JP5097414B2 - レーザーアニール装置及びその方法 - Google Patents
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Description
このような波長板4としては、入射光線に対して1波長未満の位相差を生じさせる機能を有する波長板が好ましい。例えば、1/2波長板、1/3波長板、2/3波長板、1/4波長板、3/4波長板、1/5波長板、2/5波長板、3/5波長板、4/5波長板、1/8波長板、3/8波長板、5/8波長板などが挙げられる。
なお、本実施の形態では、ビームを導波路で分割し、均一化する構成を示したが、導波路の代りにシリンドリカルレンズアレイでビームを分割し、均一化するように構成することも可能である。
上記では、波長板として4分の1波長板を配置した場合について説明したが、4分の1波長板でなくとも、波長板であれば、所定の角度をなすように配置すれば、上記と同様の結果を得ることができる。例えば、波長板として、3分の1波長板を配置した場合には、所定の角度を、40<φ<90°、100<φ<140°、220<φ<270°、又は280<φ<320°、好ましくは50≦φ≦80°、110≦φ≦130°、230≦φ≦260°、又は290≦φ≦310°となるように配置すればよい。4分の3波長板を配置した場合には、−10<φ<60°、110<φ<170、170<φ<240°、又は290<φ<350°、好ましくは、0≦φ≦50°、120≦φ≦160°、180≦φ≦230°、又は300≦φ≦340°となるように配置すればよい。これらの4分の1波長板ではない波長板を用いた場合にも、波長板は光路中であればどこに配置してもよいが、収差がなるべく生じない様に、レーザービームが平行光である位置に配置することが好ましい。
3 減衰器 4 波長板
5 拡大レンズ 6 コリメートレンズ
7 光軸補正ミラー 8 拡大レンズ
9 yコリメートレンズ 10 xコリメートレンズ
11 y集光レンズ 12 導波路
13 第1のy転写レンズ 14 第2のy転写レンズ
15 光学的遅延板 16 第3のy転写レンズ
17 x集光レンズ 18 入射窓
19 a−Si膜
Claims (15)
- 少なくとも2つの波長変換結晶を備え、該波長変換結晶を結晶方位軸が互いに異なるように直列に配置して波長変換を行い、2方向以上の直線偏光成分を含むレーザービームを生成するレーザー発振器と、レーザービームの光路内に設けられ、レーザービームを所望のライン状ビームに成形するビーム成形手段と、成形されたレーザービームの被照射位置にてレーザーアニールの対象物を支持する載置台を備えた処理室とを有するレーザーアニール装置において、
前記レーザービームの光路内に、波長板を、この波長板の遅延軸に対する垂線と、レーザービームの偏光方向のうちの長軸方向とが所定の角度をなすように配置したことを特徴とするレーザーアニール装置。 - 前記波長板が4分の1波長板であり、前記所定の角度φが、前記長軸方向を基準として反時計回りで−10<φ<30°、100<φ<150°、170<φ<210°、又は280<φ<330°であることを特徴とする請求項1記載のレーザーアニール装置。
- 前記波長板が3分の1波長板であり、前記所定の角度φが、前記長軸方向を基準として反時計回りで40<φ<90°、100<φ<140°、220<φ<270°、又は280<φ<320°となるように配置したことを特徴とする請求項1記載のレーザーアニール装置。
- 前記波長板が4分の3波長板であり、前記所定の角度φが、前記長軸方向を基準として反時計回りで−10<φ<60°、110<φ<170、170<φ<240°、又は290<φ<350°となるように配置したことを特徴とする請求項1記載のレーザーアニール装置。
- 前記レーザー発振器が、レーザービーム源を更に備え、前記波長変換結晶は、レーザービーム源から発せられたレーザービームの高調波を生成することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のレーザアニール装置。
- 前記レーザービーム源が、波長1064nmの基本波レーザービームを発するNd:YAG、波長1048nmの基本波レーザービームを発するNd:YLF、又は波長1030nmの基本波レーザービームを発するYb:YAGであることを特徴とする請求項5に記載のレーザーアニール装置。
- 前記波長板を、前記レーザービームの光路内の該レーザービームが平行光である位置に配置することを特徴とする請求項1に記載のレーザーアニール装置。
- 前記レーザービームの光路内に複屈折結晶を配置することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のレーザーアニール装置。
- 前記複屈折結晶が、前記レーザービームの光路内の該レーザービームが平行光である位置に配置することを特徴とする請求項8に記載のレーザーアニール装置。
- 少なくとも2つの波長変換結晶を結晶方位軸が互いに異なるように直列に配置して波長変換を行い、レーザー発振器で生成した2方向以上の直線偏光成分を含むレーザービームをビーム成形手段によって所望のライン状ビームに成形し、成形されたレーザービームをレーザーアニールの対象物に照射して対象物をアニールするレーザーアニール方法において、
前記レーザービームの光路内に、波長板を、偏光方向のうちの長軸方向と前記波長板の遅延軸に対する垂線とのなす角度が所定の角度となるように配置し、レーザービームの偏光成分のうち、レーザービーム走査方向に対して斜めの照射痕の原因となる偏光成分を除去して、この偏光成分が除去されたレーザービームを対象物に照射することを特徴とするレーザーアニール方法。 - 前記波長板として、前記所定の角度が前記長軸方向を基準として反時計回りで−10<φ<30°、100<φ<150°、170<φ<210°、又は280<φ<330°となるように4分の1波長板を配置し、レーザービームの偏光成分のうち、レーザービーム走査方向に対して斜めの照射痕の原因となる偏光成分を除去することを特徴とする請求項10記載のレーザーアニール方法。
- 前記波長板として、前記所定の角度φが前記長軸方向を基準として反時計回りで40<φ<90°、100<φ<140°、220<φ<270°、又は280<φ<320°となるように3分の1波長板を配置し、レーザービームの偏光成分のうち、レーザービーム走査方向に対して斜めの照射痕の原因となる偏光成分を除去することを特徴とする請求項10記載のレーザーアニール方法。
- 前記波長板として、前記所定の角度φが前記長軸方向を基準として反時計回りで−10<φ<60°、110<φ<170、170<φ<240°、又は290<φ<350°となるように4分の3波長板を配置し、レーザービームの偏光成分のうち、レーザービーム走査方向に対して斜めの照射痕の原因となる偏光成分を除去することを特徴とする請求項10記載のレーザーアニール方法。
- 前記光路内に複屈折結晶を配置して、レーザービームを分割し、レーザービーム走査方向に対して平行な照射痕の原因となる高調波成分を除去することを特徴とする請求項10〜13のいずれかに記載のレーザーアニール方法。
- 前記レーザーアニールの対象物が、アモルファスシリコン膜であることを特徴とする請求項10〜14のいずれかに記載のレーザーアニール方法。
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