JP5077134B2 - 石英部材の洗浄方法 - Google Patents

Description

本発明は、気相成長装置などを構成する石英部材の洗浄方法に関する。

エピタキシャルウェーハは、半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させたものである。エピタキシャルウェーハを製造するために、半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させる気相成長装置が使用されている。気相成長装置は、反応室、該反応室の内部に配置されたサセプタなどを備えており、反応室の内部を通過する反応ガスと、サセプタに載置された半導体ウェーハとを反応させることにより、半導体ウェーハの主表面にエピタキシャル層を成長させることができる。

反応室を構成する各部材やサセプタは、半導体ウェーハの金属汚染を防止するために、一般的に石英から形成されている。このような石英から形成された部材を「石英部材」という。石英部材は、エピタキシャル成長工程が行われることに伴って、シリコン膜が成膜され、加熱用赤外光の透過を妨げるといった不具合が発生するため、適度な頻度で洗浄をする必要がある。
石英部材の洗浄には、石英部材の洗浄に適した洗浄装置が用いられる。石英部材の洗浄装置としては、石英部材に対して、洗浄用の薬液（弗化水素酸＝弗化水素の水溶液など）を使用して洗浄を行い、その後、純水をリンス液として用いて、石英部材に付着した薬液をリンスしていた（例えば、下記特許文献１参照）。

特許文献１に記載の洗浄装置は、ベルジャー（釣鐘）形の石英部材の洗浄装置であり、ベルジャー形の石英部材の洗浄には適した構成を有していると認められる。詳述すると、特許文献１に記載の洗浄装置は、石英部材を収容するケース体の内側の上部や側部にノズルを設け、このノズルから、開口部を下に向けた状態のベルジャー形の石英部材の外側に洗浄用の薬液や純水を噴射することにより、石英部材の外側の洗浄やリンスを行う。また、開口部を下に向けた状態のベルジャー形の石英部材の内側に向けて起立するノズルを設け、このノズルから、ベルジャー形の石英部材の内側に洗浄液や純水を噴射することにより、石英部材の内側の洗浄やリンスを行う。

特開２００２−１８４７００号公報

しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置を用いて、略漏斗状の石英部材の洗浄を行うと、石英部材の内側に対する洗浄やリンスが不十分となりやすい。なお、「略漏斗状の石英部材」とは、第１開口部及びその反対側に位置し且つ第１開口部に連通する第２開口部を有し、第２開口部側に管状部を備えると共に第１開口部側に第１開口部の開口面積が第２開口部の開口面積よりも大きくなるように膨らんだ膨出部を備える中空の石英部材である。
石英部材に対する洗浄やリンスが不十分な場合、例えば、気相成長装置によりエピタキシャル成長を行う際に、気相成長装置の反応室の内部の空焼き（ベーキング）を長時間行う必要があり、好ましくない。

従って、本発明は、略漏斗状の石英部材の内側を一層確実に洗浄することができる石英部材の洗浄方法を提供することを目的とする。

（１）本発明の石英部材の洗浄方法は、第１開口部及びその反対側に位置し且つ該第１開口部に連通する第２開口部を有し、該第２開口部側に管状部を備えると共に前記第１開口部側に該第１開口部の開口面積が該第２開口部の開口面積よりも大きくなるように膨らんだ膨出部を備える中空の石英部材を洗浄する洗浄方法であって、前記第１開口部を下に向けた状態の前記石英部材に対して、前記第２開口部を塞いだ状態で、該石英部材の内側に該第２開口部を介して洗浄用液を噴射して、前記管状部の内側を洗浄する管状部内側洗浄工程を備えることを特徴とする。

（２）また、前記第１開口部を下に向けた状態の前記石英部材に対して、該石英部材の内側に該第１開口部側から洗浄用液を噴射して、前記膨出部の内側を洗浄する膨出部内側洗浄工程を更に備えることが好ましい。

