JP5082060B2 - 低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造 - Google Patents
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Description
幅広の独立配線またはべた状の配線で電力を供給しようとするときは、大電流を流すことは比較的容易となるが、高周波特性が悪く、1GHz以上の瞬時スイッチ動作に対して電力供給遅延が起こるだけでなく、その回復過程で電源、グランドの揺らぎが発生し、隣接回路にまで影響を及ぼす。さらにはこの揺らぎが電源配線、グランド配線の共振を誘発し、電磁放射の原因となることがよく知られた問題となっている。その間題点の尺度として電源・グランドのループ回路に起因するインダクタ成分の大きさ(以下、ループインダクタンスと記す。)として表現し、1GHz以上ではその値として100pH以下が望ましいとされている。デカップリングキャパシタを回路基板各所にちりばめてこのループインダクタンスを如何に小さくすることができるか腐心しているのが現状である(例えば、特許文献1)。
前記絶縁薄膜層は、前記金属配線層が設けられた側の前記積層シートの表面形状に沿うように設けられ、かつ前記抵抗体層は、前記絶縁薄膜層の表面形状に沿うように設けられていることが好ましい。
前記抵抗体層の厚さは、20〜1000nmであることが好ましい。
前記絶縁薄膜層の厚さは、20〜10000nmであることが好ましい。
(i)配線の厚さtと配線の短辺方向の幅wとの比(t/w)が、0.5以下である。
(ii)隣接する配線の間隔sと配線の短辺方向の幅wとの比(s/w)が、0.1〜1である。
本発明の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造は、前記抵抗体層の表面に設けられた保護層をさらに有することが好ましい。
しかし、交流的な等価回路においては、回路のループ面積に相当する寄生インダクタンスLloopが作用し、ACと書かれたところのVdrop式となり、瞬時スイッチトランジスタに電力(Lの効果は電流変化率に比例する)を供給できないことになる。
Z0=(1/π)(√μrμ0/εrε0)(ln(π(d−w)/(w+t)+1)・・・(1)。
本発明は、後述するDroude式を利用した抵抗体層(メタマテリアル材料)を配置し、これでフォトン−表面プラズモン交換を行わせることで、実用的寸法でありながらZ0を数Ω以下にする電源・グランドペア線路構造を提供し、100GHz帯域までの高速電源に対応する低特性インピーダンス電源供給手段を実現する。
必要に応じて、抵抗体層32の表面に保護層33(図示せず)を設けてもよい。
この低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造は、プリント配線板等にエンベッドすることが可能である。
積層シート1は、例えば、プリント配線板である。
絶縁シート10としては、例えば、ガラス繊維強化エポキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PPC(ポリエステルポリカーボネート)、ポリビニリデン、ポリイミド、ポリスチレン等の有機絶縁物が挙げられる。
絶縁シート10の厚さは、基材としての役目が果たせる厚さであればよい。
電源配線21およびグランド配線22は、金属配線層20の帯状の長辺方向に展開し、これらの一方の端部は電源40に接続し、他方の端部は分岐を含め、負荷に接続されている。電源配線21およびグランド配線22は、積層シート1の一方の端部1aでは露出している。平面的なレイアウトにおいて、露出している部分の長さは、5mm以下が好ましい。
電源配線21およびグランド配線22は、電源40から出力端部まで概略同じ低特性インピーダンスに設計され、両端部はデカップリングキャパシタに接続していることが好ましい。電源40から出力端部までに分岐を伴うときは、分岐前の特性インピーダンスに対する分岐後の特性インピーダンスは、分岐数をnとすると、1/nが好ましい。
(i)配線の厚さtと配線の短辺方向の幅wとの比(t/w)が、0.5以下である。
(ii)隣接する配線の間隔sと配線の短辺方向の幅wとの比(s/w)が、0.1〜1である。
(iii)配線の短辺方向の幅wと絶縁シート10の厚さt0との比(w/t0)が、5以下である。
電源配線21およびグランド配線22の厚さtは、電流容量に応じて決定される。一対で300mAとすると、w=100μmであれば、t=20μmが適当である。
絶縁薄膜層31としては、有機絶縁物が挙げられる。
絶縁薄膜層31をコンフォーマルに設ける方法としては、塗布法、スピンコート法、スパッタ法、蒸着法、CVD法等が挙げられる。
絶縁薄膜層31の厚さは、電源配線21とグランド配線22との間に印加される電圧が0.1〜10Vと自由に変化できるように、その電圧に応じた耐電圧を有するように設定される。
絶縁薄膜層31の厚さは、電源・グランド間の電磁界バランスを崩壊させるために(すなわち、後述するフォトン−表面プラズモン交換を促進するために)、できるだけ薄いことが好ましい。よって、絶縁薄膜層31の厚さは、20〜10000nmが好ましい。
抵抗体層32は、表面プラズモン効果を生むため、10〜1000Ω/□のシート抵抗を有する、金属もしくは半導体の均質膜または金属もしくは半導体のクラスタ状のグレイン(結晶粒)が重なった膜であることが好ましい。
金属もしくは半導体としては、例えば、Fe、Al、Ni、Ag、Mg、Cu、Si、Cからなる群から選ばれた少なくとも1つ、または前記群から選ばれた少なくとも2つからなる合金または共析物を含む。
