JP5081705B2 - 樹脂量決定装置、および、当該樹脂量決定装置を備えた樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
この樹脂量決定装置2は、半導体チップ積層体102を有する基板(被成形品)100を積層高さ方向(図1において上下方向)から挟むように配置された一対の第1、第2レーザセンサ(積層高さ検知手段)40A、40Bを備えている。この第1、第2レーザセンサ40A、40Bは同期が取られており、所定のタイミングで図面手前−奥方向に移動可能とされている。一方基板100は、図示せぬ基板搬送機構によって把持されており、所定のタイミングで図面左右方向に移動可能とされている。
図示せぬストッカから運び出された基板100は、基板搬送機構によって金型へと順次搬送される。その搬送工程の途中において、樹脂量決定装置2が作用し、金型へ供給されるべき樹脂量が決定される。
この実施形態においては、半導体チップ積層体102が正常に積層されている場合に必要となる樹脂の量が「基準量」とされている。よって、何らかの原因で規定の枚数まで積層されていない場合には、当該基準量の樹脂を供給するのみでは樹脂が不足し、その程度によっては正常な樹脂封止を行うことが不可能となる。そこで、かかる場合には、その積層されていない半導体チップの体積に相当する樹脂(以下単に「調整量」という場合がある。)を基準量に対して加算した上で供給する必要がある。
2…樹脂量決定装置
10…記憶部
20…演算部
30…樹脂供給部
40…積層高さ検知手段
40A…第1レーザセンサ
40B…第2レーザセンサ
100…基板
102…半導体チップ積層体
102A…(半導体チップ積層体の)上面
102B…(半導体チップ積層体の)底面
Claims (7)
- 半導体チップが積層された積層体を有する被成形品を樹脂にて封止する樹脂封止装置であって、
前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体全体の体積を予め記憶する手段と、
前記積層体の積層高さを検知する積層高さ検知手段と、を備え、
前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体全体の体積をVa、前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体の積層高さをHa、前記検知手段による検知結果をHrとしたとき、
HrとHaとの比率を唯一の変数とする計算式によりVaに対する所定割合を算出し、
予め設定された基準となる樹脂量に対して前記所定割合に相当する樹脂量を調整した上で調整後の樹脂を前記被成形品に対して供給する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記所定割合が、{1−(Hr/Ha)}×Vaの式により算出される
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記所定割合が、{1−(Hr/Ha)2}×Vaの式により算出される
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記所定割合が、(1−Hr/Ha)2×Vaの式により算出される
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記積層高さ検知手段が、積層高さ方向から前記被成形品を挟むように配置される1対のセンサで構成され、
前記積層体の上面と、前記被成形品の前記積層体が積層されていない面とを前記センサで計測することにより検知する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記被成形品が、マトリクス状に配置された複数の前記積層体を有している
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 半導体チップが積層された積層体を有する被成形品を樹脂にて封止する樹脂封止装置に対して供給すべき樹脂量を決定する樹脂量決定装置であって、
前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体全体の体積を予め記憶する手段と、
前記積層体の積層高さを検知する積層高さ検知手段と、を備え、
前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体全体の体積をVa、前記積層体が正常に積層された場合の当該積層体の積層高さをHa、前記検知手段による検知結果をHrとしたとき、
HrとHaとの比率を唯一の変数とする計算式によりVaに対する所定割合を算出し、
予め設定された基準となる樹脂量に対して前記所定割合に相当する樹脂量を調整した上で調整後の樹脂を前記被成形品に対して供給する
ことを特徴とする樹脂量決定装置。
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