（３）また、前記膨出部内側洗浄工程において、前記膨出部の内面の傾斜に沿って洗浄用液を噴射することが好ましい。

（４）また、前記石英部材の外側に洗浄用液を噴射して該石英部材の外側を洗浄する石英部材外側洗浄工程を更に備えることが好ましい。

（５）また、前記石英部材外側洗浄工程において、前記膨出部の外面の傾斜に沿って洗浄用液を噴射することが好ましい。

（６）また、前記管状部内側洗浄工程の前に、前記石英部材を洗浄用液に浸漬して該石英部材の内側及び外側を洗浄する石英部材第１浸漬工程を更に備えることが好ましい。

（７）また、前記洗浄用液は、繰り返し使用されないことが好ましい。

（８）また、前記洗浄用液は、洗浄用の薬液又はリンス液であってもよい。

（９）また、前記管状部内側洗浄工程の後に、前記石英部材にリンス液に噴射して該石英部材の内側及び／又は外側をリンスする石英部材噴射リンス工程を更に備えることが好ましい。

本発明によれば、略漏斗状の石英部材の内側を一層確実に洗浄することができる。

以下、本発明の石英部材の洗浄方法の一実施態様について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の石英部材の洗浄方法の一実施態様を示すフローチャートである。図２は、石英部材の洗浄装置の一例を模式的に示す縦断面図である。図３は、石英部材を示す図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は縦断面図である。

本発明の石英部材の洗浄方法の一実施態様の説明に先立ち、まず、本実施態様の洗浄方法の洗浄対象物である石英部材Ｓについて、及び本実施態様の洗浄方法に用いられる噴射型洗浄装置１について、それぞれ図２及び図３を参照しながら説明する。

図２に示すように、石英部材Ｓは、石英のみから又は石英を主体として形成される部材である。「石英を主体として形成される部材」とは、大部分が石英から形成される部材を意味し、例えば、石英ガラスが挙げられる。
石英部材Ｓは、第１開口部Ｓ１１及び第２開口部Ｓ２１を有する中空の部材である。第２開口部Ｓ２１は、第１開口部Ｓ１１の反対側に位置すると共に、第１開口部Ｓ１１に連通している。石英部材Ｓは、第２開口部Ｓ２１側に管状部Ｓ２を備えると共に、第１開口部Ｓ１１側に膨出部Ｓ１を備える。膨出部Ｓ１は、第１開口部Ｓ１１の開口面積Ｔ１が第２開口部Ｓ２１の開口面積Ｔ２よりも大きくなる（Ｔ１＞Ｔ２）ように膨らんで構成される。つまり、石英部材Ｓは、略漏斗形状を有している。

次に、噴射型洗浄装置１について説明する。図３を示すように、噴射型洗浄装置１は、基体部２と、ケース体３と、ターンテーブル４と、第１噴射部５と、第２噴射部６と、第３噴射部７と、第４噴射部８とを備える。
基体部２は、噴射型洗浄装置１の下部を構成する部位であり、その内部にターンテーブル４等を備える。

ケース体３は、洗浄時に石英部材Ｓを収容する部位であり、基体部２の上部に配置される。ケース体３の前面には、前面扉（図示せず）が設けられており、前面扉を開くことにより、ケース体３の内部に石英部材Ｓを配置できるようになっている。ケース体３の内部には、第１噴射部５、第２噴射部６、第３噴射部７、第４噴射部８等が配置されている。

ターンテーブル４は、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態で石英部材Ｓを回転させる機構である。ターンテーブル４は、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態で石英部材Ｓを回転させることができれば、その構成に特に制限はない。

第１噴射部５は、ターンテーブル４により回転される石英部材Ｓの内側に第１開口部Ｓ１１側から洗浄用液Ｒ１を噴射する部位である。洗浄用液Ｒ１としては、洗浄用の薬液、リンス液が例示される。

なお、本発明における「洗浄用液」には、洗浄に用いられる各種液体が包含され、洗浄用の薬液及びリンス液が挙げられる。洗浄用の薬液は、石英部材Ｓを洗浄することができるものであれば、特に制限はなく、例えば、弗酸（弗化水素酸＝弗化水素の水溶液）、弗酸と硝酸との混合水溶液が挙げられる。
電子工業用の弗酸（約５０％濃度）と硝酸（５０〜９０％濃度）との混合水溶液において、弗酸と硝酸とは１：１〜１：５の配合比で配合することが好ましい。

