JP5051616B2 - 研磨材およびそれを用いた板ガラスの研磨方法 - Google Patents
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炭酸セリウムまたは蓚酸セリウムを焼成して得た高純度の酸化セリウム(酸化セリウム含有量:99質量%、平均粒径3.7μm)に、表1に示すように、分散剤として、硫酸バリウム、硫酸カルシウム、ホウ酸カルシウム、硫酸ストロンチウムの少なくとも1種のアルカリ土類金属塩を添加し、水を加えて研磨材スラリーとした。硫酸バリウムと、硫酸カルシウム、ホウ酸カルシウムまたは硫酸ストロンチウムの混合物については、質量比1:1の混合物として用いた。
分散剤を配合しない、または分散剤の配合量を研磨材粒子100質量部に対して2.2質量部とした以外は、実施例1〜5と同様にして研磨材スラリーを作製した。得られた研磨材スラリーを用いて板ガラスの研磨を行い、研磨不良発生率の判定を行った。結果を表1に示す。
Claims (5)
- 酸化セリウムを含む研磨材粒子100質量部に対して、分散剤としてアルカリ土類金属の硫酸塩から選択した少なくとも1種を0.4〜0.6質量部配合してなる研磨材であって、研磨材粒子中の酸化セリウムの含有量が95質量%以上であることを特徴とする研磨材。
- 分散剤が、硫酸バリウム、硫酸バリウムと硫酸カルシウムの混合物、硫酸バリウムとホウ酸カルシウムの混合物、および硫酸バリウムと硫酸ストロンチウムの混合物から選択された少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の研磨材。
- 研磨材粒子が実質的にフッ素を含まないことを特徴とする請求項1または2に記載の研磨材。
- ディスプレイ用板ガラスの研磨に用いられることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の研磨材。
- 板ガラス表面を研磨する方法であって、請求項1〜4のいずれかに記載の研磨材を用いることを特徴とする板ガラスの研磨方法。
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