JP2014121826A - 樹脂成形装置及びその方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】基板上の電子部品の搭載状態が変動してもその変動に追従して基板の樹脂封止に必要とされる樹脂量の決定が可能でありながら、装置全体のサイクルタイムの短縮を可能とする。
【解決手段】電子部品を搭載した基板102を樹脂封止するための基準樹脂量V1を記憶する記憶部154と、電子部品の搭載状態を検出する電子部品検出部118と、粉粒体状樹脂103を計量する樹脂計量部142と、電子部品検出部118の検出結果に基づいて追加樹脂量DVを算出するとともに、追加樹脂量DVの算出の完了前に、樹脂計量部142に基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始させる制御部152と、を有する。
【選択図】図3

Description

本発明は、樹脂成形装置およびその方法に関する。
従来、特許文献1に示すような圧縮成形法を用いた樹脂成形装置が用いられている。その樹脂成形装置は、電子部品(半導体チップを含む)を複数搭載した基板を封止キャビティで樹脂にて樹脂封止する。樹脂の体積が直接的に封止厚さに大きく影響を及ぼす圧縮成形法では、樹脂封止をする前に、電子部品の搭載状態を検出し、樹脂封止に必要となる樹脂量(例えば重量)を算出する。そして、その算出の完了後に、樹脂の計量開始がなされ、樹脂封止に至ることとなる。
特開2004−174801号公報
しかしながら、近年、基板の大型化により1つの基板における電子部品の搭載数が増加し、且つ電子部品が多段に搭載(積層搭載)されてきている。このため、電子部品の搭載状態の検出の完了までには相応の時間を要するので樹脂量の算出が完了するまでには時間がかかり、装置全体のサイクルタイムが増加するおそれが出てきている。
そこで、本発明は、前記問題点を解決するべくなされたもので、基板上の電子部品の搭載状態が変動してもその変動に追従して基板の樹脂封止に必要とされる樹脂量の決定が可能でありながら、装置全体のサイクルタイムの短縮を可能とする樹脂成形装置及びその方法を提供することを課題とする。
本発明は、電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する記憶部と、前記電子部品の搭載状態を検出する電子部品検出部と、樹脂を計量する樹脂計量部と、前記電子部品検出部の検出結果に基づいて追加樹脂量(もしくはキャビティに投入すべき必要樹脂量)を算出する樹脂量算出部と、該樹脂量算出部による該追加樹脂量(もしくは該必要樹脂量)の算出の完了前に、前記樹脂計量部に前記基準樹脂量の樹脂を計量開始させる制御部と、を有することにより、上記課題を解決したものである。
なお、本発明は、電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する工程と、前記電子部品の搭載状態を検出する工程と、検出された該電子部品の搭載状態に基づいて追加樹脂量(もしくはキャビティに投入すべき必要樹脂量)を算出する工程と、該追加樹脂量(もしくは必要樹脂量)の算出の完了前に、前記基準樹脂量の樹脂の計量を開始する工程と、を含むことを特徴とする樹脂成形方法とも捉えることができる。
本発明によれば、基板上の電子部品の搭載状態が変動してもその変動に追従して基板の樹脂封止に必要とされる樹脂量の決定が可能でありながら、装置全体のサイクルタイムの短縮が可能となる。
本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の全体を表す模式図 図1の樹脂封止装置の主要な構成要素を示すブロック図 図1の樹脂封止装置の主要な動作手順を示すフロー図
以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の全体を表す模式図、図2は図1の樹脂封止装置の主要な構成要素を示すブロック図、図3は図1の樹脂封止装置の主要な動作手順を示すフロー図である。
最初に、本実施形態に係わる樹脂封止装置の概略構成について、図1〜図3を用いて説明する。なお、以下における「基板」とはPCB基板やリードフレームといった電子部品を支持するものの代表例として示したものである。また、「粉粒体状樹脂または予備成形樹脂」とは封止材料の代表例として示したものである。即ち、「基板」や「粉粒体状樹脂または予備成形樹脂」に限定されるものではない。粉粒体状樹脂は、粉状や粒状の樹脂を含む概念の樹脂である。なお、粉粒体状樹脂の代わりに、(予備成形樹脂まではいかない程度の大きさの)タブレット状の樹脂でもよいし、液状の樹脂を用いてもよい。