リンス液は、石英部材Ｓから薬液をリンスすることができるものであれば、特に制限はなく、純水が代表的である。
洗浄用液は、繰り返して（循環して）使用することもできるが、繰り返し使用されないことが好ましい。

第１噴射部５は、石英部材Ｓの膨出部Ｓ１の内側における第１開口部Ｓ１１の近傍に配置されている。第１噴射部５は、膨出部Ｓ１の内面の傾斜に沿って上向きに洗浄用液Ｒ１を噴射する。膨出部Ｓ１の内面の傾斜に対する第１噴射部５からの洗浄用液Ｒ１の噴射角度は、好ましくは１０〜７０度である。膨出部Ｓ１の内面の傾斜は、巨視的に視たときの傾斜である。第１噴射部５は、複数の噴射口（図示せず）が膨出部Ｓ１の内面の傾斜に沿って配列して構成されている。

第２噴射部６は、ターンテーブル４により回転される石英部材Ｓの外側に洗浄用液Ｒ２を噴射する部位である。洗浄用液Ｒ２としては、洗浄用の薬液、リンス液が例示される。第２噴射部６は、膨出部Ｓ１の外面の傾斜に沿って下向きに洗浄用液Ｒ２を噴射する。膨出部Ｓ１の外面の傾斜に対する第２噴射部６からの洗浄用液Ｒ２の噴射角度は、好ましくは１０〜７０度である。膨出部Ｓ１の外面の傾斜は、巨視的に視たときの傾斜である。第２噴射部６は、複数の噴射口（図示せず）が膨出部Ｓ１の外面の傾斜に沿って配列して構成されている。

第３噴射部７は、ターンテーブル４により回転される石英部材Ｓの内側に第２開口部Ｓ２１を介して洗浄用液Ｒ３を噴射する部位である。洗浄用液Ｒ３としては、洗浄用の薬液、リンス液が例示される。
第３噴射部７は、石英部材Ｓにおける第２開口部Ｓ２１を塞ぐ栓塞構造を有する。この栓塞構造においては、第２開口部Ｓ２１を密閉することが好ましいが、ある程度封止できれば、密閉できなくても実使用上問題はない。
従って、第３噴射部７は、石英部材Ｓの第２開口部Ｓ２１を塞ぐことができると共に、第２開口部Ｓ２１を塞いだ状態で、第２開口部Ｓ２１を介して、石英部材Ｓの内側に洗浄用液Ｒ３を噴射することができる。

第３噴射部７からの洗浄用液Ｒ３の噴射量は、石英部材Ｓの管状部Ｓ２の内部に、第１噴射部５から噴射された洗浄用液Ｒ１が到達しない程度に、設定されることが好ましい。第３噴射部７からの洗浄用液Ｒ３の噴射量は、好ましくは、５〜１０ＳＬＭである。

第４噴射部８は、ターンテーブル４により回転される石英部材Ｓにおける管状部Ｓ２の外側に洗浄用液Ｒ４を噴射する部位である。洗浄用液Ｒ４としては、洗浄用の薬液、リンス液が例示される。

次に、噴射型洗浄装置１の一使用方法について説明する。
まず、ターンテーブル４が駆動していない状態において、石英部材Ｓを、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態でターンテーブル４の上に載置する。次に、石英部材Ｓの第２開口部Ｓ２１を第３噴射部７により塞いだ状態とする。このような状態において、ターンテーブル４を駆動させる。その結果、ターンテーブル４に支持された石英部材Ｓが、上下方向に延びる回転軸を中心として回転する。

そして、石英部材Ｓが回転した状態において、第１噴射部５から洗浄用液（洗浄用の薬液又はリンス液）Ｒ１が噴射される。洗浄用液Ｒ１により、石英部材Ｓにおける特に膨出部Ｓ１の内側が洗浄される。
また、第２噴射部６から洗浄用液Ｒ２が噴射され、洗浄用液Ｒ２により、石英部材Ｓにおける特に膨出部Ｓ１の外側が洗浄又はリンスされる。第３噴射部７から洗浄用液Ｒ３が噴射され、洗浄用液Ｒ３により、石英部材Ｓにおける特に管状部Ｓ２の内側が洗浄又はリンスされる。第４噴射部８から洗浄用液Ｒ４が噴射され、洗浄用液Ｒ４により、石英部材Ｓにおける特に管状部Ｓ２の外側が洗浄又はリンスされる。

