JP2008050175A - カーボンナノチューブの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応管13に炭素含有の原料ガスを導入し、反応管13内に設置した基板Sの表面にカーボンナノチューブを熱CVD法によって気相成長させるカーボンナノチューブの作製方法であって、カーボンナノチューブの気相成長時、反応炉11を冷却水で冷却して反応管13を原料ガスの熱分解温度よりも低い温度に維持する。これにより、反応管13の内壁や基板S上へのすすの付着、堆積を回避でき、成膜条件及びカーボンナノチューブの成長状態の変化を防止して、均質なカーボンナノチューブを作製することができる。
【選択図】図2
Description
上記実施例の条件で、冷却水を流さないでカーボンナノチューブを作製した。炉内壁の温度は700℃程度となり、カーボンナノチューブの作製後、反応管が黒ずみ、すすの付着が認められた。カーボンナノチューブの成長状態は上記実施例と変わらなかったが、すすが付着した状態の反応管で再度成長を行わせると、カーボンナノチューブの成長が若干悪くなり、反応管はさらに黒ずんだ。
マッフル炉を用いてカーボンナノチューブを作製した。作製条件は、上記実施例と同一とした。その結果、カーボンナノチューブは成長したが、カーボンナノチューブ上にすすが堆積していた。このカーボンナノチューブの断面SEM写真を図4に示す。
10 反応室
11 反応炉
13 反応管
14 ステージ
15 赤外線ランプ
16a,16b 冷却水循環系
R 反射層
S 基板
Claims (6)
- 反応管に炭素含有の原料ガスを導入し、前記反応管内に設置した基板の表面にカーボンナノチューブを熱CVD法によって気相成長させるカーボンナノチューブの作製方法であって、
前記カーボンナノチューブの気相成長時、前記反応管を前記原料ガスの熱分解温度よりも低い温度に維持することを特徴とするカーボンナノチューブの作製方法。 - 前記カーボンナノチューブの気相成長時、前記反応管を冷媒循環により冷却することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記カーボンナノチューブの気相成長時、前記基板を前記反応管の外周部に設置した赤外線ランプの集光照射により加熱することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記反応管に石英製のものを用いることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記原料ガスに炭化水素のガスを用いる場合、前記反応管を750℃以下に維持することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記原料ガスにアルコールのガスを用いる場合、前記反応管を300℃以下の温度に維持することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
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