JP5145126B2 - 接着装置及び接着方法 - Google Patents
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Description
2 真空チャンバ(脱気室)
6 真空ポンプ(真空排気手段)
8 通気板
8a 中央孔
8b、8c 周辺孔
AS 接着シート
C1、C2 仮想円周
T 搬送トレイ
W 基板(被処理体)
Claims (5)
- 搬送トレイの所定位置に貼付した接着シート表面に被処理体を載置して仮着したものを収容する脱気室と、脱気室を真空引きする真空排気手段とを備え、
前記脱気室は、前記被処理体に対向させて形成された通気孔を有し、真空排気手段により脱気室を真空引きしたとき、この通気孔から吸引した気流で被処理体に押圧力を加えるようにしたことを特徴とする接着装置。 - 搬送トレイの所定位置に貼付した接着シート表面に被処理体を載置して仮着したものを収容する脱気室と、脱気室を真空引きする真空排気手段とを備え、前記脱気室は、前記被処理体に対向させて形成された通気孔を有し、前記通気孔は、前記被処理体の中央領域に対向する中央孔と、中央孔と同心の少なくとも1個の仮想円周上に所定の間隔を存して形成された複数個の周辺孔とから構成されていることを特徴とする接着装置。
- 前記通気孔のうち中央孔の開口面積を最大としたことを特徴とする請求項2記載の接着装置。
- 前記周辺孔を被処理体の外周縁部に対向する仮想円周上に形成したことを特徴とする請求項2または請求項3記載の接着装置。
- 搬送トレイの所定位置に接着シートを貼付し、
この貼付した接着シート表面に被処理体を載置して仮着し、
この被処理体を仮着したものを脱気室に搬送し、前記脱気室内でこの脱気室に形成した通気孔に対向するように位置決めし、
真空排気手段を作動させて脱気室を真空引きし、通気孔から吸引した気流で被処理体に押圧力を加えて接着シート表面に被処理体を接着することを特徴とする接着方法。
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JP2008152732A JP5145126B2 (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 接着装置及び接着方法 |
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