第１噴射部５、第２噴射部６、第３噴射部７及び第４噴射部８は、基体部２及びケース体３に対する相対位置が実質的に固定されている。一方、石英部材Ｓは、ターンテーブル４により、基体部２及びケース体３に対して相対的に回転する。従って、石英部材Ｓの内側及び外側は、洗浄用液Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４により全面的に洗浄又はリンスされる。

次に、本発明の石英部材の洗浄方法の一実施態様について、図１を参照しながら説明する。図１に示すように、本実施態様の石英部材の洗浄方法は、下記工程ＳＴ１〜ＳＴ６を備える。

（ＳＴ１）石英部材第１浸漬工程
膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３及び管状部内側洗浄工程ＳＴ４の前に、石英部材Ｓを洗浄用液（図示せず）に浸漬して石英部材Ｓの内側及び外側を洗浄する。石英部材第１浸漬工程ＳＴ１における洗浄用液としては、洗浄用の薬液、リンス液が例示される。

（ＳＴ２）膨出部内側洗浄工程
第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓに対して、石英部材Ｓの内側に第１開口部Ｓ１１側から洗浄用液Ｒ１を噴射して、膨出部Ｓ１の内側を洗浄する。洗浄用液Ｒ１は、膨出部Ｓ１の内面の傾斜に沿って噴射される。

（ＳＴ３）石英部材外側洗浄工程
第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓの外側に洗浄用液Ｒ２及びＲ４を噴射して石英部材Ｓの外側を洗浄する。洗浄用液Ｒ２は、石英部材Ｓの膨出部Ｓ１の外面の傾斜に沿って噴射される。洗浄用液Ｒ４は、石英部材Ｓの管状部Ｓ２の外面に噴射される。

（ＳＴ４）管状部内側洗浄工程
第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓに対して、第２開口部Ｓ２１を塞いだ状態で、石英部材Ｓの内側に第２開口部Ｓ２１を介して洗浄用液Ｒ３を噴射して、管状部Ｓ２の内側を洗浄する。

なお、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３及び管状部内側洗浄工程ＳＴ４は、同時に行ってもよく、順次行ってもよく、あるいはランダムに行ってもよい。
また、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３及び管状部内側洗浄工程ＳＴ４において、洗浄用液Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、繰り返し（循環して）使用することもできるが、繰り返し使用されないことが好ましい。

（ＳＴ５）石英部材噴射リンス工程
膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３及び管状部内側洗浄工程ＳＴ４の後に、石英部材Ｓにリンス液Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４に噴射して、石英部材Ｓの内側及び／又は外側をリンスする。

（ＳＴ６）石英部材浸漬リンス工程
石英部材噴射リンス工程ＳＴ５の後に、石英部材Ｓをリンス液（図示せず）に浸漬して石英部材Ｓの内側及び外側をリンスする。リンス液は、例えば、純水である。

本実施態様の石英部材の洗浄方法によれば、以下の効果が奏される。
本実施態様の石英部材の洗浄方法においては、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓに対して、第２開口部Ｓ２１を塞いだ状態で、石英部材Ｓの内側に第２開口部Ｓ２１を介して洗浄用液Ｒ３を噴射して、管状部Ｓ２の内側を洗浄する管状部内側洗浄工程ＳＴ４を備える。そのため、石英部材Ｓにおける特に管状部Ｓ２の内側を十分に洗浄することができる。従って、略漏斗状の石英部材Ｓの内側を一層確実に洗浄することができる。

また、第１開口部Ｓ１１を下に向けた状態の石英部材Ｓに対して、石英部材Ｓの内側に第１開口部Ｓ１１側から洗浄用液Ｒ１を噴射して、膨出部Ｓ１の内側を洗浄する膨出部内側洗浄工程ＳＴ２を備えている。特に、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２において、膨出部Ｓ１の内面の傾斜に沿って洗浄用液Ｒ１を噴射している。そのため、膨出部Ｓ１の内側を十分に洗浄することができる。

