材の全面に施すか、または、刃先、すくい面、逃げ面などの金属切削過程に参画する面などの少なくとも機能表面に施す。
本発明の被膜は、基材に密着性良く接合しており、PVDまたはPECVDによる複数の金属酸化物層をMeX+MeX+MeX+MeX・・・・という形で交互に積層した多層構造を有し、金属元素MeおよびMeはTi、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YおよびSiのうちの1種以上、望ましくはHf、Ta、Cr、ZrおよびAlのうちの1種以上、最も望ましくはZrおよびAlのうちの1種以上であり、MeXおよびMeXのうちの少なくとも1種は、金属酸化物マトリクス中に金属酸化物成分が分散したナノコンポジット層であり、以下これを金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジットと呼ぶ。MeXとMeXとは組成および/または組織が異なる。個々の層MeXとMeXの厚さの並び方は多層構造全体に亘って非周期的であることが望ましい。ここで非周期的とは、個々の層の厚さがその直下の層の厚さに依存せず、その上の層とは関係が無いことを意味する。すなわち、積層した多層構造は個々の層の厚さの並び方に繰返し周期がない。更に、個々の層の厚さは0.4nmより大であるが50nmより小であり、望ましくは1nmより大であるが30nmより小であり、最も望ましくは5nmより大であるが20nmより小である。積層した多層構造全体の厚さは0.2〜20μmであり、望ましくは0.5〜5μmである。
個々の金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層は、組成および組織が異なる2種類の成分から成る。各成分は、1種類の金属の1相の酸化物であるか、または、2種類以上の金属酸化物の固溶体である。本発明材料のミクロ組織の特徴として、平均粒径1〜100nm、望ましくは1〜70nm、最も望ましくは1〜20nmの粒状または柱状の成分Aを成分Bが取り巻いている。成分Bの平均直線切片は0.5〜200nm、望ましくは0.5〜50nm、最も望ましくは0.5〜20nmである。
金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層は、酸素含有量が化学量論的な量を下回っており、化学量論上の金属:酸素の原子比に対して、金属:酸素の原子比は85〜99%、望ましくは90〜97%である。成分Aおよび成分Bの体積含有量はそれぞれ40〜95%および5〜60%である。
本発明の一実施形態においては、MeXは粒状または柱状の成分Aとして望ましくは正方晶または立方晶のジルコニアと、これを取り巻く成分Bとして望ましくは非晶質または結晶質のアルミナであってα相および/またはγ相とを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXはAl層であって望ましくはα相および/またはγ相である。
本発明の他の実施形態においては、MeXは粒状または柱状の成分AとしてHfの酸化物と、これを取り巻く成分Bとして非晶質または結晶質のアルミナであってα相および/またはγ相とを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXはアルミナ層であって望ましくはα相および/またはγ層である。
本発明の他の実施形態においては、MeXは粒状または柱状の成分Aとこれを取り巻く成分Bとを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXは粒状または柱状の成分Aとこれを取り巻く成分Bとを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXの成分Aの金属元素はMeXの成分Aの金属元素とは異なり、かつ/または、MeXの成分Bの金属元素はMeXの成分Bの金属元素とは異なる。
本発明の他の実施形態においては、MeXは粒状または柱状の成分Aとして正方晶または立方晶のジルコニアとこれを取り囲む成分Bとして非晶質または結晶質のアルミナとを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXは粒状または柱状の成分Aとして正方晶または立方晶のジルコニアとこれを取り囲む成分Bとして非晶質または結晶質のアルミナとを含む金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeX中の成分Aの体積含有量はMeX中の成分Aの体積含有量より大であり、望ましくは絶対単位でMeX中の成分Aの体積含有量はMeX中の成分Aの体積含有量よりも5%以上大である。
積層した多層構造は、生成方法に起因する残留応力が、200〜5000MPa、望ましくは1000〜3000MPaの圧縮応力である。