樹脂封止装置(樹脂成形装置)100は、図1に示す如く、供給収納ユニット110とプレスユニット130と予備成形ユニット140と制御ユニット150とを備える。なお、供給収納ユニット110から予備成形ユニット140に亘り、X方向に延在するX方向ガイド122がベース108上に設けられている。X方向ガイド122上では、搬送装置124及び樹脂搬送ハンド136がX方向に移動可能とされている。
そして、供給収納ユニット110には電子部品検出部118、予備成形ユニット140には樹脂計量部142、そして制御ユニット150には制御部152(樹脂量算出部を含む)及び記憶部154が備えられている。
ここで、電子部品検出部118は、電子部品(半導体チップを含む)の搭載状態を検出するようにされている。樹脂計量部142は、粉粒体状樹脂103を計量するようにされている。制御部152は、樹脂量算出部として電子部品検出部118の検出結果に基づいて追加樹脂量DV(後述)を算出するとともに、追加樹脂量DVの算出の完了前に、樹脂計量部142に基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始させるようにされている。記憶部154は、電子部品を搭載した基板102を樹脂封止するための基準樹脂量V1を記憶するようにされている。
なお、基準樹脂量V1は、基板102上に電子部品がすべて搭載されているときに基板102の樹脂封止に必要とされる樹脂量である。そして、キャビティに投入すべき必要樹脂量V2は、実際の電子部品の搭載状態に対応した基板102の樹脂封止に必要とされる樹脂量である。追加樹脂量DVは、必要樹脂量V2と基準樹脂量V1との差分量(DV=V2−V1)であり、差分樹脂量と同一量である。即ち、追加樹脂量DVと基準樹脂量V1とが合算されて必要樹脂量V2となる。実際に基板102上に搭載される電子部品は、電子部品がすべて搭載されている場合と比べて同じかそれよりも少ない。即ち、基準樹脂量V1は、必要樹脂量V2以下となる(V1≦V2)。このため、追加樹脂量(差分樹脂量)DVは基準樹脂量V1に加算される量(ゼロを含む)となる。
以下に、各構成要素について、説明をする。
供給収納ユニット110には、図1に示す如く、マガジンエレベータ112と収納マガジン114と基板検出部116と電子部品検出部118と予熱部120とが備えられている。マガジンエレベータ112は、収納マガジン114に収納された樹脂封止前の基板102の引き出し及び樹脂封止後の基板102の収納マガジン114への収納をするようにされている。基板検出部116は、収納マガジン114から引き出された基板102の有無を検出する。電子部品検出部118は、基板検出部116で基板102の存在を確認したことを受けて、基板102上の実際の電子部品の搭載状態を検出する。本実施形態における電子部品の搭載状態の検出とは、電子部品の有無検出だけとなってもよいし、電子部品の搭載される位置における電子部品の搭載高さや搭載段数でもよい。即ち、本実施形態では、最終的な樹脂封止された基板102(封止成形体)の厚さが要求精度に入るように、電子部品検出部118が電子部品の搭載状態を検出するようにされていればよい。なお、本実施形態では基板検出部116と電子部品検出部118とが平面的に異なる位置に設けられているが、同一の場所に設けられていてもよい。予熱部120は、図1に示す如く、複数の基板予熱レールから構成されている。予熱部120は、電子部品検出部118を経た基板102を所定の温度(例えば175°)に加熱する。予熱部120を経た基板102は、搬送装置124でプレスユニット130に搬送される。
なお、搬送装置124は基板102のプレスユニット130への搬入機能(ローダ機能)及びプレスユニット130からの搬出機能(アンローダ機能)とを兼用しているので、樹脂封止装置100自体をコンパクトにすることができる(搬送装置は2つとされて、ローダ機能とアンローダ機能とが分離されていてもよい)。
一方、予備成形ユニット140には、図1に示す如く、樹脂計量部142と樹脂載置部144と予備成形部146とが備えられている。樹脂計量部142は、粉粒体状樹脂103を制御部152の指示に基づいて基準樹脂量V1や必要樹脂量V2や追加樹脂量DV(差分樹脂量)の粉粒体状樹脂103を計量して所定の位置である樹脂載置部144に載置させる。本実施形態では、樹脂載置部144は予備成形部146の予備成形キャビティに粉粒体状樹脂103を一括して投入可能なトレイやカップとされているが、予備成形キャビティ自身が樹脂載置部とされていてもよい。予備成形部146は、図示せぬ上型と下型とを備えており、上型と下型との間には粉粒体状樹脂103を矩形状の予備成形樹脂104に成形するための予備成形キャビティ(キャビティ)が形成されている。樹脂載置部144に載置された粉粒体状樹脂103は、予備成形キャビティに投入されて成形される。予備成形樹脂104は、樹脂搬送ハンド136によりプレスユニット130に搬送される。即ち、予備成形キャビティでは、計量された基準樹脂量V1含む粉粒体状樹脂103で基板102を樹脂封止するのに使用される予備成形樹脂104が成形される。
