JP5132957B2 - 半導体デバイス、その製造方法および光ピックアップモジュール - Google Patents
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Description
−半導体デバイス−
実施形態1に係る半導体デバイスは、半導体素子として集積化受光素子を用いた光検出器である。なお半導体素子としては、フォトダイオード、フォトトランジスタ、フォトICなどの受光素子や、LED、半導体レーザなどの発光素子を用いてもよい。
本実施形態に係る半導体デバイス1の製造方法について以下に説明する。
図30は本実施形態に係る光ピックアップモジュールが、光ディスク47の下に置かれた状態での模式的な斜視図であり、図31はその状態を横から見た図である。なお、図31の右端の半導体デバイス1は、その左側にある台座48に設置された半導体デバイス1(光検出器)を上下方向の軸の周りに90°回転させて受光面の側を参考として示したものであり、光ピックアップモジュールに2つの半導体デバイス1が搭載されているわけではない。
実施形態2に係る半導体デバイスは、実施形態1に係る半導体デバイス1からダム80を取り去った点のみが実施形態1と異なり、他の点は同じであるので、実施形態1と異なる点だけを以下に説明する。
実施形態3に係る半導体デバイスは、実施形態1に係る半導体デバイス1にさらに第2のリブが加わったものであり、それ以外の点は実施形態1と同じであるので、実施形態1と異なっている点を以下説明する。
実施形態4に係る半導体デバイスは、実施形態3に係る半導体デバイス3からダム80を取り去った点のみが実施形態3と異なり、他の点は同じであるので、実施形態3と異なる点だけを以下に説明する。
実施形態5に係る半導体デバイスは、実施形態3に係る半導体デバイス3とは第2のリブ71,71と蓋体90との関係が異なり、他の点は同じであるので、実施形態3と異なる点だけを以下に説明する。
実施形態6に係る半導体デバイスは、実施形態5に係る半導体デバイス5からダム80を取り去った点のみが実施形態5と異なり、他の点は同じであるので、実施形態5と異なる点だけを以下に説明する。
実施形態7に係る半導体デバイスは、実施形態1に係る半導体デバイス1とはパッケージが異なっている。以下に実施形態1に係る半導体デバイス1と異なっている点を中心に、図26,27を参照して本実施形態に係る半導体デバイス1’を説明する。
実施形態8に係る半導体デバイスは、実施形態7に係る半導体デバイス1’にさらに第2のリブが加わったものであり、それ以外の点は実施形態7と同じであるので、実施形態7と異なっている点を以下説明する。
実施形態9に係る半導体デバイスは、実施形態8に係る半導体デバイス3’とは第2のリブ71’,71’と蓋体90との関係が異なり、他の点は同じであるので、実施形態8と異なる点だけを以下に説明する。
−半導体デバイス−
参考形態1に係る半導体デバイスは、実施形態1に係る半導体デバイスに比較して、透明な平板状の蓋体の代わりに板状の透明部材を半導体素子の上に載せていてこの透明部材の側面と金属細線とが埋め込まれるようにパッケージの溝の中に封止樹脂を入れている点が異なっている。以下、実施形態1との相違点を中心に参考形態1の説明を行う。なお実施形態1と同じ点は説明を省略することがある。
本参考形態に係る半導体デバイス7の製造方法について以下に説明する。なお、実施形態1の製造方法と同じところは説明を省略あるいは簡単に行う。
参考形態2に係る半導体デバイスは、参考形態1に係る半導体デバイス7からダム80を取り去った点のみが参考形態1と異なり、他の点は同じであるので、参考形態1と異なる点だけを以下に説明する。
参考形態3に係る半導体デバイスは、参考形態1に係る半導体デバイス7にさらに第2のリブが加わったものであり、それ以外の点は参考形態1と同じである。またパッケージは実施形態3と同じである。以下、参考形態1、実施形態3との相違点を中心に参考形態3の説明を行う。参考形態1、実施形態3と同じ点は説明を省略することがある。
参考形態4に係る半導体デバイスは、参考形態3に係る半導体デバイス8からダム80を取り去った点のみが参考形態3と異なり、他の点は同じであるので、参考形態3と異なる点だけを以下に説明する。