また、石英部材Ｓの外側に洗浄用液Ｒ２及びＲ４を噴射して石英部材Ｓの外側を洗浄する石英部材外側洗浄工程ＳＴ３を備えている。特に、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３において、膨出部Ｓ１の外面の傾斜に沿って洗浄用液Ｒ２を噴射している。そのため、石英部材Ｓの外側を十分に洗浄することができる。

また、管状部内側洗浄工程ＳＴ４などの前に、石英部材Ｓを洗浄用液に浸漬して石英部材Ｓの内側及び外側を洗浄する石英部材第１浸漬工程ＳＴ１を備えている。そのため、石英部材Ｓの内側及び外側を十分に洗浄することができる。

また、洗浄用液Ｒ１〜Ｒ４は、繰り返し使用されないため、石英部材Ｓの洗浄性を一層向上させることができる。

また、管状部内側洗浄工程ＳＴ４などの後に、石英部材Ｓにリンス液に噴射して石英部材Ｓの内側及び／又は外側をリンスする石英部材噴射リンス工程ＳＴ５を備えている。そのため、石英部材Ｓの内側及び／又は外側に付着した洗浄用の薬液を十分にリンスすることができる。

また、管状部内側洗浄工程ＳＴ４などの後に、石英部材Ｓをリンス液に浸漬して石英部材Ｓの内側及び外側をリンスする石英部材浸漬リンス工程ＳＴ６を備えている。そのため、石英部材Ｓの内側及び外側に付着した洗浄用の薬液を十分にリンスすることができる。

以上、本発明の石英部材の洗浄方法の実施態様について説明したが、本発明は、前述した実施態様に制限されるものではない。
例えば、第１噴射部５、第２噴射部６、第３噴射部７及び第４噴射部８から、それぞれ洗浄用の薬液が噴射されてもよく、リンス液が噴射されてもよい。
本発明の石英部材の洗浄方法により洗浄させる石英部材は、気相成長装置を構成する部材に制限されない。

第１噴射部５は、石英部材Ｓの膨出部Ｓ１の内側における第１開口部Ｓ１１の周縁近傍から中心部まで直線状に延びるように配置されていてもよい。また、第１噴射部５は、膨出部Ｓ１の内面に向かって垂直上向きに洗浄用液Ｒ１を噴射するように構成されていてもよい。

以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

〔実施例１〕
洗浄対象物である略漏斗状の石英部材Ｓは、気相成長装置における反応室の下部を形成するロワードーム部材である。この石英部材Ｓに対して、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３及び管状部内側洗浄工程ＳＴ４を行い、洗浄を行った。洗浄用の薬液として弗酸（５０％）：硝酸（６９．５％）＝１：４の混合水溶液を用いた。洗浄用の薬液の噴射は１５ＳＬＭで２分間実施した。また、洗浄用の薬液の噴射は、霧状の噴霧ではなく、シャワー状で且つ薬液が石英部材の表面を覆う流れができるように勢いよく当たるように行った。
その後、石英部材Ｓ（膨出部Ｓ１、管状部Ｓ２）の内側及び外側に対して、石英部材噴射リンス工程ＳＴ５を行い、リンスを行った。リンス液として純水を用いた。リンス液の噴射は１５ＳＬＭで５分間実施した。

その後、気相成長装置の反応室に設置し、空焼きを繰り返し行った。空焼きの際の反応室の内部の温度は、１１３０℃とした。空焼きの合間に定期的に、反応室の内部にシリコンウェーハを投入し、ライフタイム測定機（マイクロＰＣＤ法）にて反応室の内部の清浄度を確認した。その結果、清浄度が所定の値に上昇する迄に要した空焼き（熱処理）時間は、４．５時間（ｈ）であった。

〔比較例１〕
実施例１と比べて、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２、石英部材外側洗浄工程ＳＴ３、管状部内側洗浄工程ＳＴ４及び石英部材噴射リンス工程ＳＴ５を行わず、その代わりに、石英部材第１浸漬工程ＳＴ１及び石英部材浸漬リンス工程ＳＴ６を行った。
石英部材第１浸漬工程ＳＴ１において、洗浄用の薬液として弗酸（５０％）：硝酸（６９．５％）＝１：４の混合水溶液を用いた。
石英部材浸漬リンス工程ＳＴ６において、リンス液は純水を用いた。
特に説明しない点は、実施例１と同様である。
実施例１と同様に、清浄度が所定の値に上昇する迄に要した空焼き（熱処理）時間を測定したところ、当該時間は７．５時間（ｈ）であった。