本発明の被膜は更に、積層した多層構造の上に、単層または多層の外側被膜として、Ti、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YおよびSiから選択した1種以上の金属の炭化物、窒化物または炭窒化物から成り、厚さ0.2〜5μmの層を付加的に含むことができる。
本発明の被膜は、PVD法、PECVD法、またはこれらを組み合わせた方法により形成する。具体例として、RF(ラジオ周波数)マグネトロンスパッタリング、DCマグネトロンスパッタリング、およびパルス式2重マグネトロンスパッタリング(DMS:dual magnetron sputtering)がある。被膜の形成は基材温度200〜850℃で行なう。
用いるPVD法のタイプで可能であれば、金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層を、複合酸化物ターゲット材料を用いて製膜する。金属ターゲットを用い反応性ガス雰囲気中で行なう反応性プロセスは、もう1つの製膜方法である。マグネトロンスパッタリング法により金属酸化物層を形成する場合、単体金属のターゲットを2個以上用い、ターゲットの切り替えにより金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット組成を制御することができる。望ましい方法においては、望みの層組成を反映した組成の化合物をターゲットとして用いる。ラジオ周波数(RF)スパッタリングの場合、個々のターゲットに照射する出力レベルを個々に制御することで層組成を制御する。
非周期的な層構造は、大規模なPVDまたはPECVDプロセスにおいて、複数の基材を多重ローテーションすることで形成してもよい。
〔実施例1〕
金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジットAl+ZrO層とAl層とが交互に積層した非周期的な多層構造を、RFスパッタリングPVD法により基材表面に堆積させた。
上記のナノコンポジット層は、高純度酸化物ターゲットを用い、プロセス条件として温度およびジルコニア/アルミナ比を種々に変えて堆積させた。形成したナノコンポジット層中の2種類の酸化物の含有量は、あるレベルの出力をジルコニアターゲットに照射し、これとは異なるレベルの出力をアルミナターゲットに照射することにより制御した。準安定ZrO相を有する複合材料を形成する目的で、ジルコニアのフラックス(流束)にアルミナを添加した。この場合のターゲット出力レベルは各酸化物ターゲットについて80Wであった。スパッタリングレートの調節により、アルミナの2倍のジルコニアa%を得た。酸素:金属の原子比は化学量論的な酸素:金属の原子比の94%であった。
Al層は、アルミナターゲットを用い、アルゴン雰囲気中で堆積させた。
得られた各層をXRDとTEMで解析した。XRD解析の結果、ナノコンポジット層中には結晶質のアルミナの痕跡は全く見当たらず、Al層は主としてγAlで構成されていた。
TEM観察の結果、堆積した被膜は、平均粒径4nmの粒子(成分A)が直線切片2nmの非晶質層(成分B)に取り囲まれた金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層と、γAl層とが交互に積層した多層構造であった。ナノコンポジット層の粒子は立方晶ZrOであり、これを取り囲む相はアルミニウム含有量が高かった。個々の層の厚さは6〜20nmの範囲内であり、多層構造全体の厚さは約1μmであった。
成分Aと成分Bの2成分の相対的な体積含有量はそれぞれ概略で70%と30%であった。これはERDA解析とTEM像のEDSラインスキャンとによって求めた。
〔実施例2〕
金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジットAl+ZrO層とγAl層とが交互に積層した多層構造被膜を、高純度のAlターゲットおよびZrターゲットを用いアルゴンと酸素の混合雰囲気中で反応性RFスパッタリングPVD法により基材表面に堆積させた。形成したナノコンポジット層中の2種類の酸化物の含有量は、あるレベルの出力をZrターゲットに照射し、これとは異なるレベルの出力をAlターゲットに照射することにより制御した。アルミナに対して1〜2倍のジルコニアat%の複合材料を形成する目的で、スパッタリングレートを調節した。Al層は、アルミニウムターゲットを用い、アルゴンと酸素の混合雰囲気中で堆積させた。
XRD解析の結果、ナノコンポジット層中に準安定ZrO相が存在することが分かった。TEM観察の結果、堆積した被膜は、平均粒径6nmの粒子(成分A)が直線切片3nmの非晶質層(成分B)に取り囲まれた金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層と、γAl層とが交互に積層した多層構造であった。ナノコンポジット層の粒子はジルコニウム含有量が高く、これを取り囲む相はアルミニウム含有量が高かった。個々の層の厚さは10〜20nmの範囲内であり、多層構造全体の合計厚さは約3μmであった。
