JP5075142B2 - デュアルモードガス電界イオン源 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- イオンを生成するためのエミッタ領域を有するガス電界イオン源エミッタを収容するための筐体を含むイオンビームカラムと、
前記ガス電界イオン源エミッタからイオンを引き出すための電極と、
第1のガス及び第2のガスを含むガス混合物が前記エミッタ領域に形成されるように、第1のガスおよび第2のガスを前記エミッタ領域へ取り込むため適合した1個以上のガス入口と、
前記第1のガスまたは前記第2のガスから生成されたイオンビームを集束させるための対物レンズと、
前記電極と前記ガス電界イオン源エミッタとの間に電圧を供給するための電圧源と、
使用時に、前記ガス電界イオン源エミッタが異なる動作モードで動作するように、前記第1のガスのイオンのイオンビームまたは前記第2のガスのイオンのイオンビームを生成するため前記電圧源の第1の電圧と第2の電圧とを切り替えるコントローラと、
を備える集束イオンビーム装置。 - 軽いガスのイオンおよび重いガスのイオンを生成するためのエミッタ領域を有するエミッタを収容するための筐体を含むイオンビームカラムと、
ガス電界イオン源エミッタからイオンを引き出すための電極と、
軽いガス及び重いガスを含むガス混合物が前記エミッタ領域に形成されるように、軽いガスおよび重いガスを前記エミッタ領域へ取り込むため適合した1個以上のガス入口と、 使用時に、前記ガス電界イオン源エミッタが異なる動作モードで動作するように、第1の引出電圧と第2の引出電圧とを切り替える手段と、
を備え、
前記軽いガスが水素とヘリウムとからなる群より選択され、前記重いガスが10g/mol以上の原子量を有している、集束イオンビーム装置。 - 前記第1のガス入口内に設けられている第1の弁と前記第2のガス入口内に設けられている第2の弁とを備え、
前記第1の弁および前記第2の弁が前記第1のガスの分圧および前記第2のガスの分圧を適合させるため制御され、
前記第1の弁が、前記第1のガスのためのガス源への第1のガス供給導管と、前記第1のガスを前記筐体に取り込むための第1のガス入口導管と、少なくとも1個の真空容器への接続のための第1の排気導管とを有し、
前記第2の弁が、前記第2のガスのためのガス源への第2のガス供給導管と、前記第2のガスを前記筐体に取り込むための第2のガス入口導管と、前記少なくとも1個の真空容器への接続のための第2の排気導管とを有している、
請求項1又は2に記載の集束イオンビーム装置。 - 真空容器を含み前記筐体を真空にするため適合した真空システムに接続されているガス出口をさらに備える、請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置。
- 前記イオンビームカラムに設けられ、試料上でイオンビームを走査するため適合した走査偏向器と、
前記イオンビームカラムに設けられ、前記イオンビームの衝突時に前記試料から放出される微粒子の時間分解検出のため適合した検出器と、
前記走査偏向器および前記検出器に接続されているコントローラと、
をさらに備える、請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置。 - 時間分解測定が2マイクロ秒以下の時間分解能のため適合している、請求項5に記載の集束イオンビーム装置。
- 前記筐体が5cm3以下の容積を有している、請求項1乃至6のうちいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置。
- 前記試料から放出されたイオンまたはイオン化された粒子の同定のための質量分析計をさらに備える、請求項1乃至7のうちいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置。
- 前記第1のガスからのイオンを前記第2のガスからのイオンから分離するための質量分離器をさらに備える、請求項1乃至8のうちいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置。
- 軽いガス及び重いガスを含むガス混合物をエミッタ領域に導入するステップと、
前記軽いガスのイオンビームを放射するための第1の引出電圧を供給するための第1の電位まで、イオンが生成される前記エミッタ領域内でエミッタにバイアスをかけるステップと、
前記重いガスのイオンビームを放射するための第2の引出電圧を供給するための第2の電位まで、イオンが生成される前記エミッタ領域内でエミッタにバイアスをかけるステップと、
を備え、
前記軽いガスが水素とヘリウムとからなる群より選択され、前記重いガスが10g/mol以上の原子量を有している、集束イオンビーム装置を動作させる方法。 - 観察モードのため前記軽いガスから生成された前記イオンビームを試料上で走査し、前記試料の観察のため前記軽いガスからの前記イオンビームの衝突時に前記試料から放出される微粒子を検出するステップと、
前記重いガスが前記エミッタ領域に取り込まれている時間中に、改質モードの間に前記試料を改質するステップと、
をさらに備える、請求項10に記載の集束イオンビーム装置を動作させる方法。 - 前記重いガスが前記エミッタ領域に取り込まれている時間中に前記試料から放出されたイオン化された粒子を質量検出するステップをさらに備える、請求項10又は11に記載の集束イオンビーム装置を動作させる方法。
- プロセスガスをエミッタ領域に取り込むステップをさらに備える、請求項10乃至12のいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置を動作させる方法。
- 前記プロセスガスは酸素である、請求項13に記載の集束イオンビーム装置を動作させる方法。
- 軽いイオンを重いイオンから分離するステップをさらに備える、請求項10乃至14のいずれか一項に記載の集束イオンビーム装置を動作させる方法。
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