〔比較例２〕
実施例１と比べて、管状部内側洗浄工程ＳＴ４を行わなかった。また、膨出部内側洗浄工程ＳＴ２及び石英部材外側洗浄工程ＳＴ３において、洗浄用の薬液として弗酸（５０％）：硝酸（６９．５％）＝１：４の混合水溶液を用いた。また、洗浄用の薬液は、繰り返し使用した。また、石英部材Ｓを回転させずに、石英部材Ｓの洗浄を行った。
特に説明しない点は、実施例１と同様である。
実施例１と同様に、清浄度が所定の値に上昇する迄に要した空焼き（熱処理）時間を測定したところ、当該時間は６．５時間（ｈ）であった。

実施例と比較例との比較から、管状部内側洗浄工程ＳＴ４を行うことにより、清浄度が所定の値に上昇する迄に要した空焼き（熱処理）時間が短くなることがわかる。すなわち、略漏斗状の石英部材Ｓの内側が十分に洗浄されていることがわかる。

本発明の石英部材の洗浄方法の一実施態様を示すフローチャートである。 石英部材の洗浄装置の一例を模式的に示す縦断面図である。 石英部材を示す図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は縦断面図である。

符号の説明

ＳＴ１ 石英部材第１浸漬工程
ＳＴ２ 膨出部内側洗浄工程
ＳＴ３ 石英部材外側洗浄工程
ＳＴ４ 管状部内側洗浄工程
ＳＴ５ 石英部材噴射リンス工程
ＳＴ６ 石英部材浸漬リンス工程
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４ 洗浄用液
Ｓ 石英部材
Ｓ１ 膨出部
Ｓ１１ 第１開口部
Ｓ２ 管状部
Ｓ２１ 第２開口部

Claims (7)

1. 第１開口部及びその反対側に位置し且つ該第１開口部に連通する第２開口部を有し、該第２開口部側に管状部を備えると共に前記第１開口部側に該第１開口部の開口面積が該第２開口部の開口面積よりも大きくなるように膨らんだ膨出部を備える中空の石英部材を洗浄する洗浄方法であって、
   前記第１開口部を下に向けた状態の前記石英部材に対して、
   前記第１開口部側から該石英部材の内側に洗浄用液を噴射して、前記膨出部の内側を洗浄する膨出部内側洗浄工程、
   前記石英部材の外側に洗浄用液を噴射して、該石英部材の外側を洗浄する石英部材外側洗浄工程、及び
   前記第２開口部を塞いだ状態で、該石英部材の内側に該第２開口部を介して洗浄用液を噴射して、前記管状部の内側を洗浄する管状部内側洗浄工程、
   を順次行う石英部材の洗浄方法。
2. 前記膨出部内側洗浄工程において、前記膨出部の内面の傾斜に沿って洗浄用液を噴射する請求項１に記載の石英部材の洗浄方法。
3. 前記石英部材外側洗浄工程において、前記膨出部の外面の傾斜に沿って洗浄用液を噴射する請求項２に記載の石英部材の洗浄方法。
4. 前記膨出部内側洗浄工程の前に、前記石英部材を洗浄用液に浸漬して該石英部材の内側及び外側を洗浄する石英部材第１浸漬工程を更に備える請求項１〜３のいずれかに記載の石英部材の洗浄方法。
5. 前記洗浄用液は、繰り返し使用されない請求項１〜４のいずれかに記載の石英部材の洗浄方法。
6. 前記洗浄用液は、洗浄用の薬液又はリンス液である請求項１〜５のいずれかに記載の石英部材の洗浄方法。
7. 前記管状部内側洗浄工程の後に、前記石英部材にリンス液に噴射して該石英部材の内側及び／又は外側をリンスする石英部材噴射リンス工程を更に備える請求項１〜６のいずれかに記載の石英部材の洗浄方法。

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