プレスユニット130には、図1に示す如く、複数の金型(本実施形態においては、2つの金型132A、132Bであるが、いくつあってよい)が備えられている。金型132A、132Bはそれぞれ、上型と下型とから構成され、上述した所定の温度(約175°)に加熱されている。搬送された基板102は、予備成形樹脂104とともに上型と下型との間に形成された封止キャビティに投入され、基板102は減圧動作を経て予備成形樹脂104にて樹脂封止される。
制御ユニット150は、図1に示す如く、制御部152と記憶部154とを備える。制御部152は、図2に示すように、各構成要素の一連の動作を自動で制御することができる。また、制御部152は、樹脂量算出部として、電子部品検出部118の検出結果に基づいて追加樹脂量DVを算出することができる(追加樹脂量DVの代わりに予備成形キャビティに投入される必要樹脂量V2を算出するようにしてもよい)。そして、制御部152は、追加樹脂量DV(又は、必要樹脂量V2)の算出の完了前に、樹脂計量部142に基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始させて樹脂載置部144に載置させることができる。そして、制御部152は、樹脂計量部142に最終的に必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103を計量させる。このため、制御部152は、樹脂載置部144から必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103を予備成形キャビティへ投入させることができる。
なお、制御部152は、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、樹脂計量部142に追加樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させる(例えば樹脂計量部142が複数あれば、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了前に、樹脂計量部142に追加樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させるようにしてもよい)。或いは、制御部152は、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了前に、樹脂計量部142の計量を、基準樹脂量V1に追加樹脂量DVを加えた必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103の計量に変更するようにしてもよい。
なお、制御部152が樹脂量算出部として電子部品検出部118の検出結果に基づいて予備成形キャビティに投入すべき必要樹脂量V2を算出する場合には、制御部152は、樹脂計量部142に必要樹脂量V2の樹脂を計量させる。具体的には、制御部152は、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、樹脂計量部142に必要樹脂量V2と基準樹脂量V1との差分樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させる(例えば樹脂計量部142が複数あれば、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了前に、樹脂計量部142に必要樹脂量V2と基準樹脂量V1との差分樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させるようにしてもよい)。或いは、制御部152は、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了前に、樹脂計量部142の計量を、必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103の計量に変更するようにしてもよい。
記憶部154は、制御部152が各構成要素を制御するための初期値、更新値、及びLUT(ルックアップテーブル)などを記憶している。例えば、図2に示すように、記憶部154は、封止成形のための総体積(樹脂封止体積)、1つの基板102当たりに搭載される電子部品の個数、電子部品1個当たりの体積、粉粒体状樹脂103の比重、などが記憶されている。また、記憶部154は、電子部品を搭載した基板102を樹脂封止するために、基板102上に電子部品がすべて搭載されているときに基板102の樹脂封止に必要とされる粉粒体状樹脂103の量を基準樹脂量V1として記憶している。なお、基準樹脂量V1は制御部152で算出されて、その基準樹脂量V1が記憶部154で記憶されてもよい。