抵抗体層32は、フォトリソグラフ等で帯状の線路幅に加工されてもよい。
抵抗体層32の厚さは、20〜1000nmが好ましい。
抵抗体層32が導電性を有するか絶縁性を有するかは基本的な問題ではない。よって、抵抗体層32は、ピンホール(欠陥、ボイド)を有していてもよく、クラスタが電気的に独立した島状であってもよい。
εω=1−(ωep 2/ω2)・・・(2)、
ωep 2≡(nee2)/(ε0m)・・・(3)、
μω=1−(ωmp 2/ω2)・・・(4)、
ωmp 2≡(npχ2)/(μ0m)・・・(5)。
ただし、ne:抵抗体層の自由電子の密度、np:抵抗体層の不対電子の密度、e:電子の電荷量、m:電子の質量、χ:不対電子のスピン磁率。
Feが1原子あたり一つの自由電子を保有している場合、鉄の自由電子の密度は8.4×1022個/cm3となる。そして、鉄の表面における自由電子密度はその2/3乗、すなわち1.9×1015個/cm2となる。ただし、表面吸着原子に自由電子がトラップされるため、表面の自由電子密度はこの値より低くなる。このトラップによる自由電子の減少率が10−3であると仮定した場合、鉄の表面における自由電子の密度は1.9×1012個/cm2になる。
鉄の表面における自由電子密度は、上記したように1.32×1020個/cm2である。これらのうち、不対電子の発生確率を10−6とすると、鉄の表面における不対電子の密度npは1.32×1014個/cm2になる。そして、磁束量子χ=2.07×10−10[Wb]、真空中の透磁率μ0=1.25×10−6[N/A−2]のため、式(5)により、ωmp 2=1.32×1014×(2.07×10−15)2/(1.25×10−6×9.1×10−31)=4.97×1020/s2、ωep=2.23×1010/sという高周波数となる。
(抵抗体層の厚さ)
透過型電子顕微鏡(日立製作所社製、H9000NAR)を用いて抵抗体フィルムの断面を観察し、抵抗体層の5箇所の厚さを測定し、平均した。
石英ガラス上に金を蒸着して形成した、2本の薄膜金属電極(長さ10mm、幅5mm、電極間距離10mm)を用い、該電極上に抵抗体フィルムを置き、抵抗体フィルムの10mm×20mmの領域を50gの荷重で電極に押し付け、1mA以下の測定電流で電極間の抵抗を測定し、この値を持ってシート抵抗とした。
保護層33として厚さ25μmのポリイミドフィルムの表面に、マグネトロンスパッタ法にてニッケルを物理的に蒸着させ、厚さ25nmの抵抗体層32(シート抵抗:30Ω/□)を形成し抵抗体シート30を得た。該抵抗体シート30を、接着材10μm(絶縁薄膜層31に相当)を介して積層シート1にテンティング状態に接合したものと、抵抗体シート30のない積層シート1との容量値を比較した。
w=1mm、t=43μm、s=1mm、d=2mm、絶縁シート10の厚さt0=0.590mm、線路長さl=200mm、テンティング長さ=180mmの電源配線21とグランド配線22との間の特性インピーダンスと容量値の結果が表1である。テンティング状態であること、接着材(絶縁薄膜層31)が10μmと厚いことが大きな効果を得られなかった理由であるが、Z0はこの構造でも1/2となっている。
1a 端部
10 絶縁シート
11 基材絶縁シート
12 下層基材絶縁シート
20 金属配線層
21 電源配線
22 グランド配線
30 抵抗体シート
31 絶縁薄膜層
32 抵抗体層
33 保護層
40 電源
Claims (7)
- 絶縁シートの表面に電源配線およびグランド配線を有する金属配線層が設けられた積層シートと、
前記金属配線層を覆うように設けられた絶縁薄膜層と、
該絶縁薄膜層の表面に設けられた抵抗体層と
を有する、低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。 - 前記絶縁薄膜層が、前記金属配線層が設けられた側の前記積層シートの表面形状に沿うように設けられ、
前記抵抗体層が、前記絶縁薄膜層の表面形状に沿うように設けられている、請求項1に記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。 - 前記抵抗体層が、10〜1000Ω/□のシート抵抗を有する、金属もしくは半導体の均質膜または金属もしくは半導体のクラスタ状のグレインが重なった膜である、請求項1または2に記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。
- 前記抵抗体層の厚さが、20〜1000nmである、請求項1〜3のいずれかに記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。
- 前記絶縁薄膜層の厚さが、20〜10000nmである、請求項1〜4のいずれかに記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。
- 前記電源配線および前記グランド配線のそれぞれが、下記(i)および(ii)の関係を満足する、請求項1〜5のいずれかに記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。
(i)配線の厚さtと配線の短辺方向の幅wとの比(t/w)が、0.5以下である。
(ii)隣接する配線の間隔sと配線の短辺方向の幅wとの比(s/w)が、0.1〜1である。 - 前記抵抗体層の表面に設けられた保護層をさらに有する、請求項1〜6のいずれかに記載の低特性インピーダンス電源・グランドペア線路構造。
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