成分Aと成分Bの2成分の相対的な体積含有量は概略で75%と25%であった。これはERDA解析とTEM像のEDSラインスキャンとによって求めた。
〔実施例3〕
金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジットAl+ZrO層が2種類交互に積層した多層構造被膜を、高純度のAl+Zr複合ターゲットを用いアルゴンと酸素の混合雰囲気中で2重マグネトロンスパッタリングPVD法により基材表面に堆積させた。形成した2種類のナノコンポジット層中の2種類の酸化物の含有量は、Al+Zr複合ターゲット中の両成分の相対量によって制御した。基材取り付けテーブル全体の回転と、個々の基材を取り付けたピン毎のホルダーの回転と、個々のピンの回転とによる3重の回転を基材に行なった。
XRD解析の結果、各層中に準安定ZrO層が存在することが分かった。TEM観察の結果、堆積した被膜は、金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層が2種類交互に積層した多層構造であり、平均粒径6nmの粒子(成分A)を含んで構成されていた。各層の粒子はジルコニウム含有量が高く、これを取り囲む相はアルミニウム含有量が高かった。個々の層の厚さは10〜20nmの範囲内であり、多層構造全体の合計厚さは約3μmであった。
ERDA解析とTEM像のEDSラインスキャンの結果、交互に積層して多層構造を構成する2層は、第1タイプの層は体積含有量が成分A約70%と成分B約30%であり、第2タイプの層は体積含有量が成分A約50%と成分B約50%であった。
本発明の被膜付き切削工具の断面を模式的に示しており、基材(1)に非周期的に積層された多層構造(2)を備え、多層構造(2)を構成する個々の金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であるMeX(3)とMeX(4)は個々に層厚(5)を持つ。個々の層の厚さの並び方は多層構造全体に亘って非周期的である。

Claims (7)

  1. 超硬合金、サーメット、セラミクス、立方晶窒化硼素、高速度鋼のうちのいずれかの基材の表面の少なくとも機能部分に薄くて密着性があり硬質の耐摩耗被膜を施した切削工具において、上記被膜は、PVDまたはPECVDによる複数の金属酸化物層をMeX+MeX+MeX+MeX・・・・という形で交互に積層した多層構造を有し、金属元素MeおよびMeはTi、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YおよびSiのうちの1種以上であり、MeXおよびMeXのうちの少なくとも1種は、組成および組織が異なる2成分である成分Aおよび成分Bから成る金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、これら成分は各々が1種類の金属元素の単一の酸化物相または2種類以上の金属酸化物の固溶体であり、MeX層およびMeX層は組成および組織の一方または両方が異なり、個々の層の厚さは0.4nmより大で50nmより小、これらが交互に積層した多層構造の上記被膜の合計厚さは0.2〜20μmであり、
    上記成分Aは正方晶または立方晶のジルコニアを含み、上記成分Bは非晶質または結晶質のアルミナであり、該アルミナはα相およびγ相の一方または両方であり、
    上記成分Aおよび上記成分Bの体積含有量がそれぞれ40〜95%および5〜60%であることを特徴とする切削工具。
  2. 請求項1において、上記MeX層およびMeX層の個々の厚さが1nmより大で30nmより小であることを特徴とする切削工具。
  3. 請求項1または2において、上記被膜が、単層または多層の第1内層として、Ti、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YまたはSiのうちから選択した1種以上の金属の炭化物、窒化物または炭窒化物から成り、厚さ0.2〜20μmの層を付加的に含むことを特徴とする切削工具。
  4. 請求項1から3までのいずれか1項において、上記多層構造の上に、単層または多層の外側被膜として、Ti、Nb、V、Mo、Zr、Cr、Al、Hf、Ta、YまたはSiのうちから選択した1種以上の金属の炭化物、窒化物または炭窒化物から成り、厚さ0.2〜5μmの層を付加的に含むことを特徴とする切削工具。
  5. 請求項1から4までのいずれか1項において、上記成分Aは、平均粒径が1〜100nmであることを特徴とする切削工具。
  6. 請求項1から5までのいずれか1項において、上記成分Bは、平均直線切片が0.5〜200nmであることを特徴とする切削工具。
  7. 請求項1からまでのいずれか1項において、MeXは金属酸化物+金属酸化物のナノコンポジット層であり、MeXはα相およびγ相の一方または両方の結晶質アルミナ層であることを特徴とする切削工具。
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