次に、樹脂封止装置100の主要な動作について、図3を用いて説明する。
まず、記憶部154には、電子部品を搭載した基板102を樹脂封止成形するための基準樹脂量V1を記憶しておく。
次に、収納マガジン114に収納された基板102をマガジンエレベータ112で搬送し、基板検出部116に基板102を引き出す。そして、基板検出部116で、基板102の有無を検出する。
基板102が検出されると(ステップS2の基板102検出)、その信号が制御部152に送られる。すると、制御部152は、記憶部154に記憶された基準樹脂量V1で粉粒体状樹脂103を計量開始するように樹脂計量部142に指示を出す。これに従い、樹脂計量部142は基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量を開始する(ステップS4の基準樹脂量V1の樹脂計量開始)。即ち、制御部152は、基板102が基板検出部116で検出されると基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始させる。
一方で、基板検出部116で存在確認を受けた基板102は、電子部品検出部118で基板102上の電子部品の搭載状態が検出される(ステップS6の電子部品検出)。そして、制御部152は、樹脂量算出部として、電子部品検出部118の検出結果に基づいて、即ち検出された電子部品の状態に基づいて追加樹脂量DV(予備成形キャビティに投入すべき必要樹脂量V2でもよい)を算出する(ステップS8の追加樹脂量DV(必要樹脂量V2)の算出)。
次に、制御部152は、追加樹脂量DVの算出の完了後であって、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、追加樹脂量DVを樹脂計量部142に指示して、樹脂計量部142に追加樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させる。即ち、追加樹脂量DVの粉粒体状樹脂103が、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の載置された樹脂載置部144に追加して載置される(必要樹脂量V2を算出する場合、制御部152は、必要樹脂量V2の算出の完了した段階であって、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、樹脂計量部142に必要樹脂量V2と基準樹脂量V1との差分樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させてもよい)。即ち、追加樹脂量DV(必要樹脂量V2でもよい)の算出の完了前に、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量を開始して、最終的に必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103を計量する。結果的には、樹脂載置部144に必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103が載置される(ステップS10の必要樹脂量V2の樹脂計量)。
次に、必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103を、樹脂載置部144から予備成形部146の予備成形キャビティへ投入する。そして、必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103を予備成形キャビティにて予備成形樹脂104に成形する(ステップS12の予備成形)。そして、予備成形樹脂104を樹脂搬送ハンド136でプレスユニット130に搬送する(ステップS14の樹脂搬送)。
一方で、電子部品の搭載状態が検出された基板102は、予熱部120で所定の温度(約175°)に加熱される。加熱された基板102は、搬送装置124でプレスユニット130に搬送される。
次に、搬送装置124で搬送された基板102と樹脂搬送ハンド136で搬送された予備成形樹脂104とは一緒に、金型132A、132Bの封止キャビティに配置される。そして、基板102は封止キャビティで予備成形樹脂104にて樹脂封止される(ステップS16の樹脂封止)。
そして、樹脂封止された基板102は再び搬送装置124によって搬送され、マガジンエレベータ112を介して供給収納ユニット110の収納マガジン114に収納される。
従来では、基板の樹脂封止に必要とされる樹脂量の算出の完了後にその樹脂量の樹脂を計量開始していたのに対して、本実施形態では追加樹脂量DV(もしくは必要樹脂量V2)の算出の完了前に、必要樹脂量V2の一部となる基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始するようにしている。
即ち、必要樹脂量V2の算出に時間がかかり必要樹脂量V2の算出の完了までに基準樹脂量V1の計量が完了してしまう場合には、特に従来に比べて必要な樹脂量(必要樹脂量V2)の計量時間を大幅に短縮することが可能となる。一方、必要樹脂量V2の算出の完了までに基準樹脂量V1の計量が完了していない場合であっても、従来に比べて先に必要樹脂量V2の計量を開始している分だけ、従来に比べて必要な樹脂量(必要樹脂量V2)の計量時間を短縮することが可能となる。
また、本実施形態においては、基板102に対してその有無を検出する基板検出部116を備え、制御部152は、基板102が基板検出部116で検出されると基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始している。このため、樹脂封止の対象となる基板102を個別に特定してから計量が開始されることとなるので、例えば基板102がない状態で計量を開始することで粉粒体状樹脂103を無駄に廃棄するといったことを低減でき、効率的に粉粒体状樹脂103の計量を行うことができる。同時に、追加樹脂量DV(必要樹脂量V2)の算出の完了までに基準樹脂量V1の計量を完了させる可能性も大きく、従来に比べて必要な樹脂量(必要樹脂量V2)の計量時間を大幅に短縮することが可能となる(なお、必ずしも制御部152は、基板102が基板検出部116で検出されると基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103を計量開始する必要はない)。
また、本実施形態においては、制御部152が、樹脂量算出部として、電子部品検出部118の検出結果に基づいて、追加樹脂量DVを算出している。そして、制御部152は、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、樹脂計量部142に追加樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させている。このため、制御部152による樹脂計量部142への指示が単純であり、誤動作のおそれが少なく樹脂計量部142を安定して動作させることができる。なお、制御部152が樹脂量算出部として電子部品検出部118の検出結果に基づいて、予備成形キャビティに投入すべき必要樹脂量V2を算出した場合には、制御部152は基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了後に、樹脂計量部142に必要樹脂量V2と基準樹脂量V1との差分樹脂量DVの粉粒体状樹脂103を計量させることができる。この場合にも同様の効果を奏することができる。或いは、制御部152は基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量の完了前に、樹脂計量部142の計量を、基準樹脂量V1の粉粒体状樹脂103の計量から必要樹脂量V2の粉粒体状樹脂103の計量へと変更させる場合でも同様の効果を奏することができる。
即ち、本実施形態によれば、基板102上の電子部品の搭載状態が変動してもその変動に追従して基板102の樹脂封止に必要とされる樹脂量(必要樹脂量V2)の決定が可能でありながら、装置全体のサイクルタイムの短縮が可能となる。なお、このような効果は、基板102が大型でなくても、電子部品が多段に搭載されていなくても相応に奏することができる。
本発明について上記実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
例えば、上記実施形態においては、計量された基準樹脂量V1を含む粉粒体状樹脂103で基板102を樹脂封止するのに使用される予備成形樹脂104を成形するようにしているが、本発明はこれに限定されない。例えば、予備成形樹脂を成形することなく、計量された基準樹脂量V1を含む樹脂で基板が樹脂されてもよい。その際の樹脂は粉粒体状樹脂でもよいし、(予備成形樹脂まではいかない程度の大きさの)タブレット状の樹脂でもよいし、液状の樹脂でもよい。もちろん、予備成形樹脂でもよい。この場合、樹脂計量部で計量される樹脂が載置される所定の位置は、カップやトレイでもよいが、封止キャビティ自身とされていてもよい。
また上記実施形態においては、制御部152が樹脂量算出部としての機能も有していたが、本発明はこれに限定されず、別々とされていてもよい。
本発明の樹脂封止装置及びその方法は、特に、樹脂量の厳密さが要求される圧縮成形法を用いた樹脂封止装置及びその方法に好適である。
100…樹脂封止装置
102…基板
103…粉粒体状樹脂
104…予備成形樹脂
108…ベース
110…供給収納ユニット
112…マガジンエレベータ
114…収納マガジン
116…基板検出部
118…電子部品検出部
120…予熱部
122…X方向ガイド
124…搬送装置
130…プレスユニット
132A、132B…金型
136…樹脂搬送ハンド
140…予備成形ユニット
142…樹脂計量部
144…樹脂載置部
146…予備成形部
150…制御ユニット
152…制御部
154…記憶部
V1…基準樹脂量
V2…必要樹脂量
DV…追加樹脂量(差分樹脂量)

Claims (13)

  1. 電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する記憶部と、
    前記電子部品の搭載状態を検出する電子部品検出部と、
    樹脂を計量する樹脂計量部と、
    前記電子部品検出部の検出結果に基づいて追加樹脂量を算出する樹脂量算出部と、
    該樹脂量算出部による該追加樹脂量の算出の完了前に、前記樹脂計量部に前記基準樹脂量の樹脂を計量開始させる制御部と、
    を有することを特徴とする樹脂成形装置。
  2. 前記制御部は、前記樹脂計量部に前記追加樹脂量の樹脂を計量させることを特徴とする請求項1に記載の樹脂成形装置。
  3. 前記制御部は、前記基準樹脂量の樹脂の計量の完了後に、前記樹脂計量部に前記追加樹脂量の樹脂を計量させることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形装置。
  4. 前記制御部は、前記基準樹脂量の樹脂の計量の完了前に、前記樹脂計量部の計量を、前記基準樹脂量に前記追加樹脂量を加えた必要樹脂量の樹脂の計量に変更することを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂成形装置。
  5. 電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する記憶部と、
    前記電子部品の搭載状態を検出する電子部品検出部と、
    樹脂を計量する樹脂計量部と、
    前記電子部品検出部の検出結果に基づいてキャビティに投入すべき必要樹脂量を算出する樹脂量算出部と、
    該樹脂量算出部による該必要樹脂量の算出の完了前に、前記樹脂計量部に前記基準樹脂量の樹脂を計量開始させる制御部と、
    を有することを特徴とする樹脂成形装置。
  6. 前記制御部は、前記樹脂計量部に前記必要樹脂量の樹脂を計量させることを特徴とする請求項5に記載の樹脂成形装置。
  7. 前記制御部は、前記基準樹脂量の樹脂の計量の完了後に、前記樹脂計量部に前記必要樹脂量と前記基準樹脂量との差分樹脂量の樹脂を計量させることを特徴とする請求項5または6に記載の樹脂成形装置。
  8. 前記制御部は、前記基準樹脂量の樹脂の計量の完了前に、前記樹脂計量部の計量を、前記必要樹脂量の計量に変更することを特徴とする請求項5または6に記載の樹脂成形装置。
  9. 前記基板に対してその有無を検出する基板検出部を備え、
    前記制御部は、前記基板が前記基板検出部で検出されると前記基準樹脂量の樹脂を計量開始させる
    ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の樹脂成形装置。
  10. 前記計量された基準樹脂量を含む樹脂で前記基板が樹脂封止される
    ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の樹脂成形装置。
  11. 前記計量された基準樹脂量を含む樹脂で前記基板を樹脂封止するのに使用される予備成形樹脂が成形される
    ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の樹脂成形装置。
  12. 電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する工程と、
    前記電子部品の搭載状態を検出する工程と、
    検出された該電子部品の搭載状態に基づいて追加樹脂量を算出する工程と、
    該追加樹脂量の算出の完了前に、前記基準樹脂量の樹脂の計量を開始する工程と、
    を含む
    ことを特徴とする樹脂成形方法。
  13. 電子部品を搭載した基板を樹脂封止するための基準樹脂量を記憶する工程と、
    前記電子部品の搭載状態を検出する工程と、
    検出された該電子部品の搭載状態に基づいてキャビティに投入すべき必要樹脂量を算出する工程と、
    該必要樹脂量の算出の完了前に、前記基準樹脂量の樹脂の計量を開始する工程と、
    を含む
    ことを特徴とする樹脂成形方法。
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