これまで述べてきた実施形態は本発明の例示であり、本発明はこれらの例に限定されない。
1’,3’,5’ 半導体デバイス
10 半導体素子
22 金属細線
30 板状側壁部
41 第1レーザ装置
42 第2レーザ装置
43 ビームスプリッタ
45 ミラー
46 対物レンズ
47 光ディスク
49 レーザモジュール
50,51,52,53 パッケージ
60,60’ 基板部
62,62’ 搭載面
64,64’ 非搭載面
70,70’ 第1のリブ
70a,70a’ 第1のリブ外側側壁
70b,70b’ 第1のリブ上面
71,71’ 第2のリブ
75,75’ 接続電極
76,76’ 内部配線
77 外部接続部
80,80’ ダム
80a ダム外側側壁
85 接着剤
90,91 蓋体
90a 蓋体側壁
94,94a,95 透明部材
96 封止樹脂
100,101,102 パッケージ集合基板
Claims (10)
- 半導体素子と、該半導体素子を搭載するパッケージとを備えた半導体デバイスであって、
前記パッケージは、実質的に矩形であって前記半導体素子を搭載する搭載面を備えた基板部と、該搭載面の一対の対向する外縁に沿って延びかつ該一対の外縁上にのみそれぞれ設けられた第1のリブとを有し、
それぞれの前記第1のリブの上面には、該第1のリブ上面の外縁に沿って延びるダムが設けられているとともに、該ダムよりも前記半導体素子に近い位置に該半導体素子の上方を覆う蓋体の外縁部が該ダムから離間して載せられており、
前記第1のリブと前記蓋体とは接着剤によって接着されているとともに前記ダムと該蓋体との間に該接着剤が存している、半導体デバイス。 - 前記接着剤は、前記ダムに相対する前記蓋体の側面にも付着している、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記第1のリブが設けられた前記搭載面外縁に沿った該第1のリブの側壁と、該第1のリブ上面の外縁に沿った前記ダムの外側側壁とは、面一である、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 半導体素子と、該半導体素子を搭載するパッケージとを備えた半導体デバイスの製造方法であって、
平行な複数の溝を有し、該溝の側壁上面の中央部分には該溝に沿ってダムが延びているパッケージ集合基板を用意する工程と、
複数の前記溝のそれぞれに複数の半導体素子を溝の延びる方向に沿って搭載する工程と、
前記溝の側壁上面であって前記ダムと溝との間の部分に接着剤を該溝に沿って連続して塗布する工程と、
前記接着剤の上に前記半導体素子の上方を覆う蓋体の外縁部を載せる工程Xと、
前記接着剤を硬化させる工程と、
隣り合う2つの前記溝の中央部分を該溝に沿って切断してパッケージ集合基板を分割する工程Yと
を含む、半導体デバイスの製造方法。 - 前記工程Yでは、前記ダムの一部も切断する、請求項4に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記工程Xでは、前記接着剤が前記蓋体の側面に付着しフィレットを形成する、請求項4または5に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 請求項1から3のいずれか一つに記載の半導体デバイスと、レーザモジュールとビームスプリッタとを備え、
前記蓋体は透明な材料からなり、
前記半導体デバイスに搭載された半導体素子は受光素子である、光ピックアップモジュール。 - さらにミラーと対物レンズとを備えている、請求項7に記載の光ピックアップモジュール。
- 光ディスクの情報記録面の下側に置かれ、前記リブの延びる方向が該情報記録面に対して実質的に垂直である、請求項7または8に記載の光ピックアップモジュール。
- 前記レーザモジュールは、出射光のピーク波長が385nm以上425nm以下である青紫レーザ装置と、出射光のピーク波長が630nm以上670nm以下および760nm以上800nm以下である2波長レーザ装置とを備えている、請求項7から9のいずれか一つに記載の光ピックアップモジュール。
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