JP5093144B2 - 像ぶれ補正装置およびそれを用いる撮像装置ならびに像ぶれ補正装置の検査方法 - Google Patents

像ぶれ補正装置およびそれを用いる撮像装置ならびに像ぶれ補正装置の検査方法 Download PDF

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Description

本発明は、光学的にカメラの像ぶれを補正する装置およびその検査方法ならびにそれを用いる撮像装置に関する。
前記カメラの像ぶれ補正装置は、スローシャッターを可能にして、夜間撮影で3脚を不要にできる等のメリットがあり、搭載が進んでいる。その中でも、光学的な補正は、電子的な補正に比べて、解像度等の点で有利であり、像ぶれ補正装置の主流となっている。その光学的な像ぶれ補正の1つの手法としては、レンズ内に設けた補正レンズや、カメラ本体内に設けた撮像素子などの光学部品を光軸と直交方向に変位することで行われる。
具体的には、特許文献1はレンズ側での像ぶれ補正装置であるが、補正レンズはホルダーに支持されて光学系に介在され、前記ホルダーの一端に変位用のアクチュエータであるコイルが設けられ、他端に球体が設けられ、前記コイルに通電することで、固定位置に設けられた永久磁石との間で駆動力が発生し、前記光軸と直交方向に変位するようになっている。
特開2008−233385号公報
上述のような構成では、組立て工程で球体を組み忘れた場合でも、それによって失われるクリアランスは小さく(ユニット自体がそもそも小さい)、判別が困難であるという問題がある。また、判別できるとしても、難しい検査で可能となるものであり、具体的には、光学性能を見るまで気付かないという問題がある。すなわち、テスト撮影によって、球体側で、フォーカスずれやボケが生じていることでしか判定できない。このため、後工程に不良ユニットが流れてしまい、無駄が生じることがある。さらに、本体側像ぶれ補正の場合、撮像素子のセンサユニットに像ぶれ補正機構を設けることになるが、そのセンサユニットを搭載した像ぶれ補正機構と、レンズ鏡筒との間にあおり(光軸)調整機構が設けられていると、球体の抜けによる前記フォーカスずれやボケを、あおり調整で補正して出荷してしまう可能性もある。
本発明の目的は、光学部品をホルダーに搭載し、そのホルダーを変位用のアクチュエータと球体とによって基台上を滑動変位させて前記光学部品を光軸との交差方向に変位させることで光学的に像ぶれを補正するにあたって、前記球体の組込み忘れを判定することができる像ぶれ補正装置およびそれを用いる撮像装置ならびに像ぶれ補正装置の検査方法を提供することである。
本発明の像ぶれ補正装置は、光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置において、前記光学部品はホルダーに支持され、そのホルダーは前記変位用のアクチュエータと、1または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持され、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方が形成され、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方が形成され、前記突起の高さは、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成され、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸が設定されていることを特徴とする。
また、本発明の像ぶれ補正装置の検査方法は、光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置を検査するための方法において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが前記変位用のアクチュエータと、1または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成し、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成し、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く設定しておき、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておき、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に嵌り込み、以降の移動を制限することで、前記球体の組込み忘れを検知することを特徴とする。
上記の構成によれば、光学系に介在されるセンサやレンズ等の光学部品を、手ぶれ振動を打ち消すように光軸と交差方向に変位することで、前記手ぶれによる像ぶれを光学的に補正する装置において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが超音波などによる変位用のアクチュエータと、少なくとも1箇所に設けられる球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、その球体の組込み忘れを判定できるような構造を設ける。具体的には、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成しておき、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成しておく。そして、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成し、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの本来の可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておくことで、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲よりも狭い範囲に規制されることになる。
