JP5096076B2 - 温度調節機能付き鏡、露点計、及び湿度センサ - Google Patents
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Description
そして、請求項1〜請求項4の何れかに記載の温度調節機能付き鏡においては、請求項5に記載のように、基板は、測温素子及び熱電素子が形成されている面とは反対側の面において凹部が形成されたダイヤフラム領域と、このダイヤフラム領域以外の領域である周縁領域とを有し、測温素子は、ダイヤフラム領域内に配置され、熱電素子は、ダイヤフラム領域と周縁領域に跨って配置されるようにしてもよい。
図1は、本発明が適用された温度調節機能付き鏡2を備える露点計1の概略構成を示す側面図である。以下の説明では、図1に示す露点計1のうち左側を先端側として、右側を後端側として説明する。
温度調節機能付き鏡2は、図2に示すように、測温素子21と、熱電素子22と、熱電素子22に通電するための電極23,24と、測温素子21と熱電素子22と電極23,24を支持する基板20とを備える。なお以下、電極23を温調電極23、電極24を非温調電極24とも称す。
またケーブル群3のうち、熱電素子用ケーブル31は、配線25を介して温調電極23と電気的に接続される。また熱電素子用ケーブル32は、配線を介することなく直接、非温調電極24と電気的に接続される。更に測温素子用ケーブル33,34は、それぞれ配線26,27を介して測温素子21と電気的に接続される。
露点計1は、図3に示すように、発光素子11と受光素子12と測温素子21と熱電素子22を制御する制御回路50を備える。
図4に示すように、露点計1は、測定周期SSを1サイクルとして露点の測定を繰り返し行う。具体的には、図4(a)に示すように、制御回路50が、電流値I1を初期値として測定周期SS経過後に電流値I2となるように徐々に電流値を増加させて、熱電素子22に対して電流を出力する。なお、図4(a)では電流値が徐々に大きくなっており、1サイクル中において測定開始時刻t0から時間が経過するほど測温素子21から熱電素子22への単位時間当たり熱移動量(即ち、測温素子21の冷却速度)が大きくなることを示している。
例えば上記実施形態では、1つの熱電素子22を用いて測温素子21の温度を調節するものを示したが、複数の熱電素子を用いるようにしてもよい。
Claims (11)
- 鏡面の温度を調節する機能を有する温度調節機能付き鏡であって、
基板の面上に薄膜形成された熱電素子と、
前記基板の面上または前記熱電素子上に薄膜形成された測温素子とを備え、
前記熱電素子は、前記測温素子を加熱または冷却し、
前記測温素子の表面が前記鏡面として利用される
ことを特徴とする温度調節機能付き鏡。 - 複数の前記熱電素子を有し、
複数の前記熱電素子の少なくとも一部は、
直列に連なるように配置されるとともに、前記測温素子と隣接する
ことを特徴とする請求項1に記載の温度調節機能付き鏡。 - 複数の前記熱電素子を有し、
複数の前記熱電素子の少なくとも一部は、
前記測温素子に対してそれぞれ隣接して配置される
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の温度調節機能付き鏡。 - 前記測温素子は、前記基板の面上に薄膜形成される
ことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載の温度調節機能付き鏡。 - 前記基板は、前記測温素子及び前記熱電素子が形成されている前記面とは反対側の面において凹部が形成されたダイヤフラム領域と、このダイヤフラム領域以外の領域である周縁領域とを有し、
前記測温素子は、前記ダイヤフラム領域内に配置され、
前記熱電素子は、前記ダイヤフラム領域と前記周縁領域に跨って配置される
ことを特徴とする請求項1〜請求項4の何れかに記載の温度調節機能付き鏡。 - 前記基板は、不透明材料により構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載の温度調節機能付き鏡。
- 発光素子と、受光素子と、請求項6に記載の温度調節機能付き鏡とを備え、
前記発光素子及び前記受光素子は、前記発光素子が発する光を、請求項6に記載の温度調節機能付き鏡に反射させて、この反射光を前記受光素子が受光するように配置され、
前記発光素子から発光させた状態で、前記熱電素子により前記測温素子を冷却して、前記受光素子により受光された光の強度が低下した時に、前記測温素子により測定された温度を露点として演算する露点演算手段を備える
ことを特徴とする露点計。 - 発光素子と、受光素子と、請求項6に記載の温度調節機能付き鏡とを備え、
前記発光素子及び前記受光素子は、前記発光素子が発する光を、請求項6に記載の温度調節機能付き鏡に反射させて、この反射光を前記受光素子が受光するように配置され、
前記発光素子から発光させた状態で、前記熱電素子により前記測温素子を冷却して、前記受光素子により受光された光の強度が低下した時に、前記測温素子により測定された温度を露点として演算する露点演算手段と、
この露点における飽和水蒸気量と、被測定気体の温度における飽和水蒸気量とに基づいて、被測定気体の湿度を演算する湿度演算手段とを備える
ことを特徴とする湿度センサ。 - 前記基板は、透明材料により構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載の温度調節機能付き鏡。
- 発光素子と、受光素子と、請求項9に記載の温度調節機能付き鏡とを備え、
前記発光素子及び前記受光素子は、
前記発光素子が発する光を、請求項9に記載の温度調節機能付き鏡に透過させて、この透過光を前記受光素子が受光するように配置され、
前記発光素子から発光させた状態で、前記熱電素子により前記測温素子を冷却して、前記受光素子により受光された光の強度が低下した時に、前記測温素子により測定された温度を露点として演算する露点演算手段を備える
ことを特徴とする露点計。 - 発光素子と、受光素子と、請求項9に記載の温度調節機能付き鏡とを備え、
前記発光素子及び前記受光素子は、
前記発光素子が発する光を、請求項9に記載の温度調節機能付き鏡に透過させて、この透過光を前記受光素子が受光するように配置され、
前記発光素子から発光させた状態で、前記熱電素子により前記測温素子を冷却して、前記受光素子により受光された光の強度が低下した時に、前記測温素子により測定された温度を露点として演算する露点演算手段と、
この露点における飽和水蒸気量と、被測定気体の温度における飽和水蒸気量とに基づいて、被測定気体の湿度を演算する湿度演算手段とを備える
ことを特徴とする湿度センサ。
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