JP5084495B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスク Download PDFInfo
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以下に、本発明を適用した磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクについて実施例を説明する。この磁気ディスク用ガラス基板100および磁気ディスクは、0.8インチ型ディスク(内径6mm、外径21.6mm、板厚0.381mm)、1.0インチ型ディスク(内径7mm、外径27.4mm、板厚0.381mm)、1.8インチ型磁気ディスク(内径12mm、外径48mm、板厚0.508mm)などの所定の形状を有する磁気ディスクとして製造される。また、2.5インチ型ディスクや3.5インチ型ディスクとして製造してもよい。
本実施形態においてガラス基板100の材質としてはソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガラス等が挙げられるが、中でもアルミノシリケートガラスが好適である。アルミノシリケートガラスは、平滑かつ高剛性が得られるので、磁気的スペーシング、特に、磁気ヘッドの浮上量をより安定して低減できる。また、アルミノシリケートガラスは化学強化により、高い剛性強度を得ることができる。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から円板状のガラス基板を切り出した。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板100とした(コアリング)。そして内周端面および外周端面120をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施した(フォーミング)。
次に、得られたガラス基板100の両主表面110について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行なうことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面110に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
次に、ガラス基板100の外周の端面研磨を行なう。まず端面120については、面取面130に先立ち、単独で研磨を行なう。研磨の方法は、例えば複数枚のガラス基板100を同時にブラシにて研磨する方法でもよいが、取代が多くなってしまう。そこで、例えば枚葉式の研磨方法を用いてよい。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面110に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面110の研磨を行った。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
次に、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板100に、化学強化を施した。化学強化は、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用意し、この化学強化溶液を400℃に加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板100を300℃に予熱し、化学強化溶液中に約3時間浸漬することによって行った。この浸漬の際には、ガラス基板100の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板100が端面120で保持されるように、ホルダに収納した状態で行った。
得られた磁気ディスク用ガラス基板100の主表面110について検査を行った。図2に示すように、検査工程は、磁気ディスク用ガラス基板100に光を照射し磁気ディスク用ガラス基板100から反射した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方を測定する基板状態測定工程S200と、測定した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方に基づいて磁気ディスク用ガラス基板100に含まれる欠陥の面内位置を特定する欠陥面内位置特定工程S202と、面内位置を特定した欠陥が磁気ディスク用ガラス基板100の表面にあるか否かを判断する表面欠陥判断工程S204と、表面欠陥判断工程S204の結果に基づいて磁気ディスク用ガラス基板100を良品であるか否かを判定する良品判定工程S206と、を含む。
上述した工程を経て得られたガラス基板100の両面に、ガラス基板100の表面にCr合金からなる付着層、CoTaZr基合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt基合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を順次成膜することにより、垂直磁気記録ディスクを製造した。なお、本構成は垂直磁気ディスクの構成の一例であるが、面内磁気ディスクとして磁性層等を構成してもよい。
110 …主表面
120 …端面
130 …面取面
140 …凸欠陥
142 …凹欠陥
150 …内包物
300 …表面欠陥検出装置
302 …レーザ
304 …検出器
306 …ハーフミラー
Claims (5)
- 中心に内孔を有する円板状の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記基板に光を照射し該基板から反射した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方を測定する基板状態測定工程と、
前記測定した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方に基づいて前記基板に含まれる欠陥の面内位置を特定する欠陥面内位置特定工程と、
前記面内位置を特定した欠陥が前記基板の表面にあるか否かを、結像手段が前記面内位置で結像する像の数に基づいて判断する表面欠陥判断工程と、
前記表面欠陥判断工程の結果に基づいて前記基板を良品であるか否かを判定する良品判定工程と、
を含むことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 中心に内孔を有する円板状の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記基板に光を照射し該基板から反射した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方を測定する基板状態測定工程と、
前記測定した光の強度もしくは変位のいずれか一方または両方に基づいて前記基板に含まれる欠陥の面内位置を特定する欠陥面内位置特定工程と、
前記面内位置を特定した欠陥が前記基板の表面にあるか否かを、測距手段が前記面内位置で測定する欠陥までの距離に基づいて判断する表面欠陥判断工程と、
前記表面欠陥判断工程の結果に基づいて前記基板を良品であるか否かを判定する良品判定工程と、
を含むことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記結像手段は、光学顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記測距手段は、焦点型超音波センサであることを特徴とする請求項2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記基板状態測定工程において前記基板から反射した光は、散乱光もしくは回折光のいずれか一方または両方であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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