したがって、球体の組込み忘れがある場合、像ぶれ補正ユニットの検査工程で、所期の像ぶれ補正の性能(ユニットの動き)は得られず、球体の組込み忘れを検知することができ、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。
さらにまた、本発明の像ぶれ補正装置では、前記基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定の第1の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第1の基台との間で前記ホルダーを挟持し、前記第1の基台上を前記ホルダーと共に第1の方向に滑動変位するとともに、前記ホルダーを前記第1の方向と交差する第2の方向に滑動変位自在に支持する第2の基台とを備えて構成され、前記変位用のアクチュエータは、前記ホルダーの前記第1の方向または第2の方向の端部付近にそれぞれ配置されるリニアアクチュエータであり、前記ホルダーにおいてそれらのリニアアクチュエータが交差する側と反対側の辺の両面に、前記球体が一対で配置されることを特徴とする。
上記の構成によれば、第1の方向、たとえばx方向と、第2の方向、たとえばy方向との両方向の像ぶれ補正を行う場合に、前記ホルダーを滑動変位自在に支持する基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定部材から成る第1の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第1の基台との間で前記ホルダーを挟持するスライダーから成る第2の基台とによって構成され、前記変位用のアクチュエータが、前記ホルダーの前記第1の方向または第2の方向の端部付近にそれぞれ配置され、好ましくは超音波リニアアクチュエータから成るリニアアクチュエータから成る場合に、前記球体を、前記ホルダーにおいて、そのリニアアクチュエータの反対側の辺付近に1個とし、その1個をホルダーの各面で同じ位置に設ける。
したがって、2枚の基台で、ホルダーをバランス良く挟持することができる。
また、本発明の撮像装置は、前記の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成ることを特徴とする。
上記の構成によれば、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
本発明の像ぶれ補正装置およびその検査方法は、以上のように、光学系に介在されるセンサやレンズ等の光学部品を、手ぶれ振動を打ち消すように光軸と交差方向に変位することで光学的に像ぶれを補正する装置において、前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが超音波などによる変位用のアクチュエータと、少なくとも1箇所に設けられる球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成しておき、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成しておき、前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成し、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの本来の可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておく。
それゆえ、前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲よりも狭い範囲に規制されることになり、像ぶれ補正ユニットの検査工程で、所期の像ぶれ補正の性能(ユニットの動き)が得られないことから、球体の組込み忘れを検知することができる。これによって、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。
また、本発明の撮像装置は、以上のように、前記の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成る。
それゆえ、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
本発明の実施の一形態に係る像ぶれ補正ユニットの斜視図であり、背面左下から見上げた図である。 図1の像ぶれ補正ユニットを背面左上から見下ろした図である。 図1の像ぶれ補正ユニットを背面右上から見下ろした図である。 図1の像ぶれ補正ユニットを背面右上から見下ろした図である。 図1の像ぶれ補正ユニットを前面右からやや見下ろした図である。 図1の像ぶれ補正ユニットを前面左からやや見下ろした図である。 本発明に係る像ぶれ補正装置の検査方法を説明するための図である。 前記像ぶれ補正ユニットに撮像レンズ鏡筒を備えて構成される撮像装置を前面側から見た斜視図である。 前記像ぶれ補正ユニットに撮像レンズ鏡筒を備えて構成される撮像装置を背面側から見た斜視図である。
