JP5083973B2 - 光半導体素子の製造方法 - Google Patents
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- 窒化物系化合物からなるn型半導体層及び該n型半導体層の上に形成された窒化物系化合物からなるp型半導体層を有する半導体層と、該p型半導体層の上に形成され透光性を有するp側電極とを備える光半導体素子の製造方法において、
成長基板の上に該n型半導体層を成長させ、該n型半導体層の上に該p型半導体層を成長させることにより、該半導体層を形成する工程と、
該p型半導体層の上に、Snからなる下地層を形成する工程と、
該下地層の上に、酸化インジウムスズからなるp側電極層を形成することにより、該半導体層と該下地層と該p側電極層とからなる積層構造体を形成する工程と、
該積層構造体を、還元雰囲気下でアニールする工程と、
該p側電極層をウエットエッチングすることにより、所定のパターン形状を備えるp側電極を形成する工程と、
該積層構造体を、酸化雰囲気下でアニールする工程とを備えることを特徴とする光半導体素子の製造方法。 - 前記酸化雰囲気下でアニールされた前記積層構造体を、さらに還元雰囲気下でアニールする工程とを備えることを特徴とする請求項1記載の光半導体素子の製造方法。
- 前記酸化雰囲気が酸素ガスを含む雰囲気であることを特徴とする請求項1又は2記載の光半導体素子の製造方法。
- 前記還元雰囲気が窒素ガスからなる雰囲気であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光半導体素子の製造方法。
- 前記還元雰囲気が水素ガスからなる雰囲気であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光半導体素子の製造方法。
- 前記還元雰囲気が窒素ガス及び水素ガスを混合してなる混合気体からなる雰囲気であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光半導体素子の製造方法。
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