JP5102653B2 - プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
請求項3のプラズマエッチング方法は、請求項1又は2記載のプラズマエッチング方法であって、前記プラズマエッチング工程の後に、前記上層の側壁部に形成された保護膜を除去するエッチング後保護膜除去工程を行うことを特徴とする。
請求項5のプラズマエッチング方法は、請求項4記載のプラズマエッチング方法であって、前記上層のパターンの間に露出した前記単結晶シリコン層の表面に形成された前記保護膜の厚さが0.1μm以上となった場合に前記エッチング前保護膜除去工程を行うことを特徴とする。
Claims (10)
- 被処理基板の単結晶シリコン層を、当該単結晶シリコン層の上部に形成され所定のパターンにパターニングされた上層を介して処理ガスのプラズマによりエッチングするプラズマエッチング方法であって、
前記単結晶シリコン層のエッチングを行うプラズマエッチング工程を開始する前に、カーボンを含んだガスのプラズマを用いて前記上層の側壁部に保護膜を形成する保護膜形成工程を行い、
前記保護膜形成工程は、処理チャンバー内に配設された載置台に前記被処理基板を載置し、当該載置台に第1の周波数のプラズマ生成用の第1の高周波電力と、前記第1の周波数より低い第2の周波数のバイアス用の第2の高周波電力とを印加して行い、かつ、前記第2の高周波電力を調整することによって、前記単結晶シリコン層の表面に形成される保護膜をスパッタしつつこれを前記上層の側壁部に付着させることにより、前記上層の側壁部に形成される保護膜の厚さを、前記単結晶シリコン層の表面に形成される保護膜の厚さより厚くする
ことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1記載のプラズマエッチング方法であって、
前記上層の側壁部に形成される保護膜の厚さを0.5μm以上とすることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1又は2記載のプラズマエッチング方法であって、
前記プラズマエッチング工程の後に、前記上層の側壁部に形成された保護膜を除去するエッチング後保護膜除去工程を行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1〜3いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、
前記保護膜形成工程と、前記プラズマエッチング工程との間に、前記上層のパターンの間に露出した前記単結晶シリコン層の表面に形成された前記保護膜の少なくとも一部を除去するエッチング前保護膜除去工程を行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項4記載のプラズマエッチング方法であって、
前記上層のパターンの間に露出した前記単結晶シリコン層の表面に形成された前記保護膜の厚さが0.1μm以上となった場合に前記エッチング前保護膜除去工程を行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1〜5いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、
前記単結晶シリコン層のエッチングは、SF6とO2の混合ガスを処理ガスとして使用することを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項6記載のプラズマエッチング方法であって、
前記単結晶シリコン層のエッチングは、前記処理ガスの総流量に対して、O2の流量が5%以上となる流量比で行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項6又は7記載のプラズマエッチング方法であって、
前記単結晶シリコン層のエッチングは、圧力が13.3Pa以上となる雰囲気中で行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 被処理基板を収容する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記処理ガス供給手段から供給された前記処理ガスをプラズマ化して前記被処理基板を処理するプラズマ生成手段と、
前記処理チャンバー内で請求項1から請求項8いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるように制御する制御部と
を備えたことを特徴とするプラズマエッチング装置。 - コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、実行時に請求項1から請求項8いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるようにプラズマエッチング装置を制御することを特徴とするコンピュータ記憶媒体。
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