JP5065333B2 - 可変光減衰器 - Google Patents
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Description
始めに、本発明の実施の形態1について図1,図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における可変光減衰器の構成を示す断面図であり、図2は、実施の形態1における可変光減衰器の構成を示す平面図である。図1は、図2のAA’線の断面を示している。
次に、本発明の実施の形態2について、図4,図5を用いて説明する。図4は、本発明の実施の形態2における可変光減衰器の構成を示す断面図であり、図5は、実施の形態2における可変光減衰器の構成を示す平面図である。図4は、図5のAA’線の断面を示している。
Claims (4)
- シリコンよりも屈折率の小さい下部クラッド層と、
この下部クラッド層の上に形成されたシリコン層からなるスラブ層と、
このスラブ層の一部を厚くすることで形成されたコアと、
このコアの側面から前記スラブ層の表面にかけての領域および前記コアの上面の少なくとも一方に配置されて酸化することで形成された酸化シリコン層と、
前記コアおよび前記酸化シリコン層を覆って前記スラブ層の上に形成された上部クラッド層と、
前記スラブ層の前記コアの近傍に設けられたn型キャリア供給部と、
このn型キャリア供給部に前記コアを介して対向して前記スラブ層の前記コアの近傍に設けられたp型キャリア供給部と、
前記n型キャリア供給部及び前記p型キャリア供給部に各々接続する電極と
を少なくとも備えることを特徴とする可変光減衰器。 - 請求項1記載の可変光減衰器において、
前記酸化シリコン層は、熱酸化法もしくはプラズマ酸化法により形成されていることを特徴とする可変光減衰器。 - 請求項1または2記載の可変光減衰器において、
前記スラブ層は、前記コアの半分以下の膜厚に形成されていることを特徴とする可変光減衰器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の可変光減衰器において、
前記n型キャリア供給部および前記p型キャリア供給部は、前記コアを伝播する光が影響を受けない範囲で、前記コアの近傍に設けられていることを特徴とする可変光減衰器。
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