JP5085901B2 - カーボンナノチューブの作製装置 - Google Patents
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Description
上記実施例の条件で、冷却水を流さないでカーボンナノチューブを作製した。炉内壁の温度は700℃程度となり、カーボンナノチューブの作製後、反応管が黒ずみ、すすの付着が認められた。カーボンナノチューブの成長状態は上記実施例と変わらなかったが、すすが付着した状態の反応管で再度成長を行わせると、カーボンナノチューブの成長が若干悪くなり、反応管はさらに黒ずんだ。
マッフル炉を用いてカーボンナノチューブを作製した。作製条件は、上記実施例と同一とした。その結果、カーボンナノチューブは成長したが、カーボンナノチューブ上にすすが堆積していた。このカーボンナノチューブの断面SEM写真を図4に示す。
10 反応室
11 反応炉
13 反応管
14 ステージ
15 赤外線ランプ
16a,16b 冷却水循環系
R 反射層
S 基板
Claims (1)
- 基板の表面にカーボンナノチューブを熱CVD法によって気相成長させるカーボンナノチューブの作製装置であって、
円筒形状の空間を内部に形成する反応炉と、
前記空間内に配置された石英製の反応管と、
前記反応炉に接続され、前記反応管へカーボンナノチューブの原料ガスを導入するガス導入系と、
前記反応管の内部に配置され前記基板を載置可能なステージと、
前記反応炉と前記反応管との間の環状空間に、前記反応管の外周に沿って配置され、前記ステージ及び前記ステージ上の前記基板をカーボンナノチューブの成膜温度に加熱する複数本の赤外線ランプと、
前記反応炉に形成された冷却水循環通路を有し、前記反応管を前記原料ガスの熱分解温度よりも低い温度に維持する冷却機構と
を備えたことを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。
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