図1〜図6は、本発明の実施の一形態に係る像ぶれ補正ユニット100の斜視図であり、図1は背面左下から見上げており、図2は背面左上から見下ろしており、図3は背面右上から見下ろしており、図4は背面右上から見下ろしており、図5は前面右からやや見下ろしており、図6は前面左からやや見下ろしている。この像ぶれ補正ユニット100は、図8および図9で示すように、撮像レンズ鏡筒200と一体的に固定されてカメラに用いられ、撮像素子11を含むセンサユニット1を光軸zと直交するx方向およびy方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正するものである。この像ぶれ補正ユニット100は、レンズ交換不能な単眼のカメラに用いられ、センサユニット1を光軸zと直交するx方向およびy方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正するものである。
カメラ本体前面側には、板金加工品から成り、第1の基台である固定部材2が設けられ、該像ぶれ補正ユニット100が組み上がった後に、この固定部材2に対して、前記撮像レンズ鏡筒200が3本のビス31〜33およびそれに巻付けられたばね34〜36によってガタ付きなく支持され、ビス31〜33を六角レンチで調整することで、前記センサユニット1の光軸zと撮像レンズ鏡筒200との光軸とが一致するようにあおり調整が行われる。調整後は、前記ビス31〜33の緩みを防止するために該ビス31〜33が固定部材2に接着固定される。この固定部材2に形成された開口21を通して、前記撮像レンズ鏡筒200から光が入射し、撮像素子11に結像する。
前記センサユニット1は、大略的に、該センサユニット1の前面側に配置される前記固定部材2と、ダイキャスト成形品から成り、該センサユニット1の背面側に配置され、第2の基台であるスライダー4とによって挟持され、前記固定部材2上を前記スライダー4と共にx方向に滑動変位可能であるとともに、単体ではさらにスライダー4に対してy方向に滑動変位自在に支持される。
前記撮像素子11は、CCDやCMOSなどから成り、背面側はFPCに貼付けられる。なお、図1〜図6では、図面の簡略化のために、多数の配線が形成され、さらに適宜チップ部品が実装された前記FPCは、省略している。このようにFPCにマウントされた撮像素子11は、さらに樹脂成型品などから成る前記ホルダー12に形成された凹所121に背面側から嵌め込まれ、板金加工品から成るシールド板5がビス51〜53によってホルダー12に螺着されることで、ホルダー12に保持固定され、前記センサユニット1となる。
前記シールド板5の上端部に形成された支持部54は、前記撮像素子11からのFPCの引出し部分を保持固定し、固定部材2の上端部に形成された支持部24は、そのFPCの引回しを受け、方向を変換して、該像ぶれ補正ユニット100から延出させるためのものである。
そして、先ず第1の方向である前記x方向の摺動変位を実現するために、固定部材2側には、超音波リニアアクチュエータ22が設けられる。この超音波リニアアクチュエータ22は、前記x方向に伸縮する圧電素子221と、その圧電素子221から前記x方向に引出されるロッド222と、錘229とを備えて構成される。前記錘229は、ブラケット223によって前記固定部材2に保持固定され、その錘229に前記圧電素子221の一端が接着され、該圧電素子221の他端にはロッド222が接着される。前記ロッド222は、一対のブラケット224によって、前記固定部材2に、前記x方向に伸縮変位自在に支持されている。このロッド222に対応して、前面側には、前記x方向の直交断面がV字状に形成される帯状の受け部材225が設けられ、背面側には、スライダー4の上端に、前記x方向に延びるV溝411を形成して成る摺動部41が設けられる。前記帯状の受け部材225の一方の側部に設けられる係合片225aが前記摺動部41に隣接して設けられた支持片42の凹所421に差込まれ、受け部材225の他方の側部に設けられる一対の係合片225bとスライダー4の上端に設けられたフック43との間に、ばね61が巻き掛けられることで、スライダー4と固定部材2との間にセンサユニット1が挟み込まれ、前記x方向の摺動変位が可能となる。
このように構成される超音波リニアアクチュエータ22において、前記圧電素子221が、錘229を基台として、ロッド222を、たとえば緩やかに伸長方向に押し出し、瞬時に縮退させると、支持片42は押し出し位置に取り残され、このような動作を繰返すことで、スライダー4およびそれに連係するセンサユニット1は、伸長方向に変位されてゆく。反対に、前記圧電素子221が、ロッド222を、瞬時に伸長方向に押し出し、緩やかに縮退させると、支持片42は縮退位置に引き戻され、このような動作を繰返すことで、スライダー4およびそれに連係するセンサユニット1は、縮退方向に変位されてゆく。
