JP5060965B2 - 通電試験用プローブ、プローブ組立体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図6(a)に示すように、平坦面30aを有する例えばステンレス製の板部材からなる作業台30上に、液状の感光材が塗布され、ホトレジスト膜32が形成されると、該フォトレジスト膜上にプローブ10の平面パターンに対応した形状を有する露光マスク(図示せず)を用いて、ホトレジスト膜32が選択露光を受ける。この選択露光後、ホトレジスト膜32は現像処理を受ける。
12 プローブ本体
12a プローブ本体の端面
14 接続部
14a、14b 接続部の側面
22 はんだメッキ層
24 凹溝(案内部)
24−1 波状曲面(案内部)
24−2 貫通孔(案内部)
26 金メッキ層
Claims (15)
- 板状の接続部を有し該接続部の端面がプローブ基板への接続面となるプローブ本体と、前記接続部の少なくとも一方の側面に予め形成されたはんだ層と、前記接続部に形成され、前記はんだ層が形成された前記一方の側面からその他方の側面に前記接続部をその板厚方向へ貫通し、前記はんだ層が溶融したとき、その一部を前記他方の側面に案内する案内部とを有する通電試験用プローブ。
- 前記はんだ層は、錫単体または金、銀、銅およびビスマスのいずれか一種以上を含む錫合金から成る溶融可能の導電性接着剤層である、請求の範囲1に記載のプローブ。
- 前記はんだ層はメッキ層である、請求の範囲1に記載のプローブ。
- 前記案内部は前記接続部の前記端面に開放する該端面上の凹溝で形成されている、請求の範囲1に記載のプローブ。
- 前記凹溝は、前記端面上で前記接続部の板厚方向と直角な伸長方向へ連なる波状曲面によって形成されている、請求の範囲4に記載のプローブ。
- 前記プローブ本体は、ニッケル、その合金または燐青銅によって形成され、前記プローブ本体の前記一方の側面と前記はんだ層との間には、金メッキ層が配置されている、請求項1に記載のプローブ。
- 複数の取り付けランド部が形成された配線路を有するプローブ基板と、該プローブ基板の前記ランド部に固着される複数のプローブとを備え、該各プローブは、板状の接続部を有し該接続部の端面が前記ランド部に対向して配置されるプローブ本体と、前記接続部の少なくとも一方の側面に予め形成されたはんだ層と、前記接続部に形成され、前記はんだ層が形成された前記一方の側面からその他方の側面に前記接続部をその板厚方向へ貫通し、前記はんだ層が溶融したとき、その一部を前記他方の側面に案内する案内部とを有し、前記はんだ層の溶融後の固化により前記接続部の前記端面が対応する前記ランド部に固着されている通電試験用プローブ組立体。
- 前記はんだ層は、錫単体または金、銀、銅およびビスマスのいずれか一種以上を含む錫合金から成る溶融可能の導電性接着剤層である、請求の範囲7に記載のプローブ組立体。
- 前記はんだ層はメッキ層である、請求の範囲7に記載のプローブ組立体。
- 前記案内部は前記接続部の前記端面に開放する該端面上の凹溝で形成されている、請求の範囲7に記載のプローブ組立体。
- 前記凹溝は前記端面上で前記接続部の板厚方向と直角な伸長方向に連なる波状曲面によって形成されている、請求の範囲10に記載のプローブ組立体。
- 板状の接続部を有し該接続部の端面に前記接続部の一方の側面からその他方の側面に該接続部の板厚方向へ貫通する案内部が設けられたプローブ本体をホトリソグラフィを利用して形成するステップと、前記プローブ本体の前記接続部の少なくとも前記一方の側面に溶融可能であり溶融したとき、その一部が前記案内部によって前記他方の面に案内されるはんだ層を形成するステップとを含む、通電試験用プローブの製造方法。
- 前記プローブ本体の前記接続部の前記一方の側面に前記はんだ層を形成するステップは、前記プローブ本体を形成する前記ステップのホトリソグラフィを利用して形成される、請求の範囲12に記載の製造方法。
- 板状の接続部を有し該接続部の端面に前記接続部の一方の側面からその他方の側面に前記接続部の板厚方向へ貫通し、前記一方の側面からその他方の側面に溶融はんだを案内する案内部が設けられたプローブ本体をホトリソグラフィを利用して形成するステップと、前記プローブ本体の前記接続部の少なくとも前記一方の側面にはんだ層を形成するステップと、前記プローブ本体の前記接続部の前記端面を前記プローブ本体のためのランド部に当接させた状態で前記はんだ層の溶融のためにレーザを前記プローブ本体の接続端部に向けて照射するステップとを含むプローブ組立体の製造方法。
- 前記プローブ本体の前記端部の前記側面に前記はんだ層を形成するステップは、前記プローブ本体を形成する前記ステップのホトリソグラフィを利用して形成される請求の範囲14に記載の製造方法。
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