JP4504290B2 - 水分検出装置 - Google Patents
水分検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4504290B2 JP4504290B2 JP2005279827A JP2005279827A JP4504290B2 JP 4504290 B2 JP4504290 B2 JP 4504290B2 JP 2005279827 A JP2005279827 A JP 2005279827A JP 2005279827 A JP2005279827 A JP 2005279827A JP 4504290 B2 JP4504290 B2 JP 4504290B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- mirror surface
- mirror
- thermoelectric cooling
- cooling element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Description
図9に正反射光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計の要部を示す。この鏡面冷却式露点計101は、被測定気体が流入されるチャンバ1と、このチャンバ1の内部に設けられた熱電冷却素子(ペルチェ素子)2を備えている。熱電冷却素子2の冷却面2−1には銅製ブロック3を介してボルト4が取り付けられており、熱電冷却素子2の加熱面2−2には放熱フィン5が取り付けられている。銅製ブロック3に取り付けられたボルト4の上面4−1は鏡面とされている。銅製ブロック3の側部には穴が明けられ、この穴に巻線式測温抵抗体(温度検出素子)6がシリコングリスを介して埋め込まれている(図11参照)。また、チャンバ1の上部には、ボルト4の上面(鏡面)4−1に対して斜めに光を照射する発光素子7と、この発光素子7から鏡面4−1に対して照射された光の正反射光を受光する受光素子8とが設けられている。
図10に散乱光検出方式を採用した従来の鏡面冷却式露点計の要部を示す。この鏡面冷却式露点計102は、正反射光検出方式を採用した鏡面冷却式露点計101とほゞ同構成であるが、受光素子8の取り付け位置が異なっている。この鏡面冷却式露点計102において、受光素子8は、発光素子7から鏡面4−1に対して照射された光の正反射光を受光する位置ではなく、散乱光を受光する位置に設けられている。
この発明によれば、発光手段から熱電冷却素子の鏡面(低温側の面)に対して光が照射され、この照射された光の鏡面からの散乱光が受光手段で受光され、この受光手段が受光する散乱光に基づいて、熱電冷却素子の鏡面上に生じる被測定気体に含まれる水分(例えば、結露や結霜)が検出される。また、熱電冷却素子の鏡面に形成された温度検出素子によって、その鏡面の温度が直接測定される。
この発明によれば、発光手段から熱電冷却素子の鏡面(低温側の面)に対して光が照射され、この照射された光の鏡面からの正反射光が受光手段で受光され、この受光手段が受光する正反射光に基づいて、熱電冷却素子の鏡面上に生じる被測定気体に含まれる水分(例えば、結露や結霜)が検出される。また、熱電冷却素子の鏡面に形成された温度検出素子によって、その鏡面の温度が直接測定される。
〔実施の形態1:鏡面冷却式露点計(散乱光検出方式)〕
図1はこの発明に係る水分検出装置の一実施の形態を示す鏡面冷却式露点計の概略構成図である。この鏡面冷却式露点計201はセンサ部201Aとコントロール部201Bとを有している。
図6はこの発明に係る水分検出装置の他の実施の形態を示す鏡面冷却式露点計の概略構成図である。この鏡面冷却式露点計202では、発光側の光ファイバ17−1と受光側の光ファイバ17−2とを同方向ではなく、鏡面2−1を挾んでその左右に対称に設けている。発光側の光ファイバ17−1と受光側の光ファイバ17−2のJ字型に湾曲された先端部は、熱電冷却素子2の鏡面2−1に向けられ、この鏡面2−1に対して左右対称に所定の傾斜角で傾けられている。
Claims (2)
- 電流の供給を受けて、一方の面が低温側、他方の面が高温側とされ、前記低温側の面が鏡面とされた熱電冷却素子と、
前記熱電冷却素子の鏡面に形成された温度検出素子と、
前記熱電冷却素子の鏡面に対して光を照射する発光手段と、
前記発光手段から前記鏡面に対して照射された光の散乱光を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光する散乱光に基づいて前記熱電冷却素子の鏡面上に生じる被測定気体に含まれる水分を検出する手段とを備えた水分検出装置であって、
前記熱電冷却素子は、上面が前記低温側の面とされる冷却基板と、この冷却基板に接合される半導体素子とを備え、
前記冷却基板は前記上面が鏡面加工されたシリコンで形成され、
前記冷却基板の上面には薄膜温度センサが前記温度検出素子として形成されるとともに、
前記冷却基板の下面には前記半導体素子と接合するための電気的パターンが形成されている
ことを特徴とする水分検出装置。 - 電流の供給を受けて、一方の面が低温側、他方の面が高温側とされ、前記低温側の面が鏡面とされた熱電冷却素子と、
前記熱電冷却素子の鏡面に形成された温度検出素子と、
前記熱電冷却素子の鏡面に対して光を照射する発光手段と、
前記発光手段から前記鏡面に対して照射された光の正反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光する正反射光に基づいて前記熱電冷却素子の鏡面上に生じる被測定気体に含まれる水分を検出する手段とを備えた水分検出装置であって、
前記熱電冷却素子は、上面が前記低温側の面とされる冷却基板と、この冷却基板に接合される半導体素子とを備え、
前記冷却基板は前記上面が鏡面加工されたシリコンで形成され、
前記冷却基板の上面には薄膜温度センサが前記温度検出素子として形成されるとともに、
前記冷却基板の下面には前記半導体素子と接合するための電気的パターンが形成されている
ことを特徴とする水分検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005279827A JP4504290B2 (ja) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | 水分検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005279827A JP4504290B2 (ja) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | 水分検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007093269A JP2007093269A (ja) | 2007-04-12 |
JP4504290B2 true JP4504290B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=37979180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005279827A Expired - Fee Related JP4504290B2 (ja) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | 水分検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4504290B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5096076B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2012-12-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 温度調節機能付き鏡、露点計、及び湿度センサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6175235A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-17 | Rikagaku Kenkyusho | 露点検出器 |
JPH01118345U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-10 | ||
JPH07209224A (ja) * | 1994-01-26 | 1995-08-11 | Orion Mach Co Ltd | 流体除湿装置の作動監視装置 |
JPH09307030A (ja) * | 1996-05-17 | 1997-11-28 | Ricoh Seiki Co Ltd | 結露防止機能付冷却装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6484760A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-30 | Seiko Epson Corp | Cooling of information apparatus |
-
2005
- 2005-09-27 JP JP2005279827A patent/JP4504290B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6175235A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-17 | Rikagaku Kenkyusho | 露点検出器 |
JPH01118345U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-10 | ||
JPH07209224A (ja) * | 1994-01-26 | 1995-08-11 | Orion Mach Co Ltd | 流体除湿装置の作動監視装置 |
JPH09307030A (ja) * | 1996-05-17 | 1997-11-28 | Ricoh Seiki Co Ltd | 結露防止機能付冷却装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007093269A (ja) | 2007-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070171955A1 (en) | Cooled mirror dew-point hygrometer | |
US7736051B2 (en) | Thermoelectric device and mirror surface state detection device | |
JP5198844B2 (ja) | 曇り検出装置および鏡面冷却式露点計 | |
EP2894465B1 (en) | Dew-point instrument | |
WO2005098404A1 (ja) | 検出面上状態検出装置 | |
US20070211781A1 (en) | Moisture Detection Device | |
US7168850B2 (en) | Mirror surface state detection device and moisture detection device | |
JP4504290B2 (ja) | 水分検出装置 | |
JP4504318B2 (ja) | 鏡面冷却式露点計 | |
JP4005581B2 (ja) | 鏡面冷却式露点計 | |
JP4012166B2 (ja) | 鏡面冷却式露点計 | |
JP4005580B2 (ja) | 鏡面冷却式露点計 | |
JP4025308B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP4571537B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP2007127572A (ja) | 鏡面上状態検出装置および水分検出装置 | |
JP4224032B2 (ja) | 水分検出装置 | |
JP4231009B2 (ja) | 水分検出装置 | |
KR100875152B1 (ko) | 냉각 거울 이슬점 습도계 | |
JP4139377B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP4685513B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP3999758B2 (ja) | 冷却装置および鏡面冷却式センサ | |
JP4197508B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP4054002B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP4139376B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ | |
JP4541956B2 (ja) | 鏡面冷却式センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4504290 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |