JP5079512B2 - 薄膜素子を用いた表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
3 下側電極(Si)
4 絶縁膜(GI)(第1の絶縁膜)
5 上側電極(GE)
6 層間絶縁膜(第2の絶縁膜)
7 コンタクトホール
8 メタル配線(配線層)
10 画素補助容量部
11 ソースメタル配線
12 ゲートメタル配線(配線層)
20 画素TFT(画素薄膜トランジスタ)
(1)下側電極(シリコン(Si)層)の形成工程
図3(a)及び図3(b)に示すように、プラズマ化学気相成長法(PECVD)により、ガラス基板1上にアンダーコート(TEOS/SiNO)2と下側電極(Si)3のアモルファスシリコン(a−Si)層を形成する。次いで、約600℃の熱処理により結晶に変化させる固相成長法(SPC)を行う。アンダーコート材料としては、その他、SiNX、SiON、SiH4+N2O等を用いることができる。
最後に、フォトリソ法によりパターニングし、さらにエッチングすることによって、シリコン(Si)層を所望の形状に成型し、下側電極(Si)3を形成する。
(2)ゲート絶縁膜の形成工程
次いで、図4(a)及び図4(b)に示すように、原料ガスとしてテトラエチルオルトシリケート(TEOS)ガスを用いて、絶縁膜(GI:Gate Insulator)4を形成する。絶縁膜(GI)4の材料としては、その他、SiNx又はSiON、SiH4+N2O等を用いることができる。
(3)チャネルドープ工程
次に、画素トランジスタ及びその他液晶パネルの回路を駆動させるために必要となるトランジスタの閾値を制御するため、図5(a)及び図5(b)に示すように、基板全面にボロンをドーピングするか、又はドーピングしたい部分のみをフォトリソ法でパターニングし、ボロンを所定量チャネルドープする。
(4)上側電極(GE:ゲートメタル)5の形成工程
続いて、図6(a)及び図6(b)に示すように、タングステン(W)膜/窒化タンタル(TaN)膜を、スパッタ等を用いて形成する。ゲートメタルに用いられる金属としては、その他、MoW、Al等の低抵抗金属、表面が平坦で特性の安定した高融点金属等を用いることができる。
(5)ソース・ドレイン領域の形成工程
続いて、図7(a)及び図7(b)に示すように、トランジスタのソース・ドレイン領域を形成するため、所望のフォトリソ法を行い、その後、トランジスタのソース・ドレイン領域に、Nchにはリンを、Pchにはボロンのイオンドーピングを行う。必要に応じて、フォトリソ法でパターニングし、図7(b)に示すように、LDD構造にする。トランジスタにCG−シリコンを用いる場合は、ゲッタサイトとして、ドーピングも同時に行う。次に、イオン注入によりp−Si薄膜表面近傍に存在しているイオンをp−Si層内に取り込んで活性化させるために、約600℃の熱活性化処理を行う。また、その他、活性化として、エキシマレーザを照射する方法もある。この活性化処理の結果、電気伝導性を向上することができる。
(6)層間絶縁膜の形成工程
続いて、図8(a)及び図8(b)に示すように、PECVDにより層間絶縁膜6を形成する。層間絶縁膜6の材料としては、SiNx、SiON、TEOS等を用いることができる。
(7)コンタクト部の形成工程
続いて、図9(a)及び図9(b)に示すように、所望のフォトリソ法を行った後、フッ酸系のウエットエッチング液を用いてコンタクトホール7を形成する。
(8)アニーリング処理工程
さらに、シリコン(Si)の品質を改善するため、約400℃で水素化アニーリング処理を行う。
(9)ソースメタルの形成工程
続いて、図10(a)及び図10(b)に示すように、スパッタリング法でチタン(Ti)膜、アルミニウム−ケイ素(Al−Si)系合金膜、Ti膜の順で金属薄膜を形成する。次に、フォトリソ法により所望のパターニングを行い、ドライエッチングを行い、ソース(ドレイン)メタル配線11及びメタル配線8を形成する。これにより、図10(a)に示す画素補助容量部10においては、画素補助容量部10の上側電極(GE)5とメタル配線8との間がコンタクトホール7を通じて導通する一方、図10(b)に示す画素TFT20においては、画素TFT20の下側電極(Si)3のソース電極とソースメタル配線11の間がコンタクトホール7を通じて導通する。また、図示しないが、画素TFT20においては、画素TFT20の上側電極(GE)5であるゲート電極とゲートメタル配線の間がコンタクトホール7を通じて導通する。
Claims (5)
- 複数個の薄膜素子を電気的に接続して画素補助容量に用いた表示装置であって、
上記画素補助容量に用いられる薄膜素子は、
基板上に下側電極、第1の絶縁層、及び上側電極の順に構成されており、且つ、上記表示装置の画素毎に独立して複数設けられ、
上記上側電極の上側に形成された第2の絶縁層と、上記第2の絶縁層の上側に形成された配線層とが設けられており、
上記各下側電極に対向する上記各上側電極が、平面的に、上記下側電極の外形内に全て含まれていると共に、
上記上側電極と配線層とは、上記第2の絶縁層に穿設されたコンタクトホールを通して電気的に接続されており、
上記配線層は、画素毎に独立して形成された上記複数個の薄膜素子の上側電極を相互に電気的に接続していることを特徴とする表示装置。 - 複数個の薄膜素子を電気的に接続して画素補助容量に用いた請求項1に記載の表示装置において、更に、複数個の薄膜素子を薄膜トランジスタとして用いた表示装置であって、
上記薄膜トランジスタとして用いられる薄膜素子は、
基板上に下側電極、第1の絶縁層、及び上側電極の順に構成されて複数設けられ、かつ
上記上側電極の上側に形成された第2の絶縁層と、上記第2の絶縁層の上側に形成された配線層とが設けられており、
上記各下側電極の一部領域には選択的な不純物のドーピングによってソース電極及びドレイン電極と、上記ソース電極とドレイン電極に挟まれたチャネルとが形成されており、
上記各下側電極に対向する上記各上側電極が、平面的に、上記下側電極の外形内に全て含まれており、且つ、上記上側電極がゲート電極として機能し、
上記上側電極と配線層とは、上記第2の絶縁層に窄設されたコンタクトホールを通して電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 上記配線層が、上記薄膜トランジスタのソース配線層として用いられることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。
- 複数個の薄膜素子を電気的に接続して画素補助容量に用いた請求項1に記載の表示装置の製造方法であって、
上記薄膜素子の製造方法は、
基板上に下側電極となる半導体層を形成する工程と、
上記半導体層の上側に第1の絶縁層を形成する工程と、
上記第1の絶縁層の上から選択的に不純物をドーピングすることによって、上記半導体層を導体としての下側電極にする工程と、
上記第1の絶縁層の上側に、平面的に、上記各下側電極の外形内に全て囲まれるように各上側電極を形成する工程と、
上記上側電極の上側に第2の絶縁層を形成する工程と、
上記第2の絶縁層にコンタクトホールを形成する工程と、
上記第2の絶縁層の上側に、上記コンタクトホールを通じて上側電極と接続され、複数個の薄膜素子の上側電極を相互に接続する配線層を形成する工程とを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 複数個の薄膜素子を電気的に接続して画素補助容量に用いた請求項1に記載の表示装置において、更に、複数個の薄膜素子を薄膜トランジスタとして用いた表示装置の製造方法であって、
上記薄膜素子の製造方法は、
基板上に、画素補助容量の下側電極となり、薄膜トランジスタのソース電極、ドレイン電極、及び上記ソース電極とドレイン電極に挟まれたチャネルとなる半導体層を形成する工程と、
上記半導体層の上側に第1の絶縁層を形成する工程と、
上記半導体層を、上記画素補助容量の導体としての下側電極にすると共に、上記薄膜トランジスタのソース電極とドレイン電極に挟まれたチャネルを作成するために、上記第1の絶縁層の上から選択的に不純物をドーピングする工程と、
上記第1の絶縁層の上側に、平面的に、上記画素補助容量の上記下側電極の外形内に全て囲まれるように画素補助容量の上側電極を形成すると共に、薄膜トランジスタの上記チャネルの外形内に全て囲まれるように、上記薄膜トランジスタのゲートとして機能する上側電極を形成する工程と、
上記薄膜トランジスタのソース電極とドレイン電極を形成するために、選択的に不純物をドーピングする工程と、
上記上側電極の上側に第2の絶縁層を形成する工程と、
上記第2の絶縁層にコンタクトホールを形成する工程と、
上記コンタクトホールを通じて上記上側電極と接続される配線層を第2の絶縁層の上側に形成する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
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