次に、第2の方向であるy方向の摺動変位を実現するために、ホルダー12の背面右側には、超音波リニアアクチュエータ13が設けられる。この超音波リニアアクチュエータ13も、前述の超音波リニアアクチュエータ22と同様に、前記y方向に伸縮する圧電素子131と、その圧電素子131から前記y方向に引出されるロッド132と、錘139とを備えて構成される。前記錘139は、ブラケット123によって前記ホルタ12に保持固定され、その錘139に前記圧電素子131の一端が接着され、該圧電素子131の他端にはロッド132が接着される。前記ロッド132は、一対のブラケット124によって、前記ホルダー12に、前記y方向に伸縮変位自在に支持されている。このロッド132に対応して、前面側には、前記受け部材225と同様に前記y方向の直交断面がV字状に形成される帯状の受け部材135が設けられ、背面側には、スライダー4の背面右側に、前記y方向に延びるV溝441を形成して成る摺動部44が設けられる。前記帯状の受け部材135の一方の側部に設けられる係合片が前記摺動部44に隣接して設けられた支持片45の凹所451に差込まれ、受け部材135の他方の側部に設けられる一対の係合片135bとスライダー4の背面右側に設けられたフック46との間に、ばね62が巻き掛けられることで、センサユニット1がスライダー4に支持され、前記y方向の摺動変位が可能となる。このように構成される超音波リニアアクチュエータ13の動作は、前述の超音波リニアアクチュエータ22と同様である。
こうして前記ホルダー12のx方向の一辺およびy方向の一辺が支持され、それらの辺から離れた側に、球体71,72が前後に一対で設けられることで、該ホルダー12は、固定部材2上およびスライダー4上を滑動変位自在となる。このため、ホルダー12の固定部材2に対向した前面側には、前記球体71を収容する凹所125が、ホルダー12のスライダー4に対向した背面側には、前記球体72を収容する凹所126が、それぞれ形成される。凹所125は、ホルダー12の固定部材2上でのx,y方向での変位を許容するために矩形に形成され、凹所126は、ホルダー12のスライダー4上でのy方向での変位を許容するために長孔に形成され、これによってホルダー12は、前記x,y方向それぞれに、たとえば±0.5mm変位可能となっている。
なお、球体71,72は、ホルダー12の各面で、複数設けられていてもよい。また、必ずしも前後面で一対に設けられなくてもよい。しかしながら、前後面で一対に設けることで、固定部材2およびスライダー4で、ホルダー12をバランス良く挟持することができる。
また、前記超音波リニアアクチュエータ22,13およびばね61,62によって、固定部材12とスライダー4とのx方向の一辺およびy方向の一辺間が連結されるのに対して、反対側は、固定部材12に形成されたフック28とスライダー4に形成されたフック49との間に、ばね63張架がされることで連結されている。さらに固定部材2の上端には前記支持部24が設けられており、下端には一対のフック291,292が設けられている。これらのフック291,292は、衝撃が加わった場合に、前記スライダー4およびセンサユニット1が光軸z方向(背面方向)に脱落しないように設けられている。
一方、前記ホルダー12の変位を検出するために、該ホルダー12の前記球体71,72が設けられる側とは反対側の側部には、ホルダー129が形成されており、このホルダー129には永久磁石6が搭載され、これに対応して固定部材2側には、前記ホルダー129の可動範囲をカバーするホール素子7が設けられている。
上述のように構成される像ぶれ補正ユニットにおいて、注目すべきは、本実施の形態では、前記ホルダー12には、前記球体71,72の収納凹所125,126の近傍に、突起127,128が形成され、前記固定部材2およびスライダー4の対応位置には、凹所27,48がそれぞれ形成されることである。なお、ホルダー12側に凹所が、固定部材2およびスライダー4側に突起が設けられてもよい。図7は、前記球体71,72付近の断面(x,z断面)図である。前記x,z断面では、前述の矩形の凹所125と長孔の凹所126との関係で、凹所125が幅広に見えているが、y,z断面で見た場合、それらの幅は略等しい。これらの凹所125,126は、球体71,72の移動範囲外に形成される。
また注目すべきは、前記突起127,128の高さは、前記球体71,72が介在されることで固定部材2およびスライダー4上をそれぞれ浮上したホルダー12とそれらの固定部材2およびスライダー4との間隔Wよりも低く形成され、かつ図7(b)で示すように前記凹所27,48内に嵌り込んだ突起127,128の可動範囲±x2が、前記ホルダー4の可動範囲±x1よりも小さくなるように、前記凹所27,48の内寸および突起127,128の外寸が設定されていることである。前記可動範囲±x1は、図7(a)のホーム(ニュートラル)ポジションから、前記超音波リニアアクチュエータ22の駆動によって左方および右方へそれぞれ変位可能な距離であり、たとえば前述のように±0.5mmの範囲である。前記超音波リニアアクチュエータ13によるy方向の可動範囲も同様に、±0.5mmである。一方、前記凹所27,48内での突起127,128の可動範囲±x2は、たとえば±0.2mmに設定される。
したがって、図7(b)で示すように球体72の組込み忘れがあった場合、ホルダー12の移動によって突起128が凹所48内に一旦嵌り込むと、以降の移動は通常の可動範囲±x1よりも狭い範囲±x2に規制されることになる。これによって、像ぶれ補正ユニット100の検査工程の段階で、所期の像ぶれ補正の性能(センサユニット1の動き)は得られず、球体71,72の組込み忘れを検知することができ、後続工程への不良品の流出を未然に防止することができる。すなわち、前記像ぶれ補正ユニット100の検査は、前記超音波リニアアクチュエータ13,22を最大の可動範囲で駆動し、その際に前記ホール素子7の検出結果から、所期の移動量が得られているか否かを判断することで行うことができる。したがって、撮像素子11などからの配線を総て結線しないと行えない最終段階の検査工程に比べて、遙かに上流側で行うことができる。
図8および図9は、上述のように構成される像ぶれ補正ユニット100に撮像レンズ鏡筒200を備えて構成される撮像装置の斜視図であり、図8は上面側から見た図であり、図9は背面側から見た図である。この撮像装置は、撮像レンズ鏡筒200に、図示しない本体筐体内に収納される前記像ぶれ補正ユニット100を備えて構成され、前記撮像素子11からはFPC8が、超音波リニアアクチュエータ13,22からはFPC80が引出され、FPC201はズーム用のモータやフォーカス用のモータから引出される。
大略的に、前記撮像レンズ鏡筒200では、ズーム用のモータ202からの動力はギアボックス203を介して固定筒204内に収納されたカム筒205に伝達され、該カム筒205の回転によって第1の直進移動筒206が進退し、前玉207が前記光軸z方向に変位するとともに、図示しない内部の直進移動筒も前記カム筒205に駆動され、該直進移動筒に保持されるズームレンズも前記光軸z方向に変位する。なお、フォーカス用には別途直進移動筒およびそれに保持されるフォーカスレンズが設けられており、内蔵の小型のモータで駆動される。
したがって、このような撮像装置の組立て工程に、前記球体71,72の組込み忘れがある像ぶれ補正ユニット100が流れて来ないことで、不良品の発生の少ない撮像装置を実現することができる。
上述の説明では、本実施の形態の像ぶれ補正ユニット100は、レンズ交換不可のカメラに用いられたけれども、一眼レフカメラで用いられてもよい。また、レンズ側の像ぶれ補正ユニットに用いられてもよい。さらにまた、アクチュエータには、超音波リニアアクチュエータ13,22以外に、ボイスコイルモータ、ステッピングモータ等も使用可能である。
1 センサユニット
11 センサ本体
12 ホルダー
125,126 凹所
127,128 突起
129 ホルダー
13,22 超音波リニアアクチュエータ
131,221 圧電素子
132,222 ロッド
135,225 受け部材
2 固定部材
27,48 凹所
31〜33 ビス
34〜36 ばね
4 スライダー
41,44 摺動部
42,45 支持片
43,46,49 フック
5 シールド板
6 永久磁石
61,62,63 ばね
7 ホール素子
71,72 球体
100 像ぶれ補正ユニット
200 撮像レンズ鏡筒

Claims (5)

  1. 光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置において、
    前記光学部品はホルダーに支持され、そのホルダーは前記変位用のアクチュエータと、1または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持され、
    前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方が形成され、前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方が形成され、
    前記突起の高さは、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く形成され、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸が設定されていることを特徴とする像ぶれ補正装置。
  2. 前記基台は、前記ホルダーの一方の面側に配置される固定の第1の基台と、前記ホルダーの他方の面側に配置されて前記第1の基台との間で前記ホルダーを挟持し、前記第1の基台上を前記ホルダーと共に第1の方向に滑動変位するとともに、前記ホルダーを前記第1の方向と交差する第2の方向に滑動変位自在に支持する第2の基台とを備えて構成され、
    前記変位用のアクチュエータは、前記ホルダーの前記第1の方向または第2の方向の端部付近にそれぞれ配置されるリニアアクチュエータであり、前記ホルダーにおいてそれらのリニアアクチュエータが交差する側と反対側の辺の両面に、前記球体が一対で配置されることを特徴とする請求項1記載の像ぶれ補正装置。
  3. 前記リニアアクチュエータは、超音波のリニアアクチュエータであることを特徴とする請求項2記載の像ぶれ補正装置。
  4. 前記請求項1〜3のいずれか1項に記載の像ぶれ補正装置に、レンズユニットを備えて成ることを特徴とする撮像装置。
  5. 光学系に介在される光学部品を、光軸と交差方向に変位することで、光学的に像ぶれを補正する装置を検査するための方法において、
    前記光学部品がホルダーに支持され、そのホルダーが前記変位用のアクチュエータと、1または複数の球体とによって基台上を滑動変位自在に支持される場合、
    前記ホルダーには、前記球体の収納位置の近傍で、突起または凹所の一方を形成し、
    前記基台には、前記球体の移動範囲外の位置で、前記突起または凹所の他方を形成し、
    前記突起の高さを、前記球体が介在されることで基台上を浮上したホルダーとその基台との間隔よりも低く設定しておき、かつ前記凹所内に嵌り込んだ突起の可動範囲が前記ホルダーの可動範囲よりも小さくなるように、前記凹所の内寸および突起の外寸を設定しておき、
    前記球体の組込み忘れがあった場合、ホルダーの移動によって突起が凹所内に嵌り込み、以降の移動を制限することで、前記球体の組込み忘れを検知することを特徴とする像ぶれ補正